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Academic year: 2022

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Versuchsaufbau mit Interferometer

SA/MA: Optimierung der Topografiemessung für das Laserabtragen Motivation und Ziel der Arbeit

Arbeitsbeschreibung

Interesse / weitere Infos

Matthias Buser (IFSW, Raum 1.002) matthias.buser@ifsw.uni-stuttgart.de

Optikauslegung für den Strahlteiler

Experimentelle Validierung im Hinblick auf Kurz- und Langzeitstabilität der Messung

Bewertung der Erkenntnisse

Die langen Strahlwege im Interferometer des Messsystems sind empfindlich gegenüber mechanischen Schwingungen, welche die Messgenauigkeit beschränkten. Durch differenzielle Messung sollen Störeffekte kompensiert werden, wodurch eine deutliche Verbesserung der Messgenauigkeit erwartet wird.

Erweiterung des bestehenden Interferometers für differenzielle Messungen: Optikauslegung für Strahlteiler, Ermittlung

geeigneter Referenzflächen, Konstruktion und Aufbau, experimentelle Validierung und Bewertung.

Topografiemessungen von laserbearbeiteten Geometrien Langzeitsignalverlauf Kurzzeitsignalverlauf

Referenzen

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