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Charakterisierung von LTCC-Leiterplatten unter biaxialer Belastung: Effekt der Metallisierung auf die Festigkeit

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Academic year: 2022

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Charakterisierung von LTCC-Leiterplatten unter biaxialer Belastung: Effekt der Metallisierung auf die Festigkeit

R. Bermejo

1,a

, L. Sestakova

2

, I. Kraleva

2

, P. Supancic

1,2

, R. Danzer

1,2

1Institut für Struktur- und Funktionskeramik (ISFK), Montanuniversität Leoben, Österreich

2Materials Center Leoben Forschung GmbH, Leoben, Österreich

aCorresponding author‘s e-mail address: raul.bermejo@unileoben.ac.at

Danksagung:Der österreichischen Bundesregierung (insbesondere dem Bundesministerium für Verkehr, Innovation und Technologie und dem Bundesministerium für Wirtschaft und Arbeit) sowie dem Land Steiermark, vertreten durch die Österreichische Forschungsförderungsgesellschaft mbH und die Steirische Wirtschaftsförderungsgesellschaft mbH, wird für die finanzielle Unterstützung der Forschungsarbeiten im Rahmen des von der Materials Center Leoben Forschung GmbH abgewickelten K2 Zentrums für „Materials, Processing und Product Engineering“ im Rahmen des Österreichischen COMET Kompetenzzentren Programms sehr herzlich gedankt.

Einleitung

Experimente

Ergebnisse: Festigkeit und Fraktographie

Zielist, die mechanische Festigkeitvon LTCCs unter biaxialer BelastungOrt aufgelöst zu untersuchen und den Effekt derMetallstrukturenzu evaluieren.

Die Festigkeit wird auf ≈10×10×0,4 mm3 Platten mittels des 4-Kugel Versuchs(4KV) bestimmt.

Motivation

Die Bruchspannung (max. Zug- spannung) wird mit FEM berechnet:

( )

[

0

]

2

max

eq, 2.58 0.67 / 1

t t P t − ⋅

− σ =

P = Bruchkraft [N], t = Dicke [mm], t0 = 0.43 mm

Zusammenfassung

Low Temperature Co-fired Ceramics (LTCCs) sind keramische Substratsbauteile mit hohen Glasanteil, die mit Metallpasten bedruckt werden und in denen Funktionsbauteile integriert sein können. Der interne Aufbau der LTCC-Bauteile kann die mechanische Festigkeitund Zuverlässigkeitbeeinflussen.

+ Die Festigkeitvon LTCC-Bauteilen hängt davon ab, welche Seite (Oberseite, Unterseite) unter Zug belastet wurde.

+ Die Oberflächencharakteristik (i.e.Metall-pad, Elektrode, Vias) beeinflusst die Festigkeitsverteilung vs. Bulkmaterial.

+ Interne Architekturenhaben einen Effekt auf den Rissverlauf und können die Zuverlässigkeitstark beeinflussen.

Prüfbedingungen:

0.5 mm/min, 23% RH und 21°C.

Bruchcharakteristik von Proben mit Oberseiteunter Zugspannung

Die lokale Festigkeit wird auf a) der Oberseiteund b) Unterseitegemessen.

0 σmax

a) b)

Maximale Spannungsverteilung an Stelle 2.

1 2

3 4

1 2

3 4

Series-1

Series-3

Series-3

Series-4

Verschiedene Stellen (e.g. Vias, Metall-pads) werden geprüft und die Werte mit denen des Bulks verglichen.

100 μm Metall-

Via

Metall- Elektrode

Glass-Keramik

Querschnitt eines typischen LTCC-Bauteils

Bruchcharakteristik von Proben mit Unterseiteunter Zugspannung

1 3

Bruchausgang mit gelben Kreis markiert

Weibull Diagram von LTCC Bauteilen und dem Bulkmaterial[1]

150 250 350 450

0.67 1.81 4.86 12.66 30.78 63.21 93.40

99.94 10 16 23 29

-5 -4 -3 -2 -1 0 1 2 Bruchkraft, P [N]

Bulk Series-1 Series-2 Series-3 Series-4

Ln Ln (1/(1-F))

Versagenswahrscheinlichkeit, F [%]

Max. Bruchspannung, σf [MPa]

Unterseite

150 250 350 450

0.67 1.81 4.86 12.66 30.78 63.21 93.40

99.94 10 16 23 29

-5 -4 -3 -2 -1 0 1

Bulk 2

Series-1 Series-2 Series-3 Series-4

Bruchkraft, P [N]

Ln Ln (1/(1-F))

Versagenswahrscheinlichkeit,F [%]

Max. Bruchspannung, σf [MPa]

Oberseite

Bruchmechanik :

σ

⎛ ⎞

= ⋅ ⎜ ⎟

⎝ ⎠

2 Ic c

f

1 π a K

Y

Ermittlung von kritischen Defektgröße KIc,SEVNB= 1.8 ± 0.1 MPa·m1/2 Y= 1.12 (Oberflächenfehler)

ac= 4 – 20 µm

Bruchausgang: Oberflächefehler [1] R. Bermejo, P. Supancic, I. Kraleva, R. Morrell, R. Danzer, “Strength reliability of 3D low temperature co-fired multilayer ceramics under biaxial loading”, J. Eur. Ceram. Soc.31(2011) 745-753.

10. Tagung Gefüge und Bruch –30. März - 1. April 2011, Bochum (DEUTSCHLAND)

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