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Vergleich des laserchemischen Abtrags mit konkurrierenden Verfahren

Unter Berücksichtigung der induzierten Temperaturfelder (Spitzentemperatur TP und Temperaturgradient ΔT/Δx), der Wechselwirkungszeit tinter sowie der chemischen Reaktivität der Werkstoffe im Elektrolyt erreichten die Abtragsgeschwindigkeiten vrem im störungsfreien Regime 0.72 mm/min (12 µm/s) in Stellite 21 und 3.3 mm/min (55 µm/s) in Titan (siehe Bild 8-5). Darüber hinaus wurden im Schnellarbeitsstahl HS10-4-3-10, der keine Passivschicht in der Phosphorsäure ausbildet, Abtragsgeschwindigkeiten von bis zu 3 mm/min ermittelt. Um die Effizienz des laserchemischen Abtrags einordnen zu können, sollen die erzielten Geschwindigkeiten mit denen der elektrochemischen Metallbearbeitung (ECM) verglichen werden. Beide Verfahren, LCM und ECM, basieren auf einer anodischen Materialauflösung des metallischen Werkstoffes [Klo16]. Der Hauptunterschied liegt darin, wie die Verschiebung des elektrochemischen Potentials realisiert wird. Während beim ECM das Anlegen einer externen Spannung die Potentialverschiebung bewirkt, wird diese beim LCM durch das laserinduzierte Temperaturfeld bzw. der generierten Thermobatterie erreicht.

Beim ECM-Verfahren entspricht die Absenkgeschwindigkeit der Elektroden der Abtragsgeschwindigkeit im Material. Beim (Makro-) ECM liegen diese Geschwindigkeiten im Bereich von einigen mm/min und sind somit mit denen des LCM-Verfahrens vergleichbar. So werden beispielsweise Triebwerkskomponenten aus Titanlegierungen mit Abtragsgeschwindigkeiten zwischen 0.5 mm/min und 1.5 mm/min

Verhalten des laserchemischen Abtrags im störungsfreien Regime 99

hergestellt [Klo13a]. Bei der Bearbeitung der nickelbasierten Legierung Inconel 718 werden sogar Geschwindigkeiten von bis zu 2.5 mm/min erreicht [Zei15]. Wenn Elektroden mit Wirkflächen von einigen 104 µm2 (ähnliche Wirkflächen wie beim LCM) zum Einsatz kommen, wie es beim Mikro-ECM (µECM) und Präzision-ECM (PECM) der Fall ist, zeigt sich deutlich die höhere Effizienz der laserchemischen Bearbeitung.

Beim PECM können Strukturgrößen zwischen 20 μm und 100 μm mit Geschwindigkeiten von bis zu 0.5 mm/min abgetragen werden [Hah05]. Das µECM-Verfahren ist durch eine noch geringere Abtragseffizienz gekennzeichnet. Han et al.

ermittelten am Beispiel der Herstellung von zylindrischen Mikrokavitäten im rostfreien Stahl (1.4301) Abtragsgeschwindigkeiten zwischen 2.4∙10-2 mm/min und 6∙10-2 mm/min [Han16]. Diese Werte sind um zwei Größenordnungen kleiner im Vergleich zu denen der laserchemischen Bearbeitung.

Die Miniaturisierung der Werkzeugelektroden geht mit weiteren Herausforderungen einher. Zum einen erhöht sich das Risiko des Elektrodenverschleißes. An der Werkzeugelektrode nimmt der Einfluss der Gasblasenentwicklung zu, so dass Korrosionserscheinungen auftreten können [Mei15]. Zum anderen steigen mit der Miniaturisierung der Aufwand und die geometrischen Anforderungen bei der Herstellung der Werkzeugelektroden deutlich an. Im Vergleich dazu stellt der Laserstrahl beim LCM-Verfahren ein verschleißfreies und flexibles Werkzeug dar, welches in seiner Geometrie, Größe und Intensitätsverteilung mittels strahlformender optischer Systeme variiert werden kann. Zudem ergibt sich aus der Temperaturabhängigkeit des LCM-Verfahrens als weiterer Vorteil die Skalierbarkeit der störungsfreien Bearbeitung mit dem Verhältnis (PW/dspot). Dabei steigen die Abtragsgeschwindigkeiten mit kleiner werdendem Strahldurchmesser an (siehe Bild 8-1).

Darüber hinaus wurde die Fertigungsqualität der laserchemischen Bearbeitung mit der des Mikrofräsens im Rahmen einer Benchmarking-Studie zur Herstellung quadratischer Mikrogesenke in Stellite 21 verglichen (siehe Abschnitt 6.3.2). Die gewählte LCM-Bearbeitungsstrategie, bestehend aus Schrupp- und Schlichtschritten, wurde erfolgreich durchgeführt. Das Schruppen mit Vorschubgeschwindigkeiten vfeed < 40 μm/s und wenigen Überfahrten (nscan < 3) führte zu einem konturnahen Abtragen mit einer charakteristischen Oberflächenqualität (Sa > 2 μm). Ähnlich dem Mikrofräsprozess wurde im Anschluss ein Schlichtschritt integriert, der auf einer Multiscanstrategie (nscan > 10) mit Vorschubgeschwindigkeiten > 50 μm/s und geringer thermischer Belastung (TP = 110 °C) basiert. Dadurch wurden zum einen die sich beim Schruppen abgelagerten Metallsalze und -oxide während des Schlichtens größtenteils entfernt (siehe Bild 6-22). Zudem wurde die mittlere Flächenrauheit Sa auf 0.7 μm und die Spitzenrauheit Sz von 45 μm auf nur 8 μm reduziert (Bild 6-21 (b). Die Oberflächengüte des Mikrofräsens, bei dem die mittlere Flächenrauheit Sa über den gesamten

100 Verhalten des laserchemischen Abtrags im störungsfreien Regime

Ortswellenlängenbereich geringer als 1.2 µm war, konnte jedoch nicht erreicht werden.

Die mindere Oberflächenqualität beim LCM-Verfahren ist auf eine Welligkeit (im Ortswellenlängenbereich > 10 µm) zurückzuführen, welche beim lateralen Versatz des gaußförmigen Laserstrahles induziert wird. Dieser Effekt wurde auch von Hauser et al.

bei der Untersuchung des Einflusses der lateralen Überlappung einzelner Abtragsbahnen beobachtet [Hau15] und kann einerseits auf die ungleiche chemische Auflösungsgeschwindigkeit der unterschiedlichen Phasen in der Elektrolytumgebung [Klo17] und anderseits auf die Abhängigkeit des Schlichtgrades vom Mikrogefüge des Werkstoffes (Korngröße und chemische Elementverteilung) [Eck17] zurückgeführt werden. Nach Eckert et al. [Eck18] wird die minimale Rauheit erst eingestellt, wenn die Abtragstiefe den maximalen Spitze-Tal-Abstand der Ausgangsoberfläche (bzw. der Betrag der Spitzenrauheit Sz) übersteigt.

Bild 6-23 und Bild 6-24 zeigen zudem, dass das LCM-Verfahren im Vergleich zum Mikrofräsen eine höhere geometrische Formtreue und schärfere Konturen bietet. Es wurden Kantenradien von (11.2 ± 1.3) μm gemessen, während beim Mikrofräsen der Soll-Radius von 50 μm, welcher die Hälfte des kugelförmigen Werkzeugdurchmessers beträgt, nicht erreicht wurde. Die ermittelten Werte lagen zwischen 25 µm (bei einer Kantenlänge LK = 150 µm) und 45 µm (bei einer Kantenlänge LK = 300 µm). Zudem betrugen die Standardabweichungen, aufgrund von Gratbildung an der Kavitätsinnenwand, bis zu 16.4 µm (siehe Bild 6-23). Diese Verschleißerscheinung deutet auf einen verrundeten

Schneidkantenradius und somit auf ein stumpfes Werkzeug hin [Twa14]. Dadurch wird der Span durch Pflügen und nicht durch Scheren getrennt [Bis06]. Die Vergleichsstudie zeigte somit die Eignung der laserchemischen Bearbeitung zur Herstellung metallischer Bauteile mit Dimensionen < 200 µm.

Der Vergleich mit dem ECM und dem Mikrofräsen ist in Bild 8-8 anhand einiger wichtiger Qualitätsmerkmale zusammen-gefasst. Daraus ist zu erkennen, dass die laserchemische Bearbeitung sich insbesondere

Bild 8-8: Qualitative Ausprägung definierter Bearbeitungs- und Prozessmerkmale bei der laserchemischen Bearbeitung in Vergleich zu µECM- und Mikrofräsverfahren (für Werkzeugdurchmesser

< 200 µm)

Verhalten des laserchemischen Abtrags im störungsfreien Regime 101

für die Herstellung von metallischen Mikrobauteilen mit Dimensionen < 1 mm3 eignet.

Hierbei zeichnet sich das LCM-Verfahren durch die flexible und skalierbare Werkzeuggestaltung sowie die gute Prozessübertragbarkeit im Mikrobereich aus.

Zusammenfassung 103

9 Zusammenfassung

Für eine höhere industrielle Akzeptanz und Zugänglichkeit der laserchemischen Mikrostrukturierung (LCM) von Metallen ist es erforderlich, die Prozesskontrolle und -reproduzierbarkeit zu steigern und den hohen experimentellen Aufwand zu reduzieren. Ziel dieser Arbeit war es daher, die thermischen Bedingungen für eine störungsfreie laserchemische Bearbeitung zu identifizieren und das Prozessverhalten hinsichtlich seiner Geschwindigkeit innerhalb dieses Regimes zu beschreiben.

Zu diesem Zweck wurde ein analytisches Modell zur Berechnung der laserinduzierten Oberflächentemperaturen entwickelt und überprüft. Dieses basiert auf der Lösung der Wärmeleitungsgleichung an der Werkstückoberfläche mit Hilfe der Greenʼschen Funktion und berücksichtigt die Einflüsse der relevanten Faktoren (Laser, Werkstoff und Elektrolyt). Durch die Korrelation zwischen der resultierenden Abtragsgeometrie und der laserinduzierten Temperaturverteilung konnte gezeigt werden, dass die laserinduzierten Temperaturen und die sich daraus ableitenden Siedebereiche die Qualität der laserchemischen Bearbeitung bestimmen. Darüber hinaus konnte durch die Schattenvideographie am Beispiel der LCM-Bearbeitung von Titan nachgewiesen werden, dass die Anhaftung einer siedebedingten Gasblase (TP > 270 °C), die auf das Mehrfache des Laserstrahldurchmessers anwächst (dbubble bis 300 µm), die Ursache für das Auftreten von Abtragsstörungen darstellt. Die Reaktionsgasblasen hingegen üben aufgrund ihrer Größe (dbubble < dspot) und der vorherrschenden Mie-Streuung keinen merklichen Einfluss aus, weder auf die Laserstrahlpropagation noch auf die Materialauflösung.

In Anlehnung an die Siedekurve von Nukiyama konnte für die laserchemische Bearbeitung insbesondere von selbstpassivierenden Metallen gezeigt werden, dass ein ungestörter Abtrag, welcher sich durch ein gaußförmiges Querschnittsprofil auszeichnet, zum einen nach dem Überschreiten des Elektrolytsiedepunkts (TS = 104 °C) initiiert und zum anderen bis Temperaturen von 200 °C sichergestellt wird. Die Aktivierungstemperatur TUG ist zudem für jede Metall-Elektrolyt-Paarung charakteristisch. Weiterhin findet der Übergang zum gestörten Abtragsregime im Temperaturbereich zwischen 200 °C und 270 °C statt. Dabei bleibt der Abtrag störungsfrei, solange ein partielles Blasensieden vorherrscht, bzw. es treten Störungen erst dann auf, wenn sich ein ausgebildetes Blasensieden einstellt. Für noch höhere Spitzentemperaturen (TP > 270 °C) treten hingegen mit dem Einstellen des Filmsiedens stets Abtragsstörungen auf.

In Bezug auf die Abtragsgeschwindigkeit innerhalb des störungsfreien Regimes konnte festgestellt werden, dass diese – neben der laserinduzierten Spitzentemperatur – durch die Breite der Temperaturverteilung bestimmt wird. Trotz konstanter thermischer Belastung

104 Zusammenfassung

(TP = const) nimmt die Abtragsgeschwindigkeit mit kleiner werdendem Laserstrahldurchmesser zu. In Anlehnung an das Thermobatterie-Modell ist dieses Ergebnis dadurch zu erklären, dass die Stromdichten in der generierten Thermobatterie, die proportional zur Geschwindigkeit der Auflösungsreaktion sind, mit steigenden Temperaturgradienten zunehmen. Darüber hinaus kommt der Elektrolytströmung, der Wechselwirkungszeit und der Werkstoffpassivität eine wichtige Bedeutung zu. Zum einen kann die Abtragsgeschwindigkeit durch die Relativbewegung zwischen Laserstrahl und Werkstück (vfeed > 0 µm/s) sowie durch die koaxiale Anordnung von Laser- und Elektrolytstrahl gesteigert werden. Grund dafür ist der effizientere Austausch von Reaktionsedukten und -produkten in der Wechselwirkungszone, welcher die Massentransportlimitierung einschränkt. Zum anderen zeigte sich, dass die Abtragsgeschwindigkeit bei nicht-selbstpassivierenden Metallen mit der Wechselwirkungszeit stetig abnimmt, wohingegen selbstpassivierende Werkstoffe eine kurze Zunahme der Reaktionsraten erfahren, bevor diese durch die limitierenden Mechanismen Diffusion und Massentransport abnehmen. Die dabei erreichten Geschwindigkeiten von bis zu 3 mm/min in Titan und Schnellarbeitsstahl HS10-4-3-10 sowie 0.72 mm/min in Stellite 21 sind einerseits mit denen der elektrochemischen Metallbearbeitung (Makro-ECM) vergleichbar und anderseits bis zu drei Größenordnungen höher im Vergleich zur mikroelektrochemischen Bearbeitung (µECM).

Darüber hinaus konnte anhand einer Vergleichsstudie mit dem Mikrofräsen die Eignung der laserchemischen Mikrostrukturierung für die Fertigung von metallischen Bauteilen mit Dimensionen < 1 mm3 gezeigt werden. Bei den hergestellten Mikrogesenken in Stellite 21 zeichnete sich das LCM-Verfahren durch eine hohe Formtreue, scharfe Kantenradien (11.2 ± 1.3) µm sowie eine chemisch und thermisch belastungsfreie Bearbeitung aus. Durch die angewandte Strategie bestehend aus Schrupp- und Schlichtschritten konnte zudem die Oberflächengüte um bis zu 70 % auf eine mittlere arithmetische Flächenrauheit Sa von 0.7 μm gesteigert werden. Die Hauptvorteile des Verfahrens im Hinblick auf die Miniaturisierung stellen die flexible Werkzeuggestaltung sowie die gute Prozessskalierbarkeit dar.

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[Unr16] Unruh, J. M. N.: Anodische Oxidation. In: Lehrbuch der Galvanotechnik Band I: Allgemeine Galvanotechnik, Eugen G. Leuze Verlag KG: Bad Saulgau (2016) 198–211

[Vet61] Vetter, K. J.: Elektrochemische Kinetik. Springer Verlag: Berlin (1961)

112 Literaturverzeichnis

[Vol05] Vollertsen, F. (Hrsg.): Prozessskalierung. Strahltechnik 27, BIAS Verlag:

Bremen (2005)

[Whi11] Whitelaw, J. H.: Convective Heat Transfer. Thermopedia: Guide to Thermodynamics, Heat & Mass Transfer, and Fluids Engineering, (2011) https://doi.org/10.1615/AtoZ.c.convective_heat_transfer

[Wil06] Willenborg, E.: Polieren von Werkzeugstählen mit Laserstrahlung, Univ.

Diss., RWTH Aachen 2005, Shaker Verlag: Aachen (2006)

[Wul10] Wulfsberg, J. P.; Redlich, T.; Kohrs, P.: Square Foot Manufacturing: a new production concept for micro manufacturing. Production Engineering Research & Development 4 (1) (2010) 75–83

[Yav93] Yavas, O.; Leiderer, P.; Park, H. K.; Grigoropoulos, C. P.; Poon, C. C.;

Leung, W. P.; Do, N.; Tam, A. C.: Optical reflectance and scattering studies of nucleation and growth of bubbles at a liquid – Solid interface induced by pulsed laser heating. Phys. Rev. Lett.70 (1993) 1830

[Yav94] Yavas, O.; Oltra, R.; Kerrec, O.: Enhancement of pulsed laser removal of metal oxides by electrochemical control. Applied Physics A 63 (1994) 321–

326

[Yun89] Yung, E. K.; Hussey, B. W.; Gupta, A.; Romankiw, L.T. Laser Assisted Etching of Manganese-Zinc-Ferrite. Journal of Electrochemical Society 136 (1989) 665–673 https://doi.org/10.1149/1.2096707

[Zei15] Zeis, M.: Modellierung des Abtragprozesses der elektrochemischen Senkbearbeitung von Triebwerkschaufel, Univ. Diss., RWTH Aachen University (2015)

Veröffentlichungsliste 113

Veröffentlichungsliste

Publikationsliste Stand 10.10.2019

In die Arbeit eingeflossene Beiträge in Zeitschriften mit peer review

Messaoudi, H; Mikulewitsch, M; Brand; D; von Freyberg, A; Fischer, A Removal behavior and output quality for laser chemical machining of tool steels Manufacturing Review 6 (2019) 13

Mehrafsun, S; Messaoudi, H

Dynamic process behavior in laser chemical micro machining of metals.

Journal of Manufacturing and Materials Processing 2 (2018) 54 Messaoudi, H; Eckert, S; Vollertsen, F

Thermal Analysis of Laser Chemical Machining: Part I: Static Irradiation.

Materials Sciences and Applications 8 (2017) 685-707 Eckert, S; Messaoudi, H; Mehrafsun, S; Vollertsen, F Laser-thermochemical induced micro-structures on titanium.

Journal of Materials Science and Surface Engineering 5(7) (2017) 685-691 Beiträge in Zeitschriften mit peer review

Shimizu, T; Kan, H; Messaoudi, H; Vollertsen, F; Yang, M

Impact of geometrical parameters of micro-textured DLC on tribological properties under dry sliding friction

Manufacturing Review 6 (2019) 18

Messaoudi, H; Mehrafsun, S; Tromenschläger, W; Vollertsen, F Picosecond laser cleaning of hot stamped 22MnB5 steel

Journal of Materials Science & Surface Engineering 5(1) (2017) 504-508 Messaoudi, H.; Thiemicke, F.; Falldorf, C.; Bergmann, R.B.; Vollertsen, F.

Distortion-free laser beam shaping for material processing using a digital micromirror device

Production Engineering - Research and Development 11(3) (2017) 365-371

Kumar D.S.; Andreev, A; Messaoudi, H; Braenzel, J; Schnuerer, M; Grunwald, R Highly periodic laser-induced nanostructures on thin Ti and Cu foils for potential application in laser ion acceleration

Journal of Applied Physics 119 (2016) 113101

114 Veröffentlichungsliste

Andreev, A; Platonov, K; Braenzel, J; Lübcke, A; Das, S; Messaoudi, H; Grunwald, R; Gray, C; McGlynn, E; Schnürer M

Relativistic laser nano-plasmonics for effective fast particle production, Plasma Physics and Controlled Fusion 58(1) (2016) 014038

Das, S.K; Messaoudi, H; Debroy, A; McGlynn, E; Grunwald, R

Multiphoton excitation of surface plasmon-polaritons and scaling of nanoripple formation in large bandgap materials

Optical Materials Express 3(10) (2013) 1705-1715 Buchbeiträge

Messaoudi, H; Mikulewitsch, M; Fischer, A; Goch G; Vollertsen, F

Controlled and scalable laser chemical removal for the manufacturing of micro forming tools

In: Micro cold forming, Lecture Notes in Production, eds.: F. Vollertsen, S. Friedrich, C.

Thomy, Springer International Publishing AG Cham/Switzerland (2020) 155-179 Mehrafsun, S; Messaoudi, H; Vollertsen, F

Process behavior in laser chemical machining and strategies for industrial use

In: Micro cold forming, Lecture Notes in Production, eds.: F. Vollertsen, S. Friedrich, C.

Thomy, Springer International Publishing AG Cham/Switzerland (2020) 180-190 Messaoudi, H; Vollertsen, F

Compact module for maskless and simultaneous 2D laser chemical machining

In: Small Machine Tools for Small Workpieces, Lecture Notes in Production, eds.: J. P.

Wulfsberg, A. Sanders, Springer International Publishing AG Cham/Switzerland (2017) 49-64

Das, S.K; Messaoudi, M; Dasari, K; Seeber, W; Grunwald, R Femtosecond-laser induced nanostructures in TiO2

In: Progress in nonlinear nanooptics, Eds.: S. Sakabi, C. Lienau, R. Grunwald, Springer International Publishing Switzerland (2015) 73-84

Messaoudi, M; Das, S.K; Lange, J; Heinrich, F; Schrader, S; Frohme, M;

Grunwald, R

Femtosecond-laser induced periodic surface structures for surface enhanced raman spectroscopy of biomolecules

In: Progress in nonlinear nanooptics, Eds.: S. Sakabi, C. Lienau, R. Grunwald, Springer International Publishing Switzerland (2015) 207-219

Veröffentlichungsliste 115

Beiträge in Zeitschriften

Mehrafsun, S; Stephen, A; Messaoudi, H; Vollertsen, F Lasermikrobohren für die Luftfahrtanwendung

DGM Magazin diALOG (2015) 110 Stephen, A; Messaoudi, H; Vollertsen, F High-Speed-Perforieren, Blech 03 (2017) 36-37

Lange, J; Messaoudi, H; Das, K; Grunwald, R; Schrader, S; Frohme, M; Heinrich, F

Analyse komplexer biologischer Proben mittels oberflächenverstärkter Raman-Spektroskopie (SERS)

TH Wildau, Wissenschaftliche Beiträge 18 (2014) 27-32 Keynote-Beiträge auf Konferenzen

Woizeschke, P; Schultz, V; Messaoudi, H; Mehrafsun, S; Feuerhahn, F; Köhler, H;

Thomy, C; Vollertsen, F

Laser processing of lightweight aircraft structures

The 84th Laser Materials Processing Conference. Japan Laser Processing Society (2016) 21-26

Beiträge auf Konferenzen mit peer review

Hasselbruch, H; Lu, Y; Messaoudi, H; Mehner, A; Vollertsen, F

Tribological Properties of Multi-Layer A-C:H:W/a-C:H PVD-Coatings Micro-Structured by Picosecond Laser Ablation

22. Symposium on Composites (2019), Key Engineering Materials 809, eds.: J. M.

Hausmann. Trans Tech Publications Ltd Switzerland (2019) 439-444 (online) Shimizu, T; Kan, H; Messaoudi, H; Vollertsen, F; Yang, M

Geometrical design of micro textured DLC coatings toward lubricant-free metal forming, Proc. of the 5th International Conference on New Forming Technology ICNFT 2018, MATEC Web of Conferences 190 (2018) 13001

Messaoudi, H; Böhmermann, F; Mikulewitsch, M; von Freyberg, A; Fischer, A;

Riemer, O; Vollertsen, F

Chances and Limitations in the Application of Laser Chemical Machining for the Manufacture of Micro Forming Dies

Proc. of the 5th International Conference on New Forming Technology ICNFT 2018, MATEC Web of Conferences 190 (2018) 15010

116 Veröffentlichungsliste

Messaoudi, H; Hauser, O; Matson, A; Mehrafsun, S; Vollertsen, F Fertigungsqualität laserchemisch hergestellter Mikroumformwerkzeuge.

8. Kolloquium Mikroproduktion, eds.: F. Vollertsen, C. Hopmann, V. Schulze, J.

Wulfsberg. BIAS Verlag Bremen (2017) 171-178 (online)

Robert, C; Messaoudi, H; Riemer, O; Brinksmeier, E; Vollertsen, F Modifikation der Oberflächenfeingestalt monokristalliner Diamanten

8. Kolloquium Mikroproduktion, Hrsg.: F. Vollertsen, C. Hopmann, V. Schulze, J.

Wulfsberg. BIAS Verlag Bremen (2017) 187-194

Mehrafsun, S; Messaoudi, H; Vollertsen, F

Influence of material and surface roughness on gas bubble formation and adhesion in laser-chemical machining.

Proc. of the 5th International Conference on Nanomanufacturing (nanoMan 2016) 15.-17.08.2016 in Macau (online)

Messaoudi, H; Mehrafsun, S; Vollertsen, F

Influence of the etchant on material removal geometry in laser chemical machining.

Proceedings of the 4th International Conference on Nanomanufacturing (nanoMan2014) 08.-10.07.2014 Bremen (CD-Rom)

Messaoudi, H; Das, S.K; Lange, J; Heinrich, F; Schrader, S; Frohme, M; Grunwald, R

Femtosecond-laser induced nanostructuring for surface enhanced Raman spectroscopy, Photonics West 2014, San Francisco, February 1-6 (2014) Proc. SPIE 8972-17

Pfuch, A; Guell, F; Toelke, T; Das, S.K; Messaoudi, H; McGlynn, E; Seeber, W;

Grunwald, R

Photocatalytic properties of TiO2 nanotubes, Photonics West, San Francisco, USA, February 2-7 (2013) Proc. SPIE 8626, 8626-27

Beiträge auf Konferenzen

Messaoudi, H; Brand, D; Vollertsen F

Removal characteristics of high-speed steel in laser chemical machining

Proc. of the 14th International Symposium on Electrochemical Machining Technology INSECT2018, 27/28.11.2018, Aachen, Germany

Kan, H; Shimizu, T; Messaoudi, H; Yang, M

The effect of geometrical parameters of micro-textured DLC coatings on tribological properties under dry sliding friction

Proc. of the 1st Asia Pacific Symposium on Technology of Plasticity, Taichung, Taiwan (APSTP 2017) 31 (paper no. C1361)

Veröffentlichungsliste 117

Messaoudi, H; Mehrafsun, S; Schrauf, G; Vollertsen, F

Highly reproducible laser micro drilling of titanium-based HLFC sections. Lasers in Manufacturing (LIM15) eds.: T. Graf, C. Emmelmann, L. Overmeyer, F. Vollertsen (2015) paper no. 228

Messaoudi, H; Das, S.K; Andreev, A; Schnürer, M; Grunwald, R Laser induced periodic surface structures in thin metal foils

DPG Frühjahrstagung 2013, Sektion Kurzzeitphysik (Spring Meeting of DPG), Jena, Germany, 25/02 – 01/03 (2013)

Messaoudi, H; Das, S.K; Seeber, W; Grunwald, R

High density femtosecond-laser induced periodic nanostructures in metals

21st DAE-BRNS National Laser Sysmposium, Bhabha Atomic Research Centre, Mumbai, India, February 6-9 (2013)

Messaoudi, H; Das, S.K; Bock, M; McGlynn, E; Byrne, D; Güell, F; Grunwald, R Ultrashort pulse characterization utilizing highly nonlinear ZnO nanostructures, 5th Szeged International Workshop on Advances in Nanoscience, Szeged, Hungary, October 24-27 (2012)

Das, S.K; Guell, F; Messaoudi, H; Bock, M; Grunwald, R

Evidence for non-mass-transfer mechanism in fs-laser formation of sub-200 nm structures on sapphire

CLEO/QELS, San Jose, CA, USA, May 6-11 (2012)

Das, S.K; Rosenfeld, A; Messaoudi, H; Bock, M; Tischer, M; Grunwald, R

Quantitative estimation of intensity dependent wavelength periods of laser-induced ripples

13th International Symposium on Laser Precision Microfabrication LPM 2012, Washington, USA, June 12-15 (2012)

Studentische Arbeiten 119

Studentische Arbeiten

In der vorliegenden Arbeit sind Ergebnisse enthalten, die im Rahmen der Betreuung folgender studentischer Arbeiten entstanden sind:

Roman Gatzenbiler

Ermittlung der Qualität Mikrospiegelarray-basierter laserchemischer Bearbeitung von Metallfolien

November 2015 Daniel Brand

Bearbeitungsqualität von mittels laserchemischem Jet-Verfahren hergestellten Mikroumformwerkzeugen

Februar 2018 Sushant Panhale

Influence of the electrolyte streaming on the thermal and qualitative behavior of laser chemical machining of metals

November 2018

Reihe Strahltechnik im BIAS Verlag 121

Reihe Strahltechnik im BIAS Verlag

Bisher erschienen:

Herausgegeben von Frank Vollertsen, Ralf Bergmann Tim Radel

Laserstrahlschweißen von Aluminiumlegierungen mit Schwingungsüberlagerung Strahltechnik Band 69, Bremen 2020, ISBN 978-3-933762-63-4

Silke Huferath-von Lüpke

Produktionsbegleitende Messeinrichtung basierend auf digitaler Holografie Strahltechnik Band 68, Bremen 2019, ISBN 978-3-933762-62-7

Salar Mehrafsun

Dynamisches Prozessverhalten bei der laserinduzierten thermochemischen Mikrostrukturierung von Metallen

Strahltechnik Band 67, Bremen 2018, ISBN 978-3-933762-61-0 Vijay V. Parsi Sreenivas

Material modifications due to nonlinear effects created by multiphoton absorption in single crystalline silicon

Strahltechnik Band 66, Bremen 2017, ISBN 978-3-933762-60-3 Peer Woizeschke

Eigenschaften laserstrahlgefügter Mischverbindungen aus Aluminium und Titan in Abhängigkeit der Kantengeometrie und Halbzeugstruktur

Strahltechnik Band 65, Bremen 2017, ISBN 978-3-933762-59-7 Henry Köhler

Schwingfestigkeit laserauftraggeschweißter legierter Stähle Strahltechnik Band 64, Bremen 2017, ISBN 978-3-933762-58-0 Jörg Volpp

Dynamik und Stabilität der Dampfkapillare beim Laserstrahltiefschweißen Strahltechnik Band 63, Bremen 2017, ISBN 978-3-933762-57-3

Colin Dankwart

High resolution of wave fields from measurements with unknown sensor positions and unknown phase shifts of the object wave

Strahltechnik Band 61, Bremen 2017, ISBN 978-3-933762-55-9 Edwin N. Kamau

Dynamic wave field synthesis: enabling the generation of field distributions with a large space-bandwidth product

Strahltechnik Band 60, Bremen 2016, ISBN 978-3-933762-54-2 Felix Möller

Wechselwirkung zwischen Lichtbogen und Laserstrahl beim Fügen von Aluminium Strahltechnik Band 59, Bremen 2016, ISBN 978-3-933762-53-3

122 Reihe Strahltechnik im BIAS Verlag

Simon Kibben

UV-laserbasierte Oberflächenfluorierung von Polymeren Strahltechnik Band 58, Bremen 2016, ISBN 978-3-933762-52-8 Heiko Brüning

Prozesscharakteristiken des thermischen Stoffanhäufens in der Mikrofertigung Strahltechnik Band 57, Bremen 2017, ISBN 978-3-933762-51-1

Michael Schwander

Lokale Diamantsynthese durch einen laserbasierten atmosphärischen CVD-PVD-Prozess Strahltechnik Band 56, Bremen 2016, ISBN 978-3-933762-50-4

Marius Gatzen

Durchmischung beim Laserstrahltiefschweißen unter dem Einfluss niederfrequenter Magnetfelder

Strahltechnik Band 55, Bremen 2015, ISBN 978-3-933762-49-8 Frank Vollertsen, Hendrik Tetzel (Hrsg.)

Thermal Forming and Welding Distortion, Proceedings of the IWOTE‘14 Strahltechnik Band 54, Bremen 2014, ISBN 978-3-933762-48-1

Zhuo Tang

Heißrissvermeidung beim Schweißen von Aluminiumlegierungen mit einem Scheibenlaser Strahltechnik Band 53, Bremen 2014, ISBN 978-3-933762-47-4

Martin Grden

Simulation thermischen Biegens mittels Gebietszerlegung Strahltechnik Band 52, Bremen 2014, ISBN 978-3- 933762-46-7 Jens Sakkiettibutra

Modellierung thermisch bedingter Formänderungen und Eigenspannungen von Stählen zum Aufbau von geregelten Prozessen

Strahltechnik Band 51, Bremen 2013,ISBN 978-3-933762-45-0 Frank Buschenhenke

Prozesskettenübergreifende Verzugsbeherrschung beim Laserstrahlschweißen am Beispiel einer Welle-Nabe-Verbindung

Strahltechnik Band 50, Bremen 2013, ISBN 978-3-933762-44-3 Daniel Reitemeyer

Stabilisierung der Fokuslage beim Schweißen mit Faser- und Scheibenlasern Strahltechnik Band 49, Bremen 2013, ISBN 978-3-933762-43-6

Steffen Neumann

Einflussanalyse beim single mode Faserlaserschweißen zur Vermeidung des Humping-Phänomens

Strahltechnik Band 48, Bremen 2012, ISBN 978-3-933762-42-9 Mostafa Agour

Determination of the complex amplitude of monochromatic light from a set of intensity observations

Strahltechnik Band 47, Bremen 2011, ISBN 978-3-933762-41-2

Reihe Strahltechnik im BIAS Verlag 123

Andreas Stephen

Elektrochemisches Laser-Jet-Verfahren zur Mikrostrukturierung von Metallen Strahltechnik Band 46, Bremen 2011,ISBN 978-3-933762-40-5

Michael Koerdt

Herstellung von integriert-optischen Sensorstrukturen in Polymersubstraten basierend auf Brechzahländerungen durch ultraviolette Laserstrahlung

Strahltechnik Band 45, Bremen 2011, ISBN 978-3-933762-39-9 Hanna Wielage

Hochgeschwindigkeitsumformen durch laserinduzierte Schockwellen Strahltechnik Band 44, Bremen 2011, ISBN 978-3-933762-38-2

Claus Thomy

Dynamisches Prozessverhalten beim Laserstrahl-MSG-Hybridschweißen Strahltechnik Band 43, Bremen 2011, ISBN 978-3-933762-37-5

Thomas Seefeld

Laser-Randschichtschmelzen mit erhöhter Prozessgeschwindigkeit am Beispiel von Aluminium-Zylinderkurbelgehäusen

Strahltechnik Band 42, Bremen 2011, ISBN 978-3-933762-36-8 Frank Vollertsen (Hrsg.)

Thermal Forming and Welding Distortion

Strahltechnik Band 41, Bremen 2011, ISBN 978-3-933762-35-1 Frank Vollertsen, Daniel Reitemeyer (Hrsg.)

Laserstrahlfügen: Prozesse, Systeme, Anwendungen, Trends Strahltechnik Band 40, Bremen 2010, ISBN 978-3-933762-34-4 Claas Falldorf

Bestimmung der komplexwertigen Amplitude von Wellenfeldern auf Basis des Prinzips der Selbstreferenz

Strahltechnik Band 39, Bremen 2010, ISBN 978-3-933762-33-7 Marc Baumeister

Dynamische Laser-Mikroperforation mit single-mode Faserlaser Strahltechnik Band 38, Bremen 2009, ISBN 978-3-933762-31-3 Zhenyu Hu

Analyse des tribologischen Größeneffekts beim Blechumformen Strahltechnik Band 37, Bremen 2009, ISBN 978-3-933762-30-6 Frank Vollertsen, Thomas Seefeld (Eds.)

Laserbearbeitung: Prozesse, Systeme, Anwendungen, Trends Strahltechnik Band 36, Bremen 2008, ISBN 978-3-933762-28-3 Torsten Baumbach

Untersuchungen zur vergleichenden, digitalen Holografie mit aktiver Wellenfrontmodifikation

Strahltechnik Band 35, Bremen 2008, ISBN 978-3-933762-27-6

124 Reihe Strahltechnik im BIAS Verlag

Knut Partes

Hochgeschwindigkeitsbeschichten mit dem Laserstrahl Strahltechnik Band 34, Bremen 2008, ISBN 978-3-933762-26-9 Hendrik Schulze Niehoff

Entwicklung einer hochdynamischen, zweifachwirkenden Mikroumformpresse Strahltechnik Band 33, Bremen 2008, ISBN 978-3-933762-25-2

Thorsten Bothe

Grundlegende Untersuchungen zur Formerfassung mit einem neuartigen Prinzip der Streifenprojektion und Realisierung in einer kompakten 3D-Kamera

Strahltechnik Band 32, Bremen 2008, ISBN 978-3-933762-24-5 F. Vollertsen, J. Sakkiettibutra (Hrsg.)

Thermal Forming and Welding Distortion

Strahltechnik Band 31, Bremen 2008, ISBN 978-3-933762-23-8 Herausgegeben von Frank Vollertsen

Michael Kreimeyer

Verfahrenstechnische Voraussetzungen zur Integration von Aluminium-Stahl-Mischbauweisen in den Kraftfahrzeugbau

Strahltechnik Band 30, Bremen 2007, ISBN 978-3-933762-20-7 Carsten Wochnowski

UV-laser-basierte Erzeugung von planaren, polymeren Bragg-Multiplexer-Strukturen Strahltechnik Band 29, Bremen 2007, ISBN 978-3-933762-19-1

Herausgegeben von Frank Vollertsen, Werner Jüptner Frank Vollertsen, Thomas Seefeld (Hrsg.)

Laserstrahlfügen: Prozesse, Systeme, Anwendungen, Trends Strahltechnik Band 28, Bremen 2006, ISBN 978-3-933762-18-4 Frank Vollertsen (Hrsg.)

Prozessskalierung

Strahltechnik Band 27, Bremen 2005, ISBN 978-3-933762-17-7 Frank Vollertsen, Thomas Seefeld (Hrsg.)

Thermal Forming

Strahltechnik Band 26, Bremen 2005, ISBN 978-3-933762-16-0 Volker Kebbel

Untersuchung zur Erzeugung und Propagation ultrakurzer optischer Bessel-Impulse Strahltechnik Band 25, Bremen 2004, ISBN 978-3-933762-15-3

Frank Vollertsen, Ferdinand Hollmann (Ed.) Process Scaling

Strahltechnik Band 24, Bremen 2003, ISBN 978-3-933762-14-6

Reihe Strahltechnik im BIAS Verlag 125

Emil Schubert

Untersuchungen zum Leichtbau mit Hilfe lasergestützter Mischbauweise Strahltechnik Band 23, Bremen 2003, ISBN 978-3-933762-13-9

Christoph von Kopylow

Durchstimmbare Mikrokristall-Laser für die absolute Distanzinterferometrie Strahltechnik Band 22, Bremen 2003, ISBN 978-3-933762-12-2

Carmen Theiler

Aufbau gradierter Nickelbasis-Chromkarbid-Verbundwerkstoffe durch Laserstrahl-Pulverbeschichten

Strahltechnik Band 21, Bremen 2003, ISBN 978-3-933762-11-5 Herausgegeben von Gerd Sepold, Werner Jüptner

Thomas Kreis (Hrsg.)

Werkzeug Laser – Industrieller Fortschritt durch wissenschaftliche Forschung Strahltechnik Band 20, Bremen 2002, ISBN 978-3-933762-10-8

Gerd Sepold, Thomas Seefeld (Hrsg.)

Laserstrahlfügen: Prozesse, Systeme, Anwendungen, Trends Strahltechnik Band 19, Bremen 2002, ISBN 978-3-933762-09-2 Gerd Sepold, Florian Wagner, Jürgen Tobolski

Kurzzeitmetallurgie

Strahltechnik Band 18, Bremen 2002, ISBN 978-3-933762-08-5 (vergriffen) Frank Elandaloussi

Modellgestützte Detektion und Analyse von Materialfehlern an technischen Objekten nach dem Prinzip „Erkennung durch Synthese“

Strahltechnik Band 17, Bremen 2002, ISBN 978-3-933762-07-8 Ingo Zerner

Prozessstabilisierung und Ergebnisse für das Laserstrahlfügen von Aluminium-Stahl-Verbindungen

Strahltechnik Band 16, Bremen 2001, ISBN 978-3-933762-05-4 Daniel Holstein

Ortsaufgelöste Charakterisierung von mechanischen Eigenschaften laserstrahlgeschweißter Verbindungen

Strahltechnik Band 15, Bremen 2001, ISBN 978-3-933762-04-7 Bernd Grubert

Untersuchung neuartiger Resonatorkonzepte für koaxiale Wellenleiterlaser Strahltechnik Band 14, Bremen 2001, ISBN 978-3-933762-03-0

Martin Klassen

Prozessdynamik und resultierende Prozessinstabilitäten beim Laserstrahlschweißen von Aluminiumlegierungen

Strahltechnik Band 13, Bremen 2000, ISBN 978-3-933762-02-3