Lehrstuhl für Technologie Optischer Systeme TOS Prof. Dr. Carlo Holly Steinbachstraße 15 52074 Aachen
Telefon +49 241 8906-0
Bachelorarbeit/Masterarbeit Physik
EUV-Scatterometrie
Hintergrund
Die Extrem-Ultraviolett-(EUV)-Scatterometrie ist eine Messtechnik zur Charakterisierung von nanoskaligen periodischen Strukturen.
Strukturparameter von Proben werden hierbei nach Vermessung ih- rer Beugungsordnungen in model-basierten Verfahren rekonstru- iert. Die Nutzung der kurzwelligen EUV-Strahlung ist von großem Vorteil, da die Auflösung bis in den sub-nm Bereich reichen kann.
Eine zentrale Anwendung dieser Messtechnik ist in der Halbleiter- industrie zu finden. Bei der Produktion nanoskaliger elektronischer Bauteile, sind Teststrukturen zu vermessen, um die Qualität der ge- fertigten Bauteile zu sichern. Hierbei werden neben den hohen An- forderungen an Auflösungsvermögen und Messgenauigkeit auch eine kurze Messzeit gefordert, was eine reine Verwendung von kon- ventionellen Messmethoden wie AFM und TEM ausschließt und die Erforschung alternativer Messmethoden nötig macht.
Ziel dieser Arbeit
In unserer Gruppe betreiben wir ein EUV-Spektrometer, mit dem über die Vermessung des Reflexionsgrads einer Probe, Informatio- nen über deren chemische Zusammensetzung und deren Oberflä- chenstrukturen modellbasiert rekonstruiert werden können. Im letz- ten Jahr haben wir ein Erweiterungsmodul für das EUV-Spektrome- ter realisiert, mit dem wir nun in der Lage sind, zusätzlich das ge- naue Beugungsmuster einer strukturierten Probe zu vermessen.
Bestandteil der angebotenen Bachelor-/Masterarbeit ist die Ver- wendung des Moduls, so dass eine erste Kalibrierung der vermes- senen Beugungsmuster sowie die model-basierte Rekonstruktion der geometrischen Parameter verschiedener nanostrukturierter Proben untersucht werden kann.
Voraussetzungen
Du bist Bachelor- oder Masterstudent*in der Physik und hast Inte- resse an messtechnischen Verfahren und Optik. Du bist in der Lage dich selbstständig in neue Forschungsgebiete einzuarbeiten und Problemstellungen zu identifizieren. Du hast Spaß daran im Team zu arbeiten, um gemeinsam Lösungsansätze zu entwickeln und zu verwirklichen.
Interesse am experimentellen Arbeiten sowie Grundkenntnisse in Programmierung und Datenauswer- tung (Python, Mat- lab) sind von Vorteil.
Unser Profil
Der Lehrstuhl für Technologie Op- tischer Systeme TOS arbeitet eng mit dem Fraunhofer-Institut für La- sertechnik ILT zusammen, um neue Möglichkeiten und Techni- ken zur Realisierung von opti- schen Systemen zu erforschen.
Die Gruppe „EUV-Technologie“
arbeitet an der Entwicklung von messtechnischen und lithographi- schen Anwendungen innerhalb der industriellen Halbleiterferti- gung.
Bei Interesse bitte melden bei
Sophia Schröder
Telefon +0241 8906-399
sophia.schroeder@tos.rwth-aachen.de
