Session I
TCO-Materialforschung:
Grundlagen und neue Entwicklungen
Zinkoxidschichten für Dünnschichtsolarzellen:
Material- und Grenzflächenforschung Oliver Kluth
In-situ Untersuchungen an ZnO-Oberflächen und Grenzflächen
Frank Säuberlich
Al-dotierte ZnO-Schichten für a-Si/c-Si Solarzellen Frank Fenske
Morphology of the Si/ZnO Interface Christian Pettenkofer
Wasserstoff in Zinkoxid Norbert H. Nickel
Dotierung und Ladungsträgertransport in entartet dotierten transparenten leitenden Oxiden Klaus Ellmer
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Inhalt
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Plasmaanalyse der Sputterdeposition von ZnO:
Al-Schichten für CIGS-Solarmodule Dirk Herrmann
Korrelation der Gitterverzerrung mit strukturellen, elektri- schen und optischen Eigenschaften von ITO-Schichten Dieter Mergel
Die Bestimmung des Energiestroms bei Sputterprozessen Holger Kersten
Session II
TCO-Herstellung: Status und neue Verfahren
Sputtertargets für TCO-Anwendungen:
Stand der Technik und neue Entwicklungen Martin Weigert
ILGAR (Ion Layer Gas Reaction), ein low-cost-Verfahren zur Deposition von Oxidschichten – Rekord-Ergebnisse für CIGSSe-Solarzellen mit ILGAR-ZnO-Puffern
Christian Fischer
TCO gratings for a-Si:H and µc-Si:H solar cells Nadia Senoussaoui
Prozesstechnologien für die großflächige Abscheidung von ITO-Schichten bei niedrigen Temperaturen Markus Bender
Session III
TCO für Dünnschichtsolarzellen:
Status und neue Entwicklungen
TCO für Silizium-Dünnschichtsolarmodule:
Status und Perspektiven Joachim Müller
Prozesstechnologien für die großflächige Abscheidung von ZnO:Al-Schichten
Manfred Ruske
TCO-Deposition of ZnO by the LP-CVD Technique for Applications in Thin Film Amorphous Silicon Solar Cells Ulrich Kroll
Zinkoxid-Deposition mittels expandierendem thermischen Plasma und Anwendung als TCO für Dünnschichtsolarzellen
Jochen Löffler
Charakterisierung und Stabilitätsverfahren von DC gesput- terten ZnO:Al2O3-Schichten für Dünnschichtsolarzellen Richard Menner
Großflächige TCO-Abscheidung für Dünnschichtsolarzellen von keramischen und metallischen Targets
Christian May
Industrielle AP-CVD von TCO-Schichten für a-Si Module Ulf Blieske
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Session VI
Industrielle TCO-Beschichtungen für Dünnschichtsolarmodule
Einsatz von Sputter-ZnO als Fensterschicht in CIGSSe-Dünnschichtsolarmodulen Sven Visbeck
Roll-to-Roll APCVD SnO2:F deposition Rutger Schlatmann
Pilotproduktion von CIS-Dünnschichtsolarmodulen:
Status und TCO-Aspekte Rolf Wächter
Abschlussdiskussion
Wo besteht Forschungsbedarf?
Moderation Norbert Stump Joachim Müller
Poster
Bestimmung der Dichte und des Verunreinigungsgehaltes von ZnO:Al-Schichten mittels elastischer Vorwärtsstreuung (ERD)
W. Bohne
Epitaktisches Wachstum von ZnO:Al-Schichten auf Saphir-Substraten unterschiedlicher Orientierung
Götz Vollweiler 5
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Sputtered Aluminium Doped ZnO Films for Opto-Electronic Applications
Chitra Agashe
Sputtered Zinc Oxide Films for Silicon Thin Film Solar Cells:
Material Properties and Surface Texture Oliver Kluth
Detailed Accounting for Quantum Efficiency and Optical Losses in a-Si:H Based Solar Cells
Peter Lechner
(Zn,Mg)O als Teil der Fensterschicht für Chalkopyrit Solarzellen
Heike Steigert
Large Area Sputtered ZnO Films as Substrates for Highly Efficient Silicon Thin-Film Solar Modules Joachim Müller
Symposium zur Einweihung
der 30 x30 cm
2- Solarmodultechnologie
Silizium-Dünnschichtsolarmodule:
Ziele und Stand der 30x30 cm2-Technologie in Jülich Bernd Rech
Sputtertechnik für die Photovoltaik Martin Dimer
Laseranwendungen in der Solarzellenproduktion Roland Mayerhofer
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Teilnehmer
Standorte der Mitgliedsinstitute Anschriften der Mitgliedsinstitute Impressum
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