J 01 J gen

(1)

! " #

$&% ! ' #( ( ! "

) *,+-+-.0/12314*,5 6

798#: ; :<9=>#?8#>#? @ACB =D=@ACEFGBIHJ#AC> K :=@ACB

@ACB L M3DNM3:B @AC: O =PN8#:&Q FGBIBIAC>#BIHJ=RSNAC>

T L :VU:AC:VU>=PNVUXW

=> @AC: Y >#FXZ3AC:BIF[N]\PN ^ M3>#B_N]=>#7

`

=D38#<N]\PN RPa#: b J!cBIFGD

ZM3:?AC<]AC?3N ZM3>

dfe g h i j k lg m i n

`

:=8#>#J#M3RPAC: op>#B_NF[N8N RPa#:

q

M3<9=:A ; >#AC:?FGACBcB_NACEA

`

:ACFGr8#:? FGE st:ACFGBI?3=8

u]vSvSw

x

=? @AC: Ea#>#@<]FGHJ#AC> b :a#RP8#>#? y u9z

UX{CU u]vSvSw

|

ACRPAC:AC>NAC>}y b :FXZUL M37CU#L :VUK AC:J=:@ ~ FG<]<]ACD3A

b :M3R!UL :VU!~ M3<]RP:=E ~ A-NN<]FG>#?

(2)

[X&

-&[[X SS C¡ ¢-SX£¤¥I&[X& ¦

§©¨«ª ¬ &®¤¯p°«°«±¡¯p²,³¤´¤µ ®¤¯p²}¶¤·,±¡¸º¹º»9¯p´ ¼±«µI¯p´9¸º¹º»]½¾[·º¯p´ ¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¿

§©¨«ª_¨«ª À0²,³¤´9®©°½µI¯p´ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¿

§©¨«ª_¨Á§ Â}´]½°«Ã&·,±¡¸º¹º»9¯Ä3¯¢¸º¹º»¤²º¯p±«Å¤³¤´¤µ ¶¤°½´9¯p²}Æ ½¾G¯p²¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ª§

§©¨«ª_¨ÁÇ È0½¢Ã&·,²É½¹p±«´¤µ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ªÊ

§©¨Á§ ¬ &®¤¯p°«°«±¡¯p²,³¤´¤µ ®¤¯p²}¯p°¡¯pË&·,²,±¡¸º¹º»9¯p´ ¼±«µI¯p´9¸º¹º»]½¾[·º¯p´ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ §_§

§©¨Á§©¨«ª À0²,³¤´9®©°½µI¯p´ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ §_§

§©¨Á§©¨Á§ ¬ ³¤°«·,±¡®©±«Ì ¯p´9¸,±¡´]½°¡¯´³¤Ì ¯p²,±¡¸º¹º»9¯tÄ3¯¢¸º¹º»¤²º¯p±«Å¤³¤´¤µ ÍI´ Î&°½²,Ï¯p°«°¡¯p´ ¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ §_Ð

§©¨Á§©¨ÁÇ Ñ0¯p·,Ï¢Ò¯p²,Ë©¸,±«Ìf³¤°½·,±¡´ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ §_Ó

§©¨ÁÇ Ô}Å©Õ,¯pË&·º²,±¡¯p´·,±¡¯p²,·º¯Î±«Ìf³¤°½·,±¡´9¸,³¤ÌµI¯pÅ¤³¤´¤µ Ö ×ØÙ¢Ú¢Û¢ÜÝGÞ ¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ Çß

§©¨ÁÇ©¨«ª Ô}Å©Õ,¯pË&·º²,±¡¯p´·,±¡¯p²,·º¯tà²ºµ_²É½ÌÌ±¡¯p²,³¤´¤µ ¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ Çß

§©¨ÁÇ©¨Á§ Î&°½²á¯p°«°È}¯¢¸º¯½²º¹º»9¯p²¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ Ç_Ê

â ã -äåIæ ¥X&S ç&Xè&X é]SS£¤éPX C¡ ¢-SX£¤¥I&[X& â]ê

Ç©¨«ª ë0&¹º»9¯íì Ï¢±¡¯p´·º¯ÅP¯p±¡®¤¸¨¤ËI´·É½Ë&·,±¡¯p²,·º¯4Î&°½²,Ï¯p°«°¡¯p´9¸,·,²,³¤Ë&·,³¤²º¯p´ ¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ßî

Ç©¨Á§ ¼±«´©ï9³9¸º¸}®¤¯p²VÄ½¸,±¡¸º®¤·,±¡¯p²,³¤´¤µ ½³©¾®©±¡¯tÔVð-¯p´¤Ë&°¡¯pÌÌ ¸,¶]½´¤´³¤´¤µ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ß§

Ç©¨Á§©¨«ª ¬ ½ñ©±«Ì ½°¡¯ ÔVð-¯p´¤Ë&°¡¯pÌÌ ¸,¶]½´¤´³¤´¤µ ±«´ Â}Å¤»]ò´¤µ_±«µ_ËI¯p±«· ®¤¯p² Ä½¸,±¡¸º®¤·,±¡¯p²,ËI´¤Ï¯p´©ó

·,²É½·,±¡´ ¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ß§

Ç©¨Á§©¨Á§ ¬ ½·º¯p²,±½°¡¹º»]½²É½Ë&·º¯p²,±¡¸,±¡¯p²,³¤´¤µ ¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ßÐ

Ç©¨Á§©¨ÁÇ ô¯p²,µ_°¡¯p±¡¹º» Î±«Ìf³¤°½·,±¡´ ³¤´9® ¬ ¯¢¸º¸,³¤´¤µ ¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ßÊ

Ç©¨Á§©¨õß ö]³9¸É½ÌÌ ¯p´©¾÷½¸º¸,³¤´¤µ ¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ Ð©ª

Ç©¨ÁÇ Â}´]½°«Ã©¸º¯ ®¤¯p²}È0½´9®©ÍI¯p²,°«³9¸,·º¯f½´ Ä²,³9¹º»¤Ë_½´·º¯p´ ¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ Ð_Ç

Ç©¨ÁÇ©¨«ª Ä3¯¢¸º¹º»¤²º¯p±«Å¤³¤´¤µ ®¤¯p²4ÍI¯p²,Ò¯p´9®¤¯p·º¯p´ ÎÃ&ÌÌ ¯p·,²,±¡¯¢¯p°¡¯pÌ ¯p´·º¯ ³¤´9® Î±«Ìf³¤°½·,±¡´9¸,¶]½²É½ó

Ì ¯p·º¯p² ¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ Ð_Ç

Ç©¨ÁÇ©¨Á§ Î&¯p²,±¡¯p´Ò±¡®¤¯p²º¸,·É½´9®¤¸É½´]½°«Ã©¸º¯ ¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ Ð_Ð

Ç©¨ÁÇ©¨ÁÇ Â}´]½°«Ã©¸º¯ÍI´ ð-¯p´9¯p´ø]ùPóûú}ÅP¯p²,µò´¤µI¯p´ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ Ð_¿

(3)

×

Ç©¨ÁÇ©¨õß ö]³9¸É½ÌÌ ¯p´©¾÷½¸º¸,³¤´¤µ ¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨ Ê_Ð

Ç©¨õß }´·É½Ë&·,±¡¯p²,³¤´¤µ ®¤¯p²}È9¹ºË©¸º¯p±«·º¯ ®©³¤²º¹º» ÞpÛpÛ Ý ÜÝGÞ ¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨ Ê"!

Ç©¨õß9¨«ª }´¤Ï¯p¶¤·º¯Ï¢³¤²È9¹ºË©¸º¯p±«·º¯p´¤ËI´·É½Ë&·,±¡¯p²,³¤´¤µ³¤´9®4®¤¯p²º¯p´à!½¸º¸,±«Í&±¡¯p²,³¤´¤µI¸º¯p±«µI¯p´9¸º¹º»]½¾[·º¯p´ Ê"!

Ç©¨õß9¨Á§ Î±«Ìf³¤°½·,±¡´9¸,¶]½²É½Ì ¯p·º¯p²³¤´9® ÍI¯p²,Ò¯p´9®¤¯p·º¯f´³¤Ì ¯p²,±¡¸º¹º»9¯f¬ &®¤¯p°«°¡¯ ¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨ Ê_¿

Ç©¨õß9¨ÁÇ ¬ &®¤¯p°«°«±¡¯p²,³¤´¤µ ®¤¯p²VÈ}¯í¾G¯p²º¯p´¤Ï¢Ï¯p°«°¡¯p´ ¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨ Ê_Ó

Ç©¨õß9¨õß ¬ &®¤¯p°«°«±¡¯p²,³¤´¤µ ®¤¯p²0öS¯p°«°¡¯p´ Ì±«·#%$á ¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨ !î

Ç©¨õß9¨ÁÐ á#»]½²É½Ë&·º¯p²,±¡¸,±¡¯p²,³¤´¤µ ®¤¯p²Và!½¸º¸,±«Í&±¡¯p²,³¤´¤µI¸º¯p±«µI¯p´9¸º¹º»]½¾[·º¯p´ ®¤¯p²&(') ¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨ !Ç

Ç©¨õß9¨ÁÊ ö]³9¸É½ÌÌ ¯p´©¾÷½¸º¸,³¤´¤µ ¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨ !Ð

Ç©¨ÁÐ ö]³9¸É½ÌÌ ¯p´©¾÷½¸º¸,³¤´¤µ ¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨ !Ê

* + ,äé-è&&é]SS£¤éP¥I&[X& -¤ê

ß9¨«ª ú}ÅP¯p²,Å¤°«±¡¹ºË È9¹ºË©¸º¯p±«·º¯p´¤ËI´·É½Ë&·,Ï¯p°«°¡¯p´ ¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨ !Ó

ß9¨Á§ ë0&¹º»9¯íì Ï¢±¡¯p´·º¯f³¤´9® ±«´9®©³9¸,·,²,±¡¯p²º¯p°¡¯pÍ_½´·º¯/.0)1) ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨ ¿_Ç

ß9¨Á§©¨«ª Â}³©¾[Å]½³ »9&¹º»9¯íì Ï¢±¡¯p´·º¯p²0³¤´9® ±«´9®©³9¸,·,²,±¡¯p²º¯p°¡¯pÍ_½´·º¯p²ÈVáá¸ ¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨ ¿ß

ß9¨Á§©¨Á§ ô´ ®¤¯p²V»9&¹º»9¯íì Ï¢±¡¯p´·º¯p´ Ï¢³¤²V±«´9®©³9¸,·,²,±¡¯p²º¯p°¡¯pÍ_½´·º¯p´ ÈVáá ¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨ ¿"!

ß9¨Á§©¨ÁÇ Â}´]½°«Ã©¸º¯ ¸º¯p»¤²}®2¤´¤´9¯p²035476/89 :ÈVáá Ì±«·V±«´9®©³9¸,·,²,±¡¯p°«°¡¯p²Î·,²,³¤Ë&·,³¤² ¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨ Ó_§

ß9¨Á§©¨õß È}¯pËIÌfÅ¤±«´]½·,±¡´9¸É½´]½°«Ã©¸º¯ ¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨ Ó"!

ß9¨ÁÇ ;0±¡¯¼Ì±«·,·º¯p²VÆ ²É½¶©ó=<3»¤²º³¤µ_» Î&°½²,Ï¯p°«°¡¯ ¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨ ªî_§

ß9¨ÁÇ©¨«ª Â}³©¾[Å]½³ ®¤¯p²1 ?>_ÞÝ@BA ³¤´9® CDFE"C?GIH ¼Æ < Î&°½²,Ï¯p°«°¡¯ ¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨ ªî_§

ß9¨ÁÇ©¨Á§ Î&¯p²,±¡¯p´Ò±¡®¤¯p²º¸,·É½´9®¤¸É½´]½°«Ã©¸º¯ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨ ªî_Ð

ß9¨ÁÇ©¨ÁÇ È}¯pËIÌfÅ¤±«´]½·,±¡´9¸É½´]½°«Ã©¸º¯ ¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨ ª_ª§

ß9¨õß ô¯p²,µ_°¡¯p±¡¹º» .0)1) J K LNM O ¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨ ª_ªpß

ß9¨õß9¨«ª ¼²,Ò¯p±«·º¯p²,·º¯¢¸¼ÅP¯p²º¸ óû¬ °«°¬ &®¤¯p°«°P¾@¤²V®©±¡¯¼Æ < Î&°½²,Ï¯p°«°¡¯ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨ ª_ªpß

ß9¨õß9¨Á§ ô¯p²,µ_°¡¯p±¡¹º» ÅP¯p±-ô#½²,±½·,±¡´ ®¤¯p²ô°«³¤Ì ¯p´¤°¡¯pÅP¯p´9¸º®9½³9¯p²t¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨ ª_ªÐ

ß9¨õß9¨ÁÇ ô¯p²,µ_°¡¯p±¡¹º» PIQR7SUTWV@XYP5Z7[?.0)1) ³¤´9® PIQR7SUTWV@XYP5Z7[LNM O ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨ ª_ªB!

ß9¨õß9¨õß à·º¯p´·,±½°«ÍI¯p²,µ_°¡¯p±¡¹º» 476/89 ®2¤´¤´9¯p²\.0)1) ³¤´9® LNM O ¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨ ª§©ª

ß9¨ÁÐ ö]³9¸É½ÌÌ ¯p´©¾÷½¸º¸,³¤´¤µ ¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨ ª§_Ê

¦ ] £9_^Cè SS X]é©£9X& `£¤£¤è a¤& b Xè¢ a9& ¤9ê

Ð©¨«ª Â}´]½°«Ã©¸º¯ÍI´ °¡Ë_½°¡¯p´ Î&¯p²,±¡¯p´Ò±¡®¤¯p²º¸,·Éò´9®¤¯p´ ¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨ ª§_Ó

Ð©¨«ª_¨«ª ¬ ¯p·,»9&®¤¯p´ Ï¢³¤²}Ä3¯¢¸,·,±«ÌÌf³¤´¤µ ®¤¯¢¸0Î&¯p²,±¡¯p´Ò±¡®¤¯p²º¸,·É½´9®¤¯¢¸ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨ ªÇ_î

Ð©¨«ª_¨Á§ #CË_½°¡¯tÎ&¯p²,±¡¯p´Ò±¡®¤¯p²º¸,·Éò´9®¤¯ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨ ªÇ_Ç

Ð©¨«ª_¨ÁÇ ô¯p²,·º¯p±«°«·º¯4Î&¯p²,±¡¯p´Ò±¡®¤¯p²º¸,·Éò´9®¤¯ ¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨ ªÇ_Ð

Ð©¨«ª_¨õß ¬ ¯p·,»9&®¤¯p´ÍI¯p²,µ_°¡¯p±¡¹º» ¾@¤²0ö]Ò¯p±ó#³¤´9® ¬ ¯p»¤²º®©±¡&®¤¯p´¤Ì &®¤¯p°«°¡¯ ¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨ ªÇ_Ê

Ð©¨«ª_¨ÁÐ ¬ ¯p·,»9&®¤¯p´ÍI¯p²,µ_°¡¯p±¡¹º» ÅP¯p±C¸,±«µ_´¤±Fc9Ë_½´·º¯pÌ ¬ ¯p·É½°«°ó#³¤´9® }´·É½Ë&·ûÒ±¡®¤¯p²º¸,·É½´9® ¨¨ ¨ ªÇ_¿

Ð©¨«ª_¨ÁÊ ¬ ¯p·,»9&®¤¯p´ÍI¯p²,µ_°¡¯p±¡¹º» ÅP¯p±C¸,±«µ_´¤±Fc9Ë_½´·º¯pÌ ¼Ì±«·,·º¯p²º¸º¹º»¤±¡¹º»·ûÒ±¡®¤¯p²º¸,·É½´9® ¨¨ ¨¨¨ ¨ ªpßî

(4)

Ð©¨«ª_¨Á¿ }´·É½Ë&·ûÒ±¡®¤¯p²º¸,·É½´9®¤¸,Ì &®¤¯p°«°¾@¤²0Î±¡¯pÅP®©²,³9¹ºË&ËI´·É½Ë&·º¯ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ªpß§

Ð©¨Á§ Â}´]½°«Ã©¸º¯ÍI´ °¡Ë_½°¡¯p´ »¤Ì ¸º¹º»9¯p´ Î»³¤´·º¸ ¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ªpß_ß

Ð©¨Á§©¨«ª ¼±«´¤Ï¢³¤µI¸,ÅP¯p²º¯p±¡¹º» ¯p±«´9¯¢¸V»¤Ì ¸º¹º»9¯p´ Î»³¤´·º¸ ¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ªpß_ß

Ð©¨Á§©¨Á§ ;¯Yc9´¤±«·,±¡´ ÍI´ °¡Ë_½°¡¯p´ »¤Ì ¸º¹º»9¯p´ Î»³¤´·º¸ ¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ªpßÊ

Ð©¨Á§©¨ÁÇ Â}´]½°«Ã&·,±¡¸º¹º»9¯¢¸}¬ &®¤¯p°«°P¾@¤²V®¤¯p´ Î&¯p²,±¡¯p´Ò±¡®¤¯p²º¸,·É½´9® Ï¢³¤²}¬ ¯p·É½°«°«±¡¸,±¡¯p²,³¤´¤µ ¨ ¨¨ ¨¨ ªpßÊ

Ð©¨Á§©¨õß Â}Å9¸,·É½´9®¤¸,Í_½²,±½·,±¡´ Î»³¤´·e ¬ ¯p·É½°«°«±¡¸,±¡¯p²,³¤´¤µI¸fc9´¤µI¯p²¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ªpß¿

Ð©¨Á§©¨ÁÐ ô#½²,±½·,±¡´ ®¤¯¢¸0Î»³¤´·ûÒ±¡®¤¯p²º¸,·É½´9®¤¯¢¸0¾@¤²·ûÃ&¶¤±¡¸º¹º»9¯fà_¸,±«·,±¡´9¯p´ ¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ªpßÓ

Ð©¨ÁÇ ö]³9¸É½ÌÌ ¯p´©¾÷½¸º¸,³¤´¤µ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ªÐ_î

g hè£9(iû]&Ij]è¢ èè SS Cå-Sp b Xè¢ a9& ¤¦9â

Ê©¨«ª À0²,³¤´9®©°½µI¯p´ ®¤¯p²k³]½´·,±«·É½·,±«ÍI¯p´ Î»³¤´· ó=<3»9¯p²,Ì µ_²É½Bc]¯ ¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ªÐß

Ê©¨«ª_¨«ª À0²,³¤´9®©°½µI¯p´ ®¤¯p²VÆ ò²,Ì ¯¢¸,·,²É½»¤°«³¤´¤µ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ªÐß

Ê©¨«ª_¨Á§ ¬ ¯¢¸º¸É½³©¾[Å]½³ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ªÐ_Ê

Ê©¨«ª_¨ÁÇ Â}´]½°«Ã&·,±¡¸º¹º»9¯l#%m_¸,³¤´¤µI¯p´ ¾@¤²V®©±¡¯ Æ ò²,Ì ¯½³9¸,Å¤²º¯p±«·,³¤´¤µ ¯p±«´9¯p²}_¸,Ï¢±«°«°«±¡¯p²º¯p´9®¤¯p´ n}³9¯p°«°¡¯ªÐ_¿

Ê©¨«ª_¨õß ¼±¡¹º»©¾÷½Ë&·º²º¯p´ ¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ªÊ_Ç

Ê©¨«ª_¨ÁÐ $9¯p»¤°¡¯p²k³9¯p°«°¡¯p´ ÅP¯p±C®¤¯p²k³]½´·,±«·É½·,±«ÍI¯p´ Â}³9¸,Ò¯p²,·,³¤´¤µ ¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ªÊ_Ê

Ê©¨Á§ n}³]½´·,±«·É½·,±«ÍI¯tú}ÅP¯p²,¶¤²©¾[³¤´¤µ ®¤¯p²0Î»³¤´·É½´]½°«Ã©¸º¯ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ªB!&ª

Ê©¨Á§©¨«ª Î»³¤´·}Ï¢Ò±¡¸º¹º»9¯p´ ®¤¯p´ ¬ ¯p·É½°«°«±¡¸,±¡¯p²,³¤´¤µI¸fc9´¤µI¯p²,´ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ªB!Ç

Ê©¨Á§©¨Á§ Î»³¤´·}³¤´·º¯p²0¯p±«´9¯pÌ ¬ ¯p·É½°«°«±¡¸,±¡¯p²,³¤´¤µI¸fc9´¤µI¯p² ¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ªB!Ç

Ê©¨Á§©¨ÁÇ Î»³¤´·½Ì È0½´9® ®¤¯p²Î&°½²,Ï¯p°«°¡¯ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ªB!Ê

Ê©¨ÁÇ Î»³¤´·É½´]½°«Ã©¸º¯f¯p±«´9¯p²V±«´9®©³9¸,·,²,±¡¯p°«°¡¯p´ Î&°½²,Ï¯p°«°¡¯ ¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ªB!o!

Ê©¨ÁÇ©¨«ª <3»9¯p²,Ì µ_²É½Bc]¯pÌ ¯¢¸º¸,³¤´¤µ ¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ªB!¿

Ê©¨ÁÇ©¨Á§ Â}³9¸,Ò¯p²,·,³¤´¤µ ³¤´9® $9¯p»¤°¡¯p²É½Å9¸º¹º»]ò·,Ï¢³¤´¤µ ¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ªB!¿

Ê©¨ÁÇ©¨ÁÇ ¼±«´©ï9³9¸º¸}®¤¯p²Î»³¤´·º¸0½³©¾®©±¡¯\ ¯p´¤´¤°«±«´¤±¡¯p´¤¶]½²É½Ì ¯p·º¯p² ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ªB!Ó

Ê©¨õß ö]³9¸É½ÌÌ ¯p´©¾÷½¸º¸,³¤´¤µ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ¨¨¨ ¨¨ ¨¨ ª¿_î

- p è£rq ¥è£rq q &(iû£¤èè 2s]â

s t ujrv#&S[Xäå-]& 2sw-

x £©S¥I&XäåXè ©ê-

(5)

ô ×

(6)

(

= Dooo DwWWU DW W¡r ?¢B£@r ¤¥W¦¢ulDW§¤©¨D¡rD WªoW¨D¡Dª «¬7?¢u §®©Wf¯

°

W¦±u¡rDW¨D¡Dª"W¡~² ³Y´ µl¶N·¸lDWN¤©¨D¡rD WªoW¨D¡Dª W¡ ¨DN£¹¢7 W¡rD Nº¢u¨DDªo¨D¦¢7UW¡%»¼W0 ¤«

½ ¬7/§¾¨ DW ¿~D¨r Àrr¢7

ÁuÂIÂIÂÃYÄIÅwÃÆ7ÇÈUÉÊ7ÇÃlË©ÅwÃYÌ5Æ7Ä¹ÃYÍ©ÃYÅÎUÃ0Ï~ÅwÃYÌYÇÐuÑ¦ÑYÇÄ5ÒYÓ Ä_ÑWÔIÕÏ~Ö Î7Ä¹ÃlÅÊoÔ@×~ÌYÇÄ5ÒYÓDÃYÅ Ø(Ã ÉÃYÅDÑÆ7ÌYÏ~ÅÎ2ÇÊ ÆUÃYÅ

ÎUÃYÌ Ù ÃYÅDÑÒYÓ"ÓDÃYÄ@Ô§ÚWÏ ÑÒYÓU×2Ô_ÚBÃYÅ Ï~ÅÎ Î7Ä¹Ã Ë©ÅwÃYÌ5Æ7Ä¹ÃÊ7ÌYÖNÏ2Ô/ÄIÅ ÎUÃYÅ Ë©Å?Ô@ÍÄ5ÒYÛBÇÏ~Å~ÆuÑYÇÐ7ÅÎUÃYÌYÅ ÚWÏ

ÉÃ¦Ñ ÃYÄ@Ô@ÄÆUÃYÅwÂÜÏ~Ì\Î7Ï~ÌÒYÓ ÃYÄIÅwÃYÅ Æ7ÌYÏ~ÅÎ2ÇÃ5ÆUÃYÅÎUÃYÅ Ý(Ö ÉÊ7Ï ÎUÃYÌ1Ë©ÅwÃYÌ5Æ7Ä¹Ã¦ÑYÞuÑWÔ=ÃYÖ Ã\ÇÐuÑ¦ÑWÔ(ÑYÄ5ÒYÓ ÃYÄIÅwÃ

ÅrÄ5ÒYÓ~Ô@ÅÊ"ÒYÓ"Ó2Ê7ÇFÔ@ÄÆUÃË©Å?Ô@ÍÄ5ÒYÛBÇÏ~Å~Æ ÍÄ¹ÃÎUÃYÌ§ÄIÅ ÅÊ"ÒYÓ"Ó2Ê7ÇFÔ@ÄÆUÃ\ßÊuÓUÅwÃYÅ ÇÃYÅDÛoÃYÅwÂ5à

³fád«\¢oouâ=À¿»ãB¸

¼W

°

¬7 ¤«

°

¬7ª" D_¢uª"W¡r\YäDW/D_¢u rå £¹¢7 ¾¨ DW ª"Y£5¬7DWW¡ ªo¨D¡r2Wª"W¡rDW¡ N¯

?¢u¨ DW æ¡rWªo ç2 W wW¡D?¢uW

°

W ¾ W¡U¦¢u ¤¥ ¦¢u¡r2WoÀr¢u¨D¡UW DW¡ =WrWDrW¡ ¨2£I¯

¨D¡r ¨r ?¢u¨ ¡rW¨rWW¡rW¨rW?¢uWæ¡rWªoW¦±uª"W À?¡r w ¬7¡rDWlDW¿~¬7_¢uW¡rWªo¦²Y»

¼§¤¥DW¨D¨D¡Dª DW\¿~¬7_¢uW¡rWªooÀwDWW¡ ¡UW¢u ª" ¦¢u§W¡ ¿U¬7

°

WD¦¢u¨r ¡ ¼W¨D D_¢u¡r

2ªo 2»èo2ã é"ê wW¦±uªoWëuÀ ®10r¢72¨D/wWªoD¡rDW Àur¢7 (_¢u¡Dª7£@ ª\DW Wª"W¡rD©å ±uW¡rWªoY¯

wr¢uf£ ¡U¨D2¨D W¡r\W¡U DDW¡r/¿~¬7¡D¡rW¡rW¡rWªoW¡U¨D¾¨D¡Dª ª"D ½ ®©WDW¡ ½ ¢u¡D¡%ÀD2/1®©WW

r ¦¢u¡r r¢7 1ªoì7ío\¡?¢7D?¢uª"0å¬7W¡D¾_¢u(w ¾0³fád«\¢oouâ=À?¿»è"¸Y»

æ¡N®© W¡Ur îW¨D £@D 2©¼¨Dr W¾¨D¡Dª\DW¿~¬7_¢uW¡rWªo1 ¡r02©ºW W¨D¡Dª" ½ ¬o W¡%À

20¹»ï0»?¡ ð ñ ÛòNó ô&Ý,Ý ñ ÛWôBõö ¢u¡Dª"Wª"WwW¡ ®©WDW¡%»÷"0¡?¢7 ø±uDrW0¿~¬7¡D¡rW¡rW¡r ¦¢uD¨D¡Dª ®©WDW¡

¬7 W¡U¦¢u¡ ¢2»(2»èB¯ù2»èú ðû õ ´ ü £@D\/W §år¬7¬

°

¬7¦¢u

½

W¾ W¨Dªo W

½

r ý%W ¨D¡Dª ¢u¡Dª"W¡r¬7N¯

W¡%»%æ¡ º¢u¨DD_¢7 wWW D læ¡rWªo

°

WD¦¢u¨rr 0 ¬7 W¡U¦¢u¡ ®1 ?¢B£@rW§ W\Wªo\

¤¥WW 2»ãY¯ù2»è ðû

õ ´ ürþo»w¼

°

WDW¨DU02/ÿ¬7=®©W¡r2ª ½ W À(2NºW W¨D¡Dª" ½ ¬o W¡

°

¬7¡ år¬u¯

¬

°

¬7¦¢u

½ ¬~2¨DW¡ DW¨D ¾¨ W¡

½

W¡%»

¤¥W\DW¡ « ¦¢u§ ½ ¬o W¡ £@D W¡ år¬7¬

°

¬7¦¢u½ ¬~2¨D0W¡Uf£¹¢uW¡ ¢2»U"ê ¢u¨2£02 ¢B£5W ½ ¬o W¡%À

U"ê ¢u¨2£ 2 ¬~2¨DD¡D½ ¨D¡r o"ê ¢u¨2£ 2(D¡r¬7¬7ªooÀ?»%»2DW¡ ºW W¨D¡Dª" D¬7¾ 1DW¿~¬7_¢uf¯

¾ WU»r¼\¢u¦¢u¨r Wª"WwW¡ ¾®©W r¬7 U¨D¡Dª" U®©WD¨D¡

½

DW¢

½

¨rWW¡ ¿~¬7_¢u¾ WW¡2£5¬7 U¨D¡Dª £@D

¿U¾¨DN¯f¿~¬7_¢u¾ WW¡

!"#%$'&(() *+&,.-0/&(0$'*1 23*-$.(&,1 &54/"3&(0671 &54/"3&$ -(&,1.89:$<;>=@?A90B<=.C-(&,1D;FE'4 G-0'4H90888

I5) &54JK&,2323L 1 /JM*JK&,1"31N '4*OP-(&54Q,&,L /0&54 &,23&,M4"3JRS &54 T&,"3JKL 1 /U$'&,J;F&54"3/&,1WVX*<$'L 23JYL 1&54 ?S-01.$ -(4S$<&,JKA&5Z

$'"31 /L 1 /&,1

[(\ L &,2323&]O 7) *0^:U-01=]_O 6 ?<*23L'"3*1 J`"31 a b(ced(f+gHhi5h5d(fSjk d(l:monphqhceb,rAsXhlAtHuHg bdmiDt>bvdi,twfSb(l'x'hf`sDd(fy'ht=

z

*044S-0/`{*1G'ATL' &54= GL 1 "]90889

| O}*<$'"~JRS='CH&,L'JRS &p?<*2-(4=:9088<

(7)

¼\¢ 2 ¿~¬7_¢u¾ WW¡UD¡r¬7¬7ªo W¡rW¡ W_¢u

° ½ W¡rW¡ ¡UW©¾¨ DW¡ « ¦¢u§ ½ ¬o W¡ wW¦±uªo À

½ ¢u¡D¡ W¡r0¿UWª"W¨D¡Dª D U ¬~2¨D®1 ½ ¨D¡Dª" ªo¦¢7D 2¨D

'oYH Y Y.Y: >< >@ :K>Y <.Y¡¢'Y

2« ¦¢u§ ½ ¬o W¡ W¡ ½ W¡%ÀU¢u¨r wWrWUW ¡r Wª§DW©ºW W¨D¡Dª" ½ ¬o W¡%»U¼ W w ½

®1 ¾¨r ¦±u¾ 2¨D 2\ªo¬7í"§¼F£WW¡D¾§¡ DW¡ ½ ¨D¡Dª" ªo¦¢7DW¡ ¡r2¨r WW¨D¡r ý(¢B¯

w¬7 ¢uí" ¦¢u ª"Y£5WªoW\¿~¬7_¢u¾ WW¡ ¬7

°

W<D ±uDW¡r ¡ DW¡ r¬7 U¨D¡Dª" ¡r ¨DW¡ D ¾¨

r»¤oê ¥W®1 ½ ¨D¡Dª" ªo¦¢7 ¨D¡UW¿U¦¢u¡rr¢u2w2¡Dªo¨D¡Dª"W¡ WWU¥®©WDW¡%À~Wª"W¡ 2 ½ ¨D¡Dª" f¯

ªo¦¢7D ¬7 W¡U¦¢u¡ ¡r2¨r Ww¡ ªo¬7í"W ¢uí" ¦¢u ª"Y£5WªoW¿~¬7_¢u¾ WW¡ ¤¥WW

°

¬7¡ ã "ê

¯ã'¤oê »

¼W1r¬7rl¡UWDW1 ¢B£5W ½ ¬o W¡ ¢u¡ DW¡ « ¦¢u§ ¬~2¨D½ ¬o W¡ ¬7

°

W2

'oYH Y H¦ Y § @¨S~»

¥?¨r ¦±u¾N¾¨D ¢uW_¢uW¡r ?¢u¨D¡DªwW~DW å¬7¾ W¨D¡Dª2D¡D¡rWW¿~¬7_¢u¾ WW¡ ½ ¢u¡D¡§¹»ï0»' ¢B¯

W_¢u/ª"W¡Dª"WWW©¨?¢u¦±u

°

W®©W¡rDW\®©WDW¡ ¨D¡r r¢u/W¡r§®©WWoªW¡Dª"W¨D¡Dª DW

î¬o W¡ WWU®©WDW¡%»

=¡ 2 W©wW®©WDW¡ r¬~r« ¾W¡U§¿U¾¨DN¯f¿~¬7_¢u¾ WW¡ Yä2wW W¡UW¨D¡r /W WD2F¯

W¡r ¬7¡?¢uW¡U¨D W rW! ¬~DWW¨D¡Dªl¢u¡?¢uç2 W »7æ¡ ¿~U®©WD¨D¡ ½ Wªo DWwW2¡/DW!¬?¢u¦¢ ½ Y¯

W¨D¡Dª

°

¬7¡ ªW¨r ?¢u¡D W¡ ¡ r¬~r« ¾W¡UW¡ ¿~¬7_¢u¾ WW¡%ÀU21/

°

WW¡2£¹¢7UW¡ å¬7¾ Y¯

¨D¡Dª" Wr¬~DW¡ ¬~DWl¡rW¨ W¡U=®1 ½ WW¡ ¡r2¨r W¥W¡r W¾?¢uW¡ î¬7¡U¦¢ ½ W¨D¡Dª" Wr¬~DW¡ rWª"Y¯

W1®1¨DDW¡%»D¼\¢7 å¬7W¡D¾_¢u

°

¬7¡ 2D¡D¡rW¡ r

½

WW¡

½

¬7¡U¦¢

½

WW¡ ¿~¬7_¢u¾ WW¡ ®1 /W 1 WDf¯

2 W¡r ¬7¡?¢uW¥º¢uDWW §¨D_¢u¬7¡ °

¢u¨DW »~¼1¡U¨D W rW¡ Wr¬~DW¡ ®©WDW¡ r¢uDwW©D¡?¢u¨r

wW¡U¨D¾ Àr¨D DW¡ æ¡]r¨r

°

¬7¡ ¬ ½ ¢uW¡ ?¢u¦¢7 ¦±uW¡ DW ¦±u¡rDW¡ ¾¨ ¢u¡?¢uç2 WW¡%»¢¥?¨r ¦±u¾ ®1

W¡r Wr¬~D\¾¨DD®U¨?¢u¡U¦¢u

°

W¡ ¨D¡Dª

°

¬7¡ ¬

½

¢uW¡ å ¢u¦¢uW®1DW ¦±u¡rDW¡

°

¬7ª" W »

¯

Y¨S° 7 ±².K>²Y

¯

°p³

¼\¢7 ¾®©W§îl¢uDWªoDW¡r§æ¡2£@DD¨D¡Dª ¡ 2l WD2 W¡r ¬7¡?¢u0¡U¨D W ro ¬~DWW¨D¡Dª

°

¬7¡

¿U¾¨DN¯f¿~¬7_¢u¾ WW¡%»ºWwW®©WDW¡ 2 «¨D¡r2_¢uª"W¡ DW ¢u¡?¢uç~ rW¡ ¬7D rW¡ ¬~DWW¨D¡Dª

¬ ®1§DW¡U¨D W rW¡ ¬7D rW¡ ¬~DWW¨D¡Dª /W \¿U¦¢uD

°

Wf£5¬7ªo¨D¡Dª W_±u¨DW¨D¡r W¡ ´wWf¯

D ½ DWªU±u¡Dªoª"W¡ ¿U¦¢uD

°

Wf£5¬7ªo¨D¡Dª" D¬7ªo¦¢u/ /ª"Wª"WwW¡%»¤¥W DWX ¬~DWW¨D¡Dª DWW ½ rW¡

æª"W¡r ?¢B£@W¡ ®1 wW¾Wrr¢7 ¡ 2 WwWwW¡U¨D¾º¢uDWW §¨D_¢u¬7¡r D¬7ªo¦¢u/ µ¶]··]¸A·

¨D¡r/2¥¾¨D ªW ¦±u¡r2¡D ¡r¬7=®©W¡r2ª"W¡ «¨D¡r2_¢uª"W¡ DWº¢uDWWDUç2 ½ W_±u¨DW »"= W¾W¡ 2¯

D¡D¥2 ¥îl¢uDW ©®1 DWío 2¢u D¦¢u¨D¡Dr¬u£5W1¿~æ ¨D¡UW+ =®1 ½ ¨D¡Dª/D ©¨D¬7 ¥W¡Uf¯

¦¢u¡rDW¡r¿U§¨D_¢u¬7¡r ¨D/ª"WD¨D¡Dª}¹:º@».¼]½¾]¿'À7Á

°

¬7ª" W Ào2¥W¡r1W¡DrWr¿UW¨rW¨D¡Dª" ¬7wW,±7r

£@D12

½

¬7/DYäDW¡ D_±u¨2£5\W¡rW¿~¬7_¢u¾ WW¡r §¨D_¢u¬7¡ r¢u W1¨D¡r ¬7/1W¡r\¨D¬7 ¢u W¨D¡Dª

DWU ¬~DWW¨D¡Dª W ì7ªoU »

= 2W¡ îl¢uDW®©WDW¡ r¬~r« ¾W¡U/wWD Wª ½ ¬7¡U¦¢ ½ W ¿U¾¨DN¯f¿~¬7_¢u¾ WW¡ Yä2wWF¯

W¡UWw¨D¡r /W ©¡U¨D W rWU ¬~DWW¨D¡Dª ¢u¡?¢uç2 W »~ºWwW®1 ¾¨D¡?±7r 1DW1æ¡]r¨r ¥DW

¤1¢7 D¬7W¨D¡Dªl¢u¨2£?2UÂU£W¡ ½ W/ ?¢u¡D¡U¨D¡DªlDW¿~¬7_¢u¾ W¥¨D¡UW ¨rU »o¼W ªWªoW

°

¬7¡ ¿U§¨D_¢B¯

¬7¡ ¨D¡r æ ä2wW W¡U1W ì7ªoU2DªWFÃr¾W¨D¡Dª W¡r ¥r¬7W rW¡ ¬~DW

°

¬7¡ 0»D¿~rW¡ ½ ¾¨D

¤¥ DWD¨D¡Dª DWl¤1¢u¡rr¢ur ¦¢u¡rD

°

W¡Dª"W¨D¡Dª ³Ä ô'Å¢Æ Ç2ô ñ ÅôBòòÈ7óHÉ#Å]Ç À

ßvÊÜ

¸¡ D?±u¡Dªoª ½ W0DW

¤1¢7 D¬7W¨D¡Dªr»U= ¾®©WW¡ r D¡D®©WDW¡ 2+ªW¨r ¢u¡ ¨D¡D?¢7

°

WW¡ ¤©¨r ½ ¢u¡UW¡ ¢u¡?¢uçU¯

W¨D¡r 20®© W¡UrW¡ ªW¨r

½

¢u¡?±uN¡ D?±u¡Dªoª

½

WlDW\¤¥WW¨rU¨D¡Dª" ¡UW¡r ¦±u0w /§ »

¥rW ¢0D ¥2W¡ r D¡D ¥ ¥2¡?¢uç2

°

¬7¡ ¿~¬7_¢u¾ WW¡%ÀD2/1W¡rW¢u D¦¢u¨D¡Dr¬u£5W¿~æ

(8)

W¡U=®1 ½ WW¡ Wr¬~D¾¨DHËr ½ WW¡ ½ ¬7¡U¦¢ ½ W¨D¡Dªl/W ý(¢7 W1³>Ìô ÍÎò0Ï>ÐDòÎÆ}ÑÈ<ÅÒ=ô:Ñ'ÒÍ À

ØYÓUÔ

¸D¬u¯

¾ W®1¨DDW¡%»

=

°

WW¡ îl¢uDW®1 r¢7 å¬7W¡D¾_¢u

°

¬7¡ ¾®©W\¿~¬7_¢u¾ WW¡r ¨

½

¨DW¡ °

¢u¨DW À2 2ª7¯

¢u¡ DWWËr ½ W ½ ¬7¡U¦¢ ½ W§®©WDW¡2 Î(ÕPÉÒÒ5Îò ó òYô ñ Ï,Òü òÈÖ Ç ü ³

Ë}× Ø

¸l¿~¬7_¢u¾ W ¨D¡r 2

òÎWôBòUÑÈ<ÅÒ=ô:Ñ'Ò!ÑÎ Ì#Ì³Ù

Ô+Ô

¸Y»"¼UË ½ ¬7§D¡?¢u¬7¡r

°

W¨r wWDW+¥W ¨ ½ ¨DW¡ wW²ªW®©W¡r2¨D¡Dª ½ ¬o f¯

W¡DªoD¡r ª"W ¿UWw2¨r

½ Wr¬~DW¡ ¡ DW ºW W¨D¡Dª ®©WDW¡ /W ¡U¨D W rW ¬~DWW¨D¡Dª

¢u¡?¢uç2 W »7¥?¨r ¦±u¾ ®1 r¢7 ¥å¬7W¡D¾_¢u%DW©wWDW¡ ¥W ¨ ½ ¨DW¡ /¥DW

°

¬7¡ ½ ¬7¡

°

W¡U¬7¡rWW¡

¿~¬7_¢u¾ WW¡ £@D2\å¬7¾ W¨D¡Dª ¢u¨2£2D¡D¡rW¡ ¢B£5W¡

°

WªorW¡%»

= £@D¡2£@W¡ îl¢uDW®1 W¡r ¢u¨r f£@DDr ¡?¢uç2

°

¬7¡ ¬ ½ ¢uW¡ ?¢u¦¢7 ¦±uW¡ DW ¦±u¡rDW¡

2¨DDª"Y£@DD »¢D¬ ½ ¢u0¿~WW¡U®1DW ¦±u¡rD0®1 DWæ¡]r¨r ¢u¨2£2lªo¬7?¢u§î\W¡D¡D¡D

°

WDW¨Df¯

U ¬ ®1

°

W DDW¡r Wr¬~DW¡ ¾¨D ¤¥ /§¨D¡Dª D ¿~WW¡U®1DW ¦¢u¡rD ¢u¨r DW ªo¬7?¢uW¡

ºWF¯ ¨D¡r ¼¨D¡ ½ W½ W¡D¡D¡D

°

¢u¨DW »]D¬ ½ ¢uå ¢u¦¢uW®1DW ¦±u¡rD ³_=¬7D rl¿UU¨D¡U ù²¸®1 DW

æ¡]r¨r ¢u¨2£(2ªo¬7?¢uî\W¡D¡D¡D/W ¥¡U¨D W rWÿW¾®©W ½ §¨D_¢u¬7¡ ¢u¡?¢uç2 W À~¡ D?±u¡2¯

ªoª

½

WDWå¬o ¬7¡ D ¬7D rW¡ ¿UU¨D¡U W_¢u

°

¾¨D W¦¢u W¨D¡Dª" ªoWDW¿~¬7_¢u¾ Wo»

D¦¢u¨D¡Dr¬u£5W1¿~æ ©W¡r ¦¢uD?¢u¦¢u¨D

°

¬7?¢u¡rDW¡%À~/¥DW¥W_¢u

°

X(W/wW¦¢u¨D¦±u¡rDW¨D¡2¯

ª"W¡ ¢u¨2£1DW0¿~¬7_¢u¾ WW¡r¬7wW,±7r ¬7 ¦¢u¨2£@ª"Wìo

°

W W¡ ®©WDW¡ ½ ì7¡D¡rW¡ ³@¨]?ìo ¨D¡Dª"

°

W ì7ª"W¡

¢2»ã Ú Û ¸Y»?= r W¡ îl¢uDW®1 W¡ro Wr¬~D

°

¬7ª" W À®102 o(W/wW¦¢u¨D ¨D¡Dª

¾¨D®U¨?¢u¡U¦¢u

°

W¡ ¬7 ¦¢u¨2£@ª"Wìo W¡ ¤¥ /§¨D¡Dª

°

¬7¡ ¬7D rW¡ ¿UU¨D¡U wW¡U¨D¾®©WDW¡ ½ ¢u¡D¡%»¼

°

¬7ª" Wo Wr¬~Dl®1 ¢u¡ WDWW¡ ( D¬7wW¡ DwWD2£@¨D¡r W¡r§YäDW/D_¢u ro®U¨?¢u¡U¦¢B¯

°

l¨r ®©W¨D¡Dª DW¿UU¨D¡U W¡rW=ç~D rW¡ =¡r2¨r Y¯f¿~¬7_¢u¾ W02¨DDª"Y£@DD »

¼\¢7 WD\îl¢uDW(ªoD¢ur DWí"W¡r W¡ro¥?¨r ¦¢u/ W¡2£¹¢7 ¨D¡Dª DWæª"WD¡D l2 WwW »

(9)

(10)

ä å æ ççèHæ é ê ë ì í ä ë î èçèHï èê ð ñ î ä çò é ï æ ççHæ ë

óô.õpö"÷ø@÷ù#úú(õúDû üý@þÿ#ÿ@÷`þõ@÷(þù#ø Wö:ü ü.ÿ³ô ÷<þÿ#ÿwþ ùwõúpý7ô.õ!ô ²ô ÿúùwõ7þ "!

ý7ô.õDþù 7þ$#÷%þù#ú(þ÷ ý@þõ&#ù 7ý]ùwüý@þ ' üý@þÿ#ÿwõ& ²ô (7ü)ÿwþ ý7ô ÷(õú(þÿ#ÿ#ú*,+

-."/1032 -(465.87 9

:<;>=>?A@BDCFE@BAGIHKJLGNM O 0NP

/ M

-."/Q0>R$S

RT

M

-UWVYX

Z [\ ]

^_a`b_acWbd"`ecWbd"faf

Pg-(4h.87 9

:i=>?A@BDCFE@BAGIHKJLGNM O 0 j8kmln,o

'Pù#úý@þ÷!÷(þõ@ÿ#úùwþ÷(þ 7ý@þ ú÷(ü' ý]ùpú(þg-3!ý@þ÷`ô ý]ùwþü.ÿ³ô ÷<þÿ#ÿwþô :þÿwþAú(þ (q²ô ( / !:ý@þ÷r#ÿwþ' þ ms

ú0ô ÷ÿ³ô.ým tm!ý@þ÷1`ü.ÿ#ú' ô ):ü 7õú0ô ú(þ uF!Yý@þ÷1vYþ'wq¢þ÷0ô ú@÷gx1!ý@þ y5ý@þ<ô ÿ#ù#úWz ú(õ|{ô)ú(ü.÷(þ }D5<!~}Nh!ý@þ÷

ÿ#ùpú:þ 7þ÷ùwþ÷ú(þ ú÷(ü' ý]ùpú(þ -UWVYX õ(ü<%+ùwþ ý@þ' Hô ÷0ô ÿ#ÿwþÿsg 7ý þ÷ùwþ (%+ùwý@þ÷(õú0ô 7ý R$S 7ý RTlHóô.õ

ý7ô:þ.÷ù:þ1#÷(õ0ô ú<õ²ô ÿ#úø@ù#ÿwý ùwõúUù Dø@ø@ù#ÿwým kmlnvý7ô ÷:þõú(þÿ#ÿ#ú<l

R _P V R _s J ₀₂

J ₀₁ J _gen

n ₂ n ₁

&mmm( """|8YWa" , |

¡¢ |,£<, |¤¥¦£<, ||§¨D ª©YW8aY«" |¤¬ a

, >"Y«W¤, ~8¤¤ |¤ |¥ ©YW | |¤¯®p°D±²

³

¤ |¤ |¥ 8 >" | |¤ ®p°

J

²¯¬ , >"YW¤

³

"W¥¦¥¦ |¤´6 >µW8§

óþ÷Yþ÷(õú(þ3vYþ÷' ù g¶7ü.÷' þÿmkmln&jI·Y#ù 7ý]ùwüý@þ ' üý@þÿ#ÿ¹¸oø¢þõ@÷(þù#ø@úAº@ø¢þ÷ý]ùwþ!ó ):þÿwõWz úúùL :õ(õú÷(ü'Qs

ý]ùpú(þ1-(465`ý]ùwþ»Dþ):ü'Wø@ù ²ô úùwü ù #'Pù#úú(þ÷ 7ý +ô.õùwõõ(ü<%+ùwþô ý@þ ¼Dø¢þ÷|½Kz7þ ý@þ÷¾ü.ÿ³ô ÷<þÿ#ÿwþLl¶º@÷

ý]ùwþ¯¿Xþ÷ÿwþù#ú %¦@÷(ý@þ ö:ü (7ü)ÿwþ {ü.ÿ:þ 7ý@þ¯Àz7þ÷ :þ ô :þ 7ü'w' þ N+

Á

#'Pù#úú(þ÷|s 7ý +ô.õùwõ(ý@ü.úùwþ÷ õù 7ý )Aô.õú(þ m{8.÷'Pùl

Á

óþ÷¾¿ô ÿ#ø@ÿwþù#ú(þ÷Uø¢þ6Â 7ý@þúXõùp ù' #÷(õqm{ :õ7õú0ô 7ý~!ý~lÃNl7ô ÿ#ÿwþvóü.úùwþ÷0ô ú(ü' þWõù 7ý ùwü @ùwõùwþ÷ú<l

Á

#põr:þÿ#ú(þ ÀDùwþý]÷ùAù Äþ)úùwü 7õø¢þý]ù L :þ N!@ý~lÃNl]ý]ùwþ& 'ô@ÿý@þ÷r:þ 7þ÷ùwþ÷ú(þ ÅYô.ým :õú÷Wz:þ÷+ùwõú

)ÿwþù :þ:þ (º@ø¢þ÷Xý@þ÷Dóü.úùwþ÷):ü <þ ú÷0ô úùwü Nl

Æ& ú(þ÷ý]ùwþõ(þ `þý]ù L :þ þ÷Aù#ø@úõùp {º@÷Xý@þ þ÷(õú(þ y5ý@þ<ô ÿ#ù#úWz ú(õ|{ô)ú(ü.÷}D5&2

O

!ý~lÃNlý]ùwþ1Çþ @ÿ#ù @ùwþ

þ ú(õq@÷ùpúý@þ÷&Çþ @ÿ#ù @ùwþWþù 7þ÷Uùwý@þ<ô ÿwþ óXùwüý@þLl

óþ÷¦%þù#ú(þ¯vYþ÷' ø¢þ÷º)]õùpúùAú¾º@ø¢þ÷-(4h7õWz úÿ#ùp ý]ùwþ$»Dþ):ü'Wø@ù ²ô úùwü ù ý@þ÷¾»Xô'Pÿ³ô.ým :õ|s

<ü 7þLlN`þùpý@þ÷g¿Xþ÷ÿwþù#ú %¦@÷(ý@þ ô :þ 7ü'w' þ N!Yý7ô.õ(õWô ÿ#ÿwþ ú.÷(õú(þÿ#ÿwþ ù ý@þ÷vû ù#úú(þPý@þ÷g+ô 7ý]ÿº):þ

È

¤ 3

³

µÉ,"Y Ê >" |a

³

¤´, |A¤,

³

¤ ¡¢ |,£<, |¤¥¦£<, |NË¤, >~8Y6§ÍÌA§¤gÎÃÏ¬ ÐÑ

³

¤¯ÎÒ¬

³

ÓÔÑp§

(11)

Ö ×$ØÙ3ÚÛÜ3Ý Þß à árâÜ3ÝNÝNÚ>Ü3ãQäåwæ çrárå èÚ|é"è~árÝNØã Ü3ÝNÝNÜ3å

ÿ#ùwþ:þ 7ý ý7ô ÷º@ø¢þ÷&@ù ²ô7õý]ùwþg»Dþ):ü'Wø@ù ²ô úùwü 7õ÷0ô ú(þoù ý@þ÷»Xô'Pÿ³ô.ým :õ<ü 7þg):ü 7õú0ô úXùwõú<!²õ(ü<%+ùwþ

ý@þ÷#ù m{ô :õê(7þ÷(õ @ù#úúr{º@÷#ÿwþ)ú÷(ü 7þ 7ý ÅN7þ÷AÿwþùpNlmÆ& ú(þ÷+ý]ùwþõ(þ `þý]ù L :þ þ÷Aù#ø@ú+õùp

}Nh¾2 ëml

`þù÷(þ<ô ÿwþ ü.ÿ³ô ÷<þÿ#ÿwþ ) 7þ ):ü'wq@ÿwþ6ì@þg»Dþ):ü'Wø@ù ²ô úùwü 7õ' þ²ô @ùwõ' þ Çþ @ÿ#ù @ùwþ {º@÷(þ N!

ý]ùwþWø¢þù' & mÂ7úú(þ 'Pù#úý@þ' íª%þùwý]ùwüý@þ ' üý@þÿ#ÿpõ(ü<%ü@ÿD}D5wî2 O

!¢ô ÿwõô }Nh 2î ë þ÷:þø¢þ j|ïaÅNÀðLñòY!

ï~û ¿ñLñ<òo6l

#ù 7þ º@ø¢þ÷(õùpúÿ#ùp7þ óô ÷(õú(þÿ#ÿ ý@þ÷g ú(þ÷(õ@ùwþý]ÿ#ùp7þ #Dóþ)ú(þ ù þù 7þ÷W÷(þ<ô ÿwþ ü.ÿ³ô ÷<þÿ#ÿwþ 7ý

ù@÷(þ$&7õ%+ù#÷) ôm{ý]ùwþ¯Hô ÷0ô' þú(þ÷ý@þõíª%þùwý]ùwüý@þ ' üý@þÿ#ÿwõ¾Â 7ý@þúDõùp ù j|ïôXÿªõ

Õ

òY!ªKlkLõo6l

¶º@÷!þù 7þDý@þú0ô ù#ÿ#ÿ#ùwþ÷ú(þ÷(þû üý@þÿ#ÿ#ùwþ÷ oö:ü ü.ÿ³ô ÷<þÿ#ÿwþ õù 7ýw' þ@÷(þ÷(þ$@÷ù#úú(þ& 7ü.úY%þ 7ý]ù!]ý]ùwþUù"la1l

ô (' þ÷ùwõ7þ÷göpþ÷|{ô@÷(þ ø¢þýmº@÷|{þ NlFDø@ø@ù#ÿwým kmlk <þùAúúYq@ùwõ7þwDø@ÿIzm{þ}þù 7þ÷'Q{ô.õ(õ(þ 7ý@þ

û üý@þÿ#ÿ#ùwþ÷ l

z

5 µ m

2 4 0 µ m

Eingabeparameter Ergebnis s e

S t r o m- S p a n n u n g s k e n n l i n i e d e r E l e me n t a r d i o d e W i d e r s t ä n d e d e r K o n t a k t me t a l l i s i e r u n g E mi t t e r s c h i c h t w i d e r s t ä n d e D i s k r e t i s i e r u n g s g i t t e r O p t i s c h e s G e n e r a t i o n s p r o f i l D o t i e r p r o f i l e

L e b e n s d a u e r d e r L a d u n g s t r ä g e r D o t i e r p r o f i l e

O p t i s c h e s G e n e r a t i o n s p r o f i l E x t e r n e u n d i n t e r n e G r e n z f l ä c h e n r e f l e x i o n T e x t u r t y p u n d R a u h i g k e i t

D i s k r e t i s i e r u n g s g i t t e r e i n e s S y mme t r i e e l e me n t e s z u r H a l b l e i t e r s i mu l a t i o n

S t r o m- S p a n n u n g s k e n n l i n i e e i n e r E l e me n t a r d i o d e

S t r o m- S p a n n u n g s k e n n l i n i e d e r S o l a r z e l l e

R e f l e x i o n s - u n d T r a n s mi s s i o n s - v e r l u s t e

O p t i s c h e s G e n e r a t i o n s p r o f i l

RAYN

D E S S I S

C I RC U S

S i mu l a t i o n d e r o p t i s c h e n E i g e n s c h a f t e n

d u r c h S t r a h l v e r f o l g u n g

M E S H

N e t z w e r k s i mu l a t i o n E r z e u g e n d e s D i s k r e t i s i e r u n g s g i t t e r s

2 d - H a l b l e i t e r s i mu l a t i o n

Elementar- diode

P C 1 D

1 d - H a l b l e i t e r s i mu l a t i o n E B R _P

R Rfe

fi Wafer

Rb

H _Waf

α(λ)

A n a l y t i s c h e B e r e c h n u n g d e r o p t i s c h e n E i g e n s c h a f t e n

&mmm( ¹÷ø,©8Y |ùm

³

8",W´WYW¥¦¥ |¤ >

³

¥µW88 |¤, |¤ Ï<£6"| | |¤¥¦£<, | >

³

¤´,§¨D ¤´WL |©YW¥¦ >" >

³

¤&"´6 |¤88 , >N |¤| |¤ |¤¯Ï<¥

³

"£6¤88Y,"a8" 8¤&¤ú<N

¢

§," |Y"NW¥ ûW¤W¤´6 |´6 |L |¤(§

óXùwþ üq@úùwõ7þ û üý@þÿ#ÿ#ùwþ÷ )Aô ô øªz Aù ö:ü ý@þ÷ vYþ6ì]ú@÷ ý@þ÷ ü.ÿ³ô ÷<þÿ#ÿwþ 7ý ý@þ ù ú(þ÷ 7þ

»Dþ6½²þ6ì]ùwü 7õ(þù:þ 7õ²ô,{Kú(þ ô ²ô ÿúùwõ üý@þ÷'Pù#úú(þÿwõü6ýWþNÿü6ý þ÷|{ü.ÿ:þ NlmyY' Dø7õ @ù#úú&kmlný]ùwþõ(þõ¦Çvô,s

q@ù#ú(þÿwõ3%+ù#÷(ý þù 7þ&#ù m{º@÷ où ý]ùwþXô ²ô ÿúùwõ7þ`þ÷(þ ( Pý@þ÷»Dþ6½²þ6ì]ùwü 7õ(þù:þ 7õ²ô,{Kú(þ õ(ü<%+ùwþDþù 7þ

(12)

ø¢þ÷(õùpúXý@þ÷¦(z Aù:þ ü6ýWþNÿü6ýKsY÷(üA÷0ô'w' þ1@÷ü.ÿ³ô ÷<þÿ#ÿwþ ' üý@þÿ#ÿ#ùwþ÷ :þ:þø¢þ Nl

¶º@÷Hý]ùwþþù 7ý]ù' þ 7õùwü ²ô ÿwþ+û üý@þÿ#ÿ#ùwþ÷ ý@þ÷Hþÿwþ)ú÷ùwõ7þ w#ù:þ 7õ²ô,{Kú(þ }ö:ü ü.ÿ³ô ÷<þÿ#ÿwþ w%+ù#÷(ýWù"la1l

ý7ô.õ&):ü'w' þ÷ùwþÿ#ÿHþ÷ªz ÿ#úÿ#ùp7þwù'g@ÿ³ô úùwü 7õq@÷(üA÷0ô'w' ø¢þ (@úúQïaõ<òYlª#ù 7þ¯%þùs`üý@þ÷Xý]÷(þùwý]ùs

' þ 7õùwü ²ô ÿwþ¯¿ô ÿ#ø@ÿwþù#ú(þ÷(õù'g@ÿ³ô úùwü þ÷|{ü.÷(ý@þ÷úDþù 7þ ý@þ@úÿ#ùp 7þ÷(þ &m{%`ô 7ý @÷¦¿ô 7ým²ô ø ý@þ÷

#ù msw 7ý &7õô ø¢þq²ô ÷0ô' þú(þ÷<!Uô ø¢þ÷ ô @÷ ú(þ7þ÷ ý@þ÷ ö:þ÷%þ 7ý@þú(þ ÅNAõ :õ0ô ÿ:ü.÷ù#ú' þ Nl

óXùwþÇDü ö:þ÷:þ Wþù 7þ÷' þ@÷(ý]ù' þ 7õùwü ²ô ÿwþ ¿ô ÿ#ø@ÿwþù#ú(þ÷(õù'g@ÿ³ô úùwü )Aô @ùpú+ým@÷ ô ÿ#ÿ:þ' þù 7þöpü.÷|s

ô ø¢þ {º@÷ ô ÿ#ÿwþ ¿ô ÿ#ø@ÿwþù#ú(þ÷(õú÷)ú@÷(þ þ÷÷(þùpú %þ÷(ý@þ N!pý~lÃNlpý@þ÷ `þ (@ú<þ÷ 'g7õ(õPù þù @ù:þ ¶z ÿ#ÿwþ

ô ù ý@þ Dø@ÿ³ôm{pý@þ÷¾ (' þ÷ùwõ7þ ù'g@ÿ³ô úùwü þù A÷(þù{þ N!%ü@ù :þ:þ ü 7þ¯Çþ ú @ùwõXý@þõ

ø¢þ (@úú(þ ÅNAõ :õ0ô ÿ:ü.÷ù#ú'g7õDø¢þý]ùwþ ø²ô ÷Uùwõú<lm#ù 7þ¯#ù m{º@÷ ù ý]ùwþ' þ@÷(ý]ù' þ 7õùwü ²ô ÿwþg¿ô ÿ#ø@ÿwþùs

ú(þ÷(õù'g@ÿ³ô úùwü 7ý õq¢þùwþÿ#ÿYù ý@þ ù ý]ùwþõ(þ÷D÷ø¢þù#úDö:þ÷%þ 7ý@þú(þ ¿ô ÿ#ø@ÿwþù#ú(þ÷(õù'g@ÿ³ô ú(ü.÷ j'Pù#ú

ý@þ' ý7ô:þ.÷ù:þ óXùwõ)÷(þúùwõùwþ÷ :õq@÷(üA÷0ô'w' o%+ù#÷(ý ù Dø7õ @ù#úúkmlkQ:þ:þø¢þ Nl

&m{' ô)÷(üAõ):üq@ùwõ7þ÷ #ø¢þ 7þ ùwõúQªzmÂ (@÷w 7ü ý@þ÷ ú÷(ü'Q½7õ(õw%+ùwõ7þ þù <þÿ 7þ íþÿ#ÿ#ø¢þ6s

÷(þùp7þ ù' #'Pù#úú(þ÷ 7ý ù' ÇDü ú0ô)úùwþ÷ :õAù#úú(þ÷ ÷(þÿwþöAô ú<lóXùwþõ ø¢þý@þ@ú(þú<!!ý7ô.õ(õ ø¢þùDø¢þ)Aô ú(þ

#ù:þ 7õ²ô,{Kú(þ ý@þ÷Xþù <þÿ 7þ íþÿ#ÿ#ø¢þ÷(þùp7þoý]ùwþ¯:þõ0ô'Wú(þQü.ÿ³ô ÷<þÿ#ÿwþoým@÷ öpþ÷(õ²ô ÿ#ú(þ ý@þ÷&Çþ @ÿ#ù @ùs

þ ý@þ÷Wþù <þÿ 7þ íþÿ#ÿ#ø¢þ÷(þùp7þPù þù 7þ' ùwý@þ÷(õú0ô 7ý@õ 7þú%þ÷) ' üý@þÿ#ÿ#ùwþ÷ú¯%þ÷(ý@þ )Aô Nl~yY ý]ùwþõ(þ÷

D÷ø¢þù#ú %¦@÷(ý@þ ù íª7õ0ô'w' þ ²ô ÷ø¢þù#ú 'Pù#ú ly5õ(þ ø¢þ÷ ý7ô.õ ÀXþú%þ÷)]õù'g@ÿ³ô úùwü 7õq@÷(üA÷0ô'w'

þ úY%+ùp):þÿ#ú<!¢ý7ô.õUþø¢þ m{ô ÿ#ÿwõ+ù Dø7õ @ù#úúkmlk}ö:ü.÷:þõú(þÿ#ÿ#ú¾%+ù#÷(ý~l

óXùwþ ú(þ7þ÷ þù 7þ÷ ):ü'wq@ÿwþúú(þ ü.ÿ³ô ÷<þÿ#ÿwþ 7õù'g@ÿ³ô úùwü ø¢þý7ô ÷|{ý@þ÷ öpþ÷%`ô ÿ#ú þù 7þ÷ A÷(ü:þ

& 'ô@ÿ²ö:ü #ù ms 7ý &7õô ø¢þq²ô ÷0ô' þú(þ÷ Nl(Æ&' þù 7þDþù 7þù#úÿ#ùp7þ`þ (@ú<þ÷(ü.ø¢þ÷|½Kz7þ þ÷(õ²ô,óþ

7ý þù 7þg&@ú(ü' ô úùwõùwþ÷ ý@þ÷þù <þÿ 7þ @÷ù#úú(þg þ÷' Aÿ#ùp7þ N!K%¦@÷(ý@þ}ô' ¶@÷0ô 7ü{þ÷y# ý]ùwþ

ù'g@ÿ³ô úùwü 7õ'w:þø !"#$%&'vþ úY%+ùp):þÿ#ú<!7ý]ùwþý7ô ÷º@ø¢þ÷r@ù ²ô7õ`ý]ùwþA÷ 7ý@þÿ#ùwþ:þ 7ý@þ q(]õù)Aô,s

ÿ#ùwõ7þ û üý@þÿ#ÿwþø¢þù ²ô ÿ#ú(þú<l !"#$%&'1%+ù#÷(ý ù Dø7õ @ù#úúkml)(}ø¢þõ@÷ùwþø¢þ Nl

(13)

×$ØÙ3ÚÛÜ3Ý Þß à árâÜ3ÝNÝNÚ>Ü3ãQäåwæ çrárå èÚ|é"è~árÝNØã Ü3ÝNÝNÜ3å

*+-, . /0214353565187:92;2< 02187 />=@?A65BC:D214; E 65<14;2BC:D2FGH?A14;

#ù 7þg%þõ(þ úÿ#ùp7þ ôX÷ 7ý]ÿ³ô:þ1@÷û üý@þÿ#ÿ#ùwþ÷ ö:ü ü.ÿ³ô ÷<þÿ#ÿwþ ùwõúý]ùwþg):ü.÷÷(þ)ú(þQ`þõ@÷(þù#ø ý@þ÷

ým@÷ Dø7õ(ü.÷q@úùwü ö:ü 7ü.ú(ü 7þ :þ 7þ÷ùwþ÷ú(þ #ÿwþ)ú÷(ü msYÅüq²ôAô ÷(þDù ý@þ÷ü.ÿ³ô ÷<þÿ#ÿwþLl:óXùwþõ(þõ3Çvôq@ù#ú(þÿ

ø¢þõ@÷(þù#ø@ú`ý]ùwþDù ý]ùwþõ(þ÷D÷ø¢þù#ú!ø¢þ (@úú(þ þ÷)<þ:þ@÷`û üý@þÿ#ÿ#ùwþ÷ Pý@þ÷üq@úùwõ7þ #ù:þ 7õ²ô,{s

ú(þ Nl

Oberfläche A n t i reflex s chi cht

p la n k ei n e

p la n S i O ₂ ( 1 0 5 n m )

i n v . P y ra m i d en S i O ₂ ( 1 1 5 n m )

950 1000 1050 1100 1150 1200

0 1 0 2 0 3 0 4 0 5 0 6 0 7 0 8 0

Modellierung der Rückseite

Waferdicke = 250 µm

Vorderseite: Inv. Pyramiden, SiO ₂ (115 nm) Rückseite: SiO ₂ / Metall

Messung:

Simulation keine Diffusivität Phong 400 Phong 50 Phong 25

Wellenlänge [nm]

&mmm( JIÌK |8© | 3

³

N£6©,"8Y |¤LK£<, | >

³

¤´,§

¤ú<NMK£<, | >

³

¤´ |¤ |KW

³

¤ |¤,Y |¤r¬wµ >"F¥¦a

³

¤" >"8Y ,Y >~ÌK |8Y5O |¤ |a

³

¤ÌK |8YY

³

¤´, >APª£W8

, >"8 |a" 6§¨D |8 >8QAYµ |¤"«WaA

³

88Y SRY1Ï<¥

³

"£6¤8 >"´6 |¤88 6§

" |Y"NMK£<, | >

³

¤´g, > ¡ |a"ÉYú<8 |a" 6§Q || |´Wr, >TPª >"´6 |YQ¢ 8Y |¤w |¤ >>K |8

³

¤´

³

¤wÏ<¥

³

"£6¤ |¤1¥¦a

³

¤" >"8Y ,Y >NûAÉYú<8 |a" |¤,UO

³

8)V<aY«§,¨D 3ÌK ,

³ ³

¤´, |XW£6¤´W Y,©L£6¤ |¤" |¤ ¢ aY

³

µªÏL§ZHZ >"ú<«8§

óXùwþ3 ú(þ÷(õ@ùwþý]ÿ#ùp7þ ø¢þ .úùAú(þ }û þú7üý@þ oÿ³ô.õ(õ(þ oõùp1L@úHô }ý@þ 1`þùwõq@ùwþÿwþ où 1Dø@ø@ù#ÿwým ¯kml)(

ö:þ÷(ý@þ@úÿ#ùp7þ Nl`þùwý@þ&ôX÷0ô,{þ Q:þø¢þ ý]ùwþ`õù'g@ÿ#ùwþ÷ú(þUüý@þ÷D:þ' þõ(õ(þ 7þ¾ôþõ0ô'Wú÷(þ6½²þ6ì]ùwü ø¢þù@õ(þ )÷(þú(þ÷

`þÿwþú ö:ü ý@þ÷¾öpü.÷(ý@þ÷(õ(þù#ú(þ¯%+ùwþý@þ÷<l

`þú÷0ôú(þ %+ù#÷$ ªz7õúWý@þ ÿ#ù ):þ ôX÷0ô,{þ N!¢ý@þ÷$ (@÷Wõù'g@ÿ#ùwþ÷ú(þ »Dþ6½²þ6ì]ùwü 7þ þ úªz ÿ#ú<+óXùwþQ:þ6s

q )ú(þú(þ Åù @ùwþ <þùAú ý]ùwþ »Dþ6½²þ6ì]ùwü þù 7þõ q@ÿ³ô 7þ N!²ô ÿ#ø 7þ 7ý]ÿ#ùp7þ ô,{þ÷(õ<l¿Dùwþ÷|{º@÷ %þ÷(ý@þ ý]ùwþ

A÷ 7ý]ÿwþ:þ 7ý@þ ¶@÷(þõ 7þÿs|ôXÿwþùp( :þ õ(ü<%+ùwþ ý@þ÷Q%þÿ#ÿwþ @ÿIz :þ ²ô øªz Aù:þ ÷(þ( :õù 7ý@þ6ì ö:ü ù#ÿ#ùs

ù' ø¢þ .úùAú<!¢ý]ùwþQ`þõ@÷(þù#ø ùwõúô ²ô ÿúùwõ ' Aÿ#ùpNlFöpþ÷(õùwþú' ô ý]ùwþ1öpü.÷(ý@þ÷(õ(þù#ú(þQ'Pù#úþù 7þ÷

& úù#÷(þ6½²þ6ì@õ@ùpú j:þõú÷ùp7þÿ#ú(þQÅù @ùwþ,o6!¢õ(ü 'g7õ(õXý]ùwþoû ô ú÷ùìm' þú7üý@þ jKõ<l~KlAnLn,oDô :þ%`ô 7ý]ú$%þ÷(ý@þ N!

ý]ùwþ$`þõ@÷(þù#ø ùwõúDÄþý@ü %þù#ú(þ÷@ù ô ²ô ÿúùwõ ' Aÿ#ùpNlª¶º@÷Uþù 7þ$%þù#ú(þ÷(þ¯»Dþým)úùwü ý@þ÷¾»Dþ6½²þ6s

ì]ùwü )Aô ý]ùwþgöpü.÷(ý@þ÷(õ(þù#ú(þ1'Pù#úXù ö:þ÷úùwþ÷ú(þ ÷0ô'Pùwý@þ ú(þ6ì]ú@÷ùwþ÷ú%þ÷(ý@þ jKým@÷:þ<ü:þ 7þ Åù @ùwþ,o6l

óXùwþõ(þ$ú÷)ú@÷)Aô (@÷+ým@÷ ÇDü'Wø@ù ²ô úùwü ý@þ÷:þ ²ô ú(þ ô ²ô ÿúùwõ7þ û üý@þÿ#ÿwþ'Pù#ú+ý@þ÷ (' þ6s

÷ùwõ7þ ú÷0ô@ÿ#ö:þ÷|{ü.ÿL @ù @÷(þùp7þ 7ý :þ ²ô ø¢þõ@÷ùwþø¢þ %þ÷(ý@þ Nl

óþ÷P÷(þú(þ ôX÷0ô,{<þùAú þù 7þ :þ' þõ(õ(þ 7þ »Dþ6½²þ6ì]ùwü ô þù 7þ÷ ü.ÿ³ô ÷<þÿ#ÿwþL!!ý@þ÷(þ q@ÿ³ô 7þ »¾º)]õ(þù#ú(þ

ô ½Kz@ù 'Pù#úoþù 7þ÷ []\N^&h @ùpúQ 7ý ý7ô ÷º@ø¢þ÷g'Pù#úoû þú0ô ÿ#ÿ!ø¢þý@þ)úoùwõú<lóXùwþõ(þ »¾º)]õ(þù#ú(þw%þùwõú

þù 7þ}ý]ùóF7õ(þwÅùpú(õú÷(þ ôm{!¢ý]ùwþPõ(þ@÷L@úvým@÷ ý7ô.õ$7ü sSû üý@þÿ#ÿpø¢þõ@÷ùwþø¢þ %þ÷(ý@þ )Aô Nl

óô.õ¾7ü sSû üý@þÿ#ÿYþ÷|{ü.÷(ý@þ÷úXþø¢þ m{ô ÿ#ÿwõ¦ (' þ÷ùwõ7þQú÷0ô@ÿ#ö:þ÷|{ü.ÿL l

_8`bac`ba d efTgThTikj:lnmg

óXùwþõ(þ÷1Dø7õ @ù#úú}þ úªz ÿ#úPþù 7þ )@÷<þ #ù m{º@÷ ù ý]ùwþ q(]õù)Aô ÿ#ùwõ7þ ôX÷ 7ý]ÿ³ô:þ ý@þ÷1¿ô ÿ#ø@ÿwþùs

ú(þ÷(üq@úù)F!ý]ùwþ&{º@÷`ý7ô.õröpþ÷(õúWz 7ým @ùwõ`ý@þ÷+õqªz ú(þ÷ø¢þõ@÷ùwþø¢þ 7þ û üý@þÿ#ÿ#ùwþ÷ :õ%þ÷)<þ:þ$%+ùpúù õù 7ý~l

#ù 7þ ô7õ|{º@÷ÿ#ùp7þ÷(þ `þõ@÷(þù#ø Â 7ý@þú õùp lalù ïªñLñòY!ÇvôqNlkml)(mlo!¾ïôX÷(þ<ð Ö òY!ÇvôqNlT( 7ý

(14)

Þßqpß à árâÜ3ÝNÝNÚ>Ü3ãQäåwæ âÜ3ã árÙÛÚècr]sÜ3å Ü3ÚæÜ3å$ècr]sØut¾ÛÜ3å

ïôX÷(þ<õ Õ òY!ÇvôqNlvl

w x]y{z|~}XzA AzA @Xz{zAX n]

óXùwþg{º@÷ý]ùwþ}û üý@þÿ#ÿ#ùwþ÷ ö:ü ùs|ü.ÿ³ô ÷<þÿ#ÿwþ %+ùpúù:õú(þ üq@úùwõ7þQ#ù:þ 7õ²ô,{Kúö:ü ù#ÿ#ùù' ùwõúý]ùwþ

Dø7õ(ü.÷q@úùwü Nlmùwþ¦%+ù#÷(ý ým@÷ ý@þ %þÿ#ÿwþ @ÿIz :þ ²ô øªz Aù:þ Dø7õ(ü.÷q@úùwü 7õ):üþH ùwþ ú(þ ø¢þõ@÷ùwþø¢þ N!

ý@þ÷Wý]ùwþ ô@÷(õ7þù @ÿ#ùp):þù#ú1q@÷(ü ÅAz :þ 7þù 7þù#úPô Aù#ø@ú<!F'Pù#úWý@þ÷vþù ù ý@þ ù#ÿ#ùù'g%`ô,{þ÷}þù 7ý]÷ù ms

:þ 7ý@þõ 7ü.ú(ü ô ø7õ(ü.÷ø@ùwþ÷ú %+ù#÷(ý~l¾ù#ÿ#ùù' ùwõú þù ù 7ý]ù#÷(þ)ú(þ÷ ¿ô ÿ#ø@ÿwþù#ú(þ÷<!`ý~lÃNl`ý7ô.õ û ù @ù'g' ý@þõ

Åþù#ú :õø²ô 7ý@þõ 7ý ý7ô.õDû ô,ì]ù'g' ý@þõ¾ö!ô ÿwþ ø²ô 7ý@þõXÿ#ùwþ:þ ø¢þùYþù 7þ' ú(þ÷(õ@ùwþý]ÿ#ùp7þ yY'wq@ÿwõ

ý@þ÷#ÿwþ)ú÷(ü 7þ Nlóô ÷0ô7õ¦{ü.ÿAú<!²ý7ô.õ(õ¦{º@÷&7ü.ú(ü 7þ ú(þ÷²ô ÿ#ø þù 7þ÷Dø¢þõúù'w'Wú(þ # 7þ÷Aùwþ¯7õWz úÿ#ùp

þù 7ü 7ü {º@÷`ý@þ Dø7õ(ü.÷q@úùwü 7õq@÷(ü<þõ(õ`ø¢þ .úùAú%+ù#÷(ý 7ý ý7ô7þ÷+ý]ùwþDø7õ(ü.÷q@úùwü 7õ%`ô@÷(õ7þù @ÿ#ùpms

):þù#úPý]÷0ô.õúùwõ õù )ú<l óXùwþõoùwõúoù Dø@ø@ù#ÿwým kmlv ô' õú0ô ÷):þ Døm{ô ÿ#ÿ`ý@þõQDø7õ(ü.÷q@úùwü 7õ):üþH ùwþ ú(þ

jk&²ô.ý]÷0ô ú(þL!7ÿ#ù ):þL¯sY¦7õ(þ,or{º@÷> þÿ#ÿwþ @ÿIz :þ A÷:þ÷w}c þ÷):þ 7þ Nl

300 4 00 5 00 6 00 7 00 8 00 9 00 1 000 1 1 00 1 2 00 1 0 ^{- 2}

1 0 ^{- 1} 1 0 ⁰ 1 0 ¹ 1 0 ² 1 0 ³ 1 0 ⁴ 1 0 ⁵ 1 0 ⁶

α

Wellenlänge [nm]

1 0 ^{- 2} 1 0 ^{- 1} 1 0 ⁰ 1 0 ¹ 1 0 ² 1 0 ³ 1 0 ⁴ 1 0 ⁵

1 0 ⁶

&mmm( ) ¬Q | |¤«W¤´6 |¤,

W«W¤´6´6 >8A8£W"©,"£6¤8ú£ S¦| |¤

®

³

6<Y" H¤ú ~Y8 ²

³

¤,

8Y Y

³

Q >"´6 |L |¤, ¤<"¤´W

" >µ ¾¤ Ï<|

³ ¥ ®¨" | |Yú H(" |Y"

3~Y8 ²Y§>¨D ¨" |¤YW¥¦¥¦ |¤

³

óXùwþ¯{º@÷Xý]ùwþWû üý@þÿ#ÿ#ùwþ÷ ý@þ÷Xüq@úùwõ7þ #ù:þ 7õ²ô,{Kú(þ %þõ(þ úÿ#ùp7þw¶7ü.ÿ:þWùwõúXô ý@þ÷#ù 7ý]÷ù s

úùwþ6{þ jKóX÷(þùwþ):þL!p÷(þú(þ ¯sY¦7õ(þ,oQ þ÷):þ 7þ N+&m{A÷ 7ý ý@þ÷ 'Pù#ú õú(þù:þ 7ý@þ÷ þÿ#ÿwþ @ÿIz :þ ý]÷0ô.õ|s

úùwõ ô øm{ô ÿ#ÿwþ 7ý@þ Dø7õ(ü.÷q@úùwü õú(þùAúý]ùwþQ#ù 7ý]÷ù Aúùwþ6{þPõú0ô ÷) ô NlF¶º@÷þù 7þoúYq@ùwõ7þ íþÿ#ÿwý]ùp):þ}ö:ü

ë c %þ÷(ý@þ Q{º@÷8 þÿ#ÿwþ @ÿIz :þ A÷:þ÷

O

$}c #ù 7ý]÷ù Aúùwþ6{þ ö:ü þù 7þ' öXùwþÿ{ô7þ ý@þ÷ríþÿ#ÿwý]ùs

):þþ÷÷(þùpú<!²õ(ü}ý7ô.õ(õø¢þùý@þ÷Uüq@úùwõ7þ û üý@þÿ#ÿ#ùwþ÷ û þ@÷|{ô@÷(þ6½²þ6ì]ùwü ù ý@þ÷ü.ÿ³ô ÷<þÿ#ÿwþ{º@÷+ý]ùwþõ(þ

þÿ#ÿwþ @ÿIz :þ ø¢þ÷º)]õùpúùAúg%þ÷(ý@þ 'g7õ(õ<lN`þùrü.ÿ³ô ÷<þÿ#ÿwþ ô7õvý]ù#÷(þ)ú(þ ¿ô ÿ#ø@ÿwþù#ú(þ÷ jlalôô ÿ#ÿ#ùs

' ô ÷(õ(þ @ùwýªoWþ÷:þø¢þ õùp ôm{A÷ 7ý ô 7ý@þ÷(þ÷wDø7õ(ü.÷q@úùwü 7õq@÷(ü<þõ(õ(þ õ(þ@÷g)ÿwþù 7þ #ù 7ý]÷ù Aúùwþ6{þ 7ý

ý7ô'Pù#ú`ô 7ý@þ÷(þ&& m{ü.÷(ý@þ÷ :þ ô ý]ùwþUû üý@þÿ#ÿ#ùwþ÷ }ý@þ÷!üq@úùwõ7þ #ù:þ 7õ²ô,{Kú(þ Nlþ@÷ô7õ|{º@÷ÿ#ùp7þ

Æ& ú(þ÷(õ( :þ @÷Uüq@úùwõ7þ û üý@þÿ#ÿ#ùwþ÷ ý]ù#÷(þ)ú(þ÷&¿ô ÿ#ø@ÿwþù#ú(þ÷¦Â 7ý@þ õùp ù ïaÅþúWñ(òYl

óXùwþwDø7õ(ü.÷q@úùwü 7õ÷0ô ú(þPùwõúq@÷(üq¢ü.÷úùwü ²ô ÿ3@÷¯yY ú(þ 7õù#úWz ú<!ý~lÃNlF@÷¯7ü.ú(ü 7þ m½7õ(õ(ý]ùpú(þ¡ ý@þõþù ms

{ô ÿ#ÿwþ 7ý@þ Åùpú(þõ<l¦Æ& ú(þ÷ ý@þ÷ & ²ô' þL!`ý7ô.õ(õ¯Äþý@þõ ô ø7õ(ü.÷ø@ùwþ÷ú(þ 7ü.ú(ü ý@þ÷ þÿ#ÿwþ @ÿIz :þ ¢ þù

#ÿwþ)ú÷(ü msYÅüq²ôAô ÷oþ÷<þAú5£!KAù#ÿ#ú{º@÷ý]ùwþ ôþ 7þ÷0ô úùwü 7õ÷0ô ú(þ ô ý@þ÷1ú(þÿ#ÿwþ¤ jDø7õú0ô 7ý ö:ü öpü.÷(ý@þ÷|s

õ(þù#ú(þ,o6+

¥¦ .¤~032 ¦ ¡ ¦ .¤~0-§ j8kmlko

¨

³

µ:ª5«-¬, >]

³

8´W¤´68¤" |¤8aY«W´6 >µW |¤¯§

ùmÉ,D, 3¤¯, |8 >4N"L |aDW¤Waø,8 >8" |¤1Ï<|

³ ¥ Ï<£6"| | |¤g8¤$O |ú" ®V >"¤WY«W88´6¯L |m, |¤ |¤LW£W"£6¤ |¤

³

´6 |¤(§

¤ 3, >YW >8" ÌK |8Y," |

³

(15)

×$ØÙ3ÚÛÜ3Ý Þß à árâÜ3ÝNÝNÚ>Ü3ãQäåwæ çrárå èÚ|é"è~árÝNØã´KÜ3ÝNÝNÜ3å

ybµ ôu¶·¹¸º5»¼·¹½>¸º5»¾5¿¯ÀÁ¿¯¾-Â~ÃÄ ·¹Å¯¼¸ÇÆ¾¿¯¸º5» Æ:·¹¸®¶Â~¾5·¹Å-Â~¶·¹Åw¿uÈµ È¼·¹Ã¸Ç¾-É~¾ÊÂ~Á¿2Ä·¹Å1ÇËÈÃ¾¯¸ÇÃÁ¸Ç¾-É~¾5¿¯¼¶·¹¸º5»ÁÃ¼

ÌÍ ÅÎ4»È¾5ÈÃ·¹Ã Ï

Ï ¤ ¡

¦Ð

¤cÑ®Ò Ó

¥¦Ð

¤cÑ ÔÖÕ×)(Ø

·¹¸ÇÃ ·6ìÙ:ÈÃ·¹Ã¾¯¸·¹¶Ç¶·¹ÅuÚËÆ

Ì

Â~¶Ç¶XÄ·¿Î4»È¾5ÈÃ·¹ÃÛÁ¿5¿5·¿¸ÇÃ ¤

¡ ¦Ð ¤cÑ®Ò ¡ ¦Ð ÑÜÝÞßà ÔÖÕ×vØ

µÊ¸Ç¾TÄ·¹ÅT¸ÇÃ Ä·¹Ã á Â Ì

·¹ÅT·¹¸ÇÃÄÅ¯¸ÇÃ¼·¹ÃÄ·¹Ã Î4»È¾5ÈÃ·¹ÃÛÁ¿5¿5Ä¸º5»¾5·¡

¦Ð

ÑH×âu¸·¿5·ËãÈÅ¯µ ·¹¶½>¸ÇÅ5Ä Â~Áº5» änåæ ç5èHé¹êë

ìuè5èHéHëÖìËíîïîèHéHëHðËè-ñ{è¹êò ¼·¹ÃÂ~ÃÃ¾{×nó4¸ÇÃ¼·¿5·¹¾¯À¾¸ÇÃ ãÈÅ¯µ ·¹¶ôÕ×)Õ ·¹Å¯¼¸ÇÆ¾L¿¯¸º5» Ä¸·½ô·¹¶Ç¶·¹Ã¶É~Ã¼·¹ÃõËÁÃÄ ÈÅ¯¾5¿Nõ

Â~Æ»É~Ã¼¸Ç¼·ö·¹Ã·¹Å-Â~¾¯¸ÈÃ¿¯Å-Â~¾5·

¥¦Ð¤cÑ®Ò ¡ ¦Ð Ñ> ¦ ÜÝÞßà§ ÔÖÕ×)÷Ø

ó4¸ÇÃ·Ê¾bøÙ¸¿5º5»· ù¸qõNùÈ¶Â~Å¯À{·¹¶Ç¶· ½>¸ÇÅ5Ä Â~Á Ì ·¹¸ÇÃ·¹µ úõbÄÈ¾¯¸·¹Å¯¾5·¹Ã á Â Ì ·¹ÅµÊ¸Ç¾@·¹¸ÇÃ·¹Å@âÈ¾¯¸·¹Å¯ûÈÃÀ{·¹Ã¾¯Å-Â~¾¯¸ÈÃ

Áµ üýbþÿH

Ý

ÙÅ5ÈÀ{·¿5¿¯¸·¹Å¯¾{×ã

Í

ÅTÄ·¹Á¾¯¶Ç¸º5» »»·¹Å5·âÈ¾¯¸·¹Å¯ûÈÃÀ{·¹Ã¾¯Å-Â~¾¯¸ÈÃ·¹Ã µ Í

¿5¿¯¾5·>Æ:·¹¸Ä·¹ÅTÚËÆ¿5ÈÅ¯Ù¾¯¸ÈÃ

ÀÁ¿-É~¾¯À¶Ç¸º5» Ä¸·2ÚËÆ¿5ÈÅ¯Ù¾¯¸ÈÃ ÄÁÅ5º5» ÌÅ5·¹¸·XÂÄÁÃ¼¿¯¾¯Å-É~¼·¹ÅÆ:·¹Å Í º5û¿¯¸º5»¾¯¸Ç¼¾½ô·¹Å5Ä·¹Ã:¿{×À× ×oùËù8ÁÃÄ

oöuÅ5·÷LÂ~Ùn××)Õ××ã Í ÅúõbÄÈ¾¯¸·¹Å¯¾5·¿ôù¸Ç¶Ç¸ÇÀ¸ÇÁµ ·¹Å¯»»¾®¿¯¸º5»ÊÄ·¹Å4ÚËÆ¿5ÈÅ¯Ù¾¯¸ÈÃ¿¯ûÈ· À¸·¹Ã¾®ÃÂº5» ùº5»Å5ÈÄ·¹Å

oùº5»XÁµ

! #"%$'&

Ò ()+*-, ü#.Ý ý/01

ú ÔÖÕ×32Ø

µÊ¸Ç¾Ä·¹Åá ·¹¶Ç¶·¹Ã¶É~Ã¼·

0

¸ÇÃ 46587 9nÁÃÄ Ä·¹ÅËâÈ¾¯¸·¹Å¯ûÈÃÀ{·¹Ã¾¯Å-Â~¾¯¸ÈÃ ú ¸ÇÃ 4ÿ7

Ý 9b×

:-;=<?>@BACD<E><F@B<FGHJIKE

âu¸·MLË·HÛ·N¸ÈÃ¿5·¹¸Ç¼·¹Ã¿5º5»Â Ì¾5·¹Ã ·¹¸ÇÃ·¿»ÈO È¼·¹Ã·¹Ã:¸¿5È¾¯Å5ÈÙ:·¹Ã P ·Ä¸ÇÁO ¿ûFÃÃ·¹Ã ÄÁÅ5º5» Ä·¹Ã ½ô·¹¶Ç¶·¹Ã¶É~Ãõ

¼·¹ÃÂ~Æ»É~Ã¼¸Ç¼·¹Ã ûÈOÊÙ¶·N·¹Ã ôÅ5·º5»ÁÃ¼¿¯¸ÇÃÄ·N Q Ò R@Ó SUTMOÊ¸Ç¾TÄ·VO LË·{Â~¶Ç¾5·¹¸Ç¶R ÔWôÅ5·º5»ÁÃ¼¿¯¸ÇÃÄ·NØ®ÁÃÄ

Ä·VO XO Â~¼¸ÇÃÉ~Å¯¾5·¹¸Ç¶YT ÔÚËÆ¿5ÈÅ¯Ù¾¯¸ÈÃ¿¯¸ÇÃÄ·NØËÆ:·¿5º5»Å¯¸·¹Æ:·¹Ã ½ô·¹Å5Ä·¹Ãn×:â·¹ÅÚËÆ¿5ÈÅ¯Ù¾¯¸ÈÃ¿¯¸ÇÃÄ·N ¸¿¯¾ZOÊ¸Ç¾Ä·VO

ÚËÆ¿5ÈÅ¯Ù¾¯¸ÈÃ¿¯ûÈ· À¸·¹Ã¾

Í Æ:·¹Å

Ò [ \ ] T

ÿ

ÔÖÕ×Ø

^F_

Å¯ûÃ Í Ù Ì¾O-`Ç¾Ä

_

ÅãÅ

_#a Á _

ÃÀ

]

ÁÃÄ Ä _

Åb8`dc5»¾¯¼

_

¿ec5»½f`ÇÃÄg`Ç¼û

_

`Ç¾ ÿ×R®Ó ÁÃÄ T:Ó>á

_

Å¯¾

_

ÌÍ Å ù?`ihi`ÇÀ#`ÇÁO

j ÃÄ

_ Ã ¿k`dc5» À× ×g`ÇÃ oöuÅ

_

÷ÚËÙÙ

_

ÃÄg`lN â×

nÅk`lm:¾ 8`dc5»¾ ¿ _ ÃûÅ

_

c5»¾ Â~Á Ì _

`ÇÃ

_ Ã ù?`ihi`ÇÀ#`ÇÁO@½ Â Ì_ Å O-`Ç¾ cÁ Ì ¾ Âh¿

_

`ÇÃ

Ì

Âhih

_

ÃÄ

_ O P _

Äg`ÇÁO ÔJR Ò ü

T Ò .Ø¿5ÈbhÉ¿5¿¯¾¿k`dc5» Äg`

_ L _ Û _

Ng`ÈÃÄc×»n×Ä

_

ÅÚËÃ¾

_

`ih]Ä

_

Å>Å

_ Û _ û¾k`

_

Å¯¾

_ Ã XbÃ¾

_

Ã¿k`Ç¾-É~¾ÀÁ

npo@Ò

ÐR Ó üÑq1sr Tg1

ÐR r üÑ

1 r T 1

ÔÖÕ×3Ø

Æ _ Å _ c5»Ã

_

ÃtO-`Ç¾ Ä _ Ã _ Ã¾5¿¯ÙÅ

_

c5»

_

ÃÄ

_ Ã R®Ó ÁÃÄ T:Ó á _

Å¯¾

_ Ã ^

ÈÃ ù?`ihi`ÇÀ#`ÇÁO Æ _

`Ä

_ Å á _ hih

_

ÃhÉ~Ã¼

_ 0

Ô¿{×À× ×! phi`uFKLÂ~Ùn×wv×ixØH×wXO ÌÍ ÅLù?`qõNùÈhÂ~Å¯À

_

hih

_ Ã Å _ h _V^

Â~Ã¾

_ Ã á _ hih

_

ÃhÉ~Ã¼

_

ÃÆ

_ Å _

`dcey z..2Ó ü(.. R87

{s_

Å5Ä

_ Ã O-`ÇÃÄ _#|k}e_V~|

z.? Ä _ Åó`

~|k}

Åyhi`

~?}e_V~|

`} É } ~ Ä _ ÅËÆ

_

ÅNÛAÉcey

_ Å _ Û _ û } `_ Å } Ô|

×AÚËÆÆn×:Õ×3v hi`

~ û |

_ Ù

~ û }e_V}e_

8`

~ `_ ØH×

âZ`

_ L _ Û _ Ng`È

~

û

~~ ^F_

Å¯Åk`

~ _ Å }{s_

Å5Ä

_V~

{s_V~~

Ä Í

~~_

ùcey`dcey

}e_V~

Ì Äg`

_

ù?ìhiì#ìO ÈÆ

_

ÅNÛAÉcey

_

Ìõ

_V}

Å

_V~ {s_

Å5Ä

_V~

>Ä

_ Å _V~

ôÅ

_

cey?

~ | `~ Ä _ N { `| cey

_V~

Ä _ O ^ È ~ 8

Ì} ~ Ä ù?ìhiì#ìO hi`

_ }

×t®øÙ`

|

cey

_

êWé5èJèk~ñ#?êbè | `~ Ä × ×:ù?ìhiì#ìO Äg`È#Ng`Ä ÔÈÙ

}

`iO h

_

âZ`dc5û

_

ü#.F R87 ÚËÆÆn×AÕ×3v-hi`

~ û | _#|k}

Åk`dcey

_

hqõ

}e_

8`

~ `_ ØÈÄ

_ Å _ `

~_

ÄÈÙÙ

_

hihu

` _ ùcey`dcey

}

| P

~_#|

`iOÛÈÅk`Ä ~ Ä t`

} ~

Äg`È#Ng`Ä ÔÈÙ

}

`iO h

_

âZ`dc5û

_

ü#.FbR87 ~ Ä bR87 %

1

ØH×

J 01 J gen

R P V R s J 02

J 01 J gen

n 2 n 1

z

5 µ m

2 4 0 µ m

Eingabeparameter Ergebnis s e

L e b e n s d a u e r d e r L a d u n g s t r ä g e r D o t i e r p r o f i l e

O p t i s c h e s G e n e r a t i o n s p r o f i l E x t e r n e u n d i n t e r n e G r e n z f l ä c h e n r e f l e x i o n T e x t u r t y p u n d R a u h i g k e i t

D i s k r e t i s i e r u n g s g i t t e r e i n e s S y mme t r i e e l e me n t e s z u r H a l b l e i t e r s i mu l a t i o n

S t r o m- S p a n n u n g s k e n n l i n i e e i n e r E l e me n t a r d i o d e

S t r o m- S p a n n u n g s k e n n l i n i e d e r S o l a r z e l l e

R e f l e x i o n s - u n d T r a n s mi s s i o n s - v e r l u s t e

O p t i s c h e s G e n e r a t i o n s p r o f i l

RAYN

D E S S I S

C I RC U S

S i mu l a t i o n d e r o p t i s c h e n E i g e n s c h a f t e n

d u r c h S t r a h l v e r f o l g u n g

M E S H

N e t z w e r k s i mu l a t i o n E r z e u g e n d e s D i s k r e t i s i e r u n g s g i t t e r s

2 d - H a l b l e i t e r s i mu l a t i o n

Elementar- diode

P C 1 D

1 d - H a l b l e i t e r s i mu l a t i o n E B R P

R Rfe

fi Wafer

Rb

H Waf

α(λ)

A n a l y t i s c h e B e r e c h n u n g d e r o p t i s c h e n E i g e n s c h a f t e n

Oberfläche A n t i reflex s chi cht

p la n k ei n e

p la n S i O 2 ( 1 0 5 n m )

i n v . P y ra m i d en S i O 2 ( 1 1 5 n m )

950 1000 1050 1100 1150 1200

0 1 0 2 0 3 0 4 0 5 0 6 0 7 0 8 0

Modellierung der Rückseite

Waferdicke = 250 µm

Vorderseite: Inv. Pyramiden, SiO 2 (115 nm) Rückseite: SiO 2 / Metall

Messung:

Simulation keine Diffusivität Phong 400 Phong 50 Phong 25

Wellenlänge [nm]

300 4 00 5 00 6 00 7 00 8 00 9 00 1 000 1 1 00 1 2 00 1 0 - 2

1 0 - 1 1 0 0 1 0 1 1 0 2 1 0 3 1 0 4 1 0 5 1 0 6

α

Wellenlänge [nm]

1 0 - 2 1 0 - 1 1 0 0 1 0 1 1 0 2 1 0 3 1 0 4 1 0 5

1 0 6

R _P V R _s J ₀₂

J ₀₁ J _gen

n ₂ n ₁

1 d - H a l b l e i t e r s i mu l a t i o n E B R _P

H _Waf

p la n S i O ₂ ( 1 0 5 n m )

i n v . P y ra m i d en S i O ₂ ( 1 1 5 n m )

Vorderseite: Inv. Pyramiden, SiO ₂ (115 nm) Rückseite: SiO ₂ / Metall

300 4 00 5 00 6 00 7 00 8 00 9 00 1 000 1 1 00 1 2 00 1 0 ^{- 2}

1 0 ^{- 1} 1 0 ⁰ 1 0 ¹ 1 0 ² 1 0 ³ 1 0 ⁴ 1 0 ⁵ 1 0 ⁶

1 0 ^{- 2} 1 0 ^{- 1} 1 0 ⁰ 1 0 ¹ 1 0 ² 1 0 ³ 1 0 ⁴ 1 0 ⁵

1 0 ⁶