®
Europaisches Patentamt
European
Patent OfficeOffice
europeen des
brevets©
Veroffentlichungsnummer:0 537 643 A1
® EUROPAISCHE PATENTANMELDUNG
© Anmeldenummer:
92117300.1<S) Anmeldetag: 09.10.92
@ int.Ci5:G02B 5/18, A61F 2/16,
G02C 7/06
(g) Prioritat: 18.10.91
DE 4134518 ©
Anmelder:ADATOWIED PHARMAZEUTISCHE
UND MEDIZINTECHNISCHE GESELLSCHAFT
®
Veroffentlichungstag derAnmeldung: MBH
21.04.93 Patentblatt 93/16
Am Moosfeld 27
W-8000 Munchen 82(DE)
(S) Benannte Vertragsstaaten:
@
Erfinder: Stork,Wllhelm,
Dr.AT BE CH DE DK ES FR GB GR
IE IT LILU MC
NL PT SE Wilhelmstrasse 30
W-8510Furth(DE)
Erfinder: StreibI, Norbert,Dr.
Sperlingstrasse
26a W-8520 Erlangen(DE)
0
Vertreter: Noth, Heinz, Dipl.-Phys.Patentanwalt,
Mozartstrasse 17 W-8000 Munchen
2(DE)
@
Ophthalmisclfie Linse.@
Eine ophtalmische Linse (Brillenglas, Kontaktlin- se, Intraokularlinse), deren optisch wirksamer Llns-enteil diffraktive zonenformige Feinstrukturelemente mit zwei
Beugungsordnungen
aufweist, deren Inten-sitat
bedeutend
starker ist als die Intensitaten der anderenBeugungsordnungen,
so dafiman
durchdiffraktive
Wirkung
eine bifokale Linse erhalt.Fig.lO
Rank Xerox (UK) Business Services
(3.10/3.5x73.0. 1)
BNSDOCID: <EP ^0537643A1J_>
1
EP 0 537 643 A1
2Zur Korrektur von Altersslchtigkeit (Presbyopie)
ist es bekannt, ophthalmische Linsen (Augenglaser.
Kontaktlinsen, Intraokularlinsen) zu
verwenden,
die zwei verschiedene Scheitelbrechwerteund
mithin zwei verschiedene Fokl entlang der optlschen Acli- se bilden.Es
ist bekannt, hierfur opiithalmische Linsen zu ven^^enden, deren optischwirksamer
Linsenteil in
Zonen
unterschiedlicher Scheitel- brechwerte aufgeteilt ist. Diese Linsen besitzen inunterschiedlichen
Abstanden
von der optischenAchse
unterschiedliche Brechkrafte. Die Linse wirkt hierbei als geometrischer Strahlteller, welcherden
einfallenden Bundelquerschnitt in zwei
(Biofokallinsen) Oder mehrere Teilbereiche (Multifokallinsen) aufteilt, die
dann
in zwei bzw.mehreren
Brennpunkten fokusiert werden. Hierbeilafit sich nicht vermetden, dafi unterschiedliche Tel-
le der Apertur verschiedenen Brennpunkten zuge- ordnet sind. Bei sich
andernden
Beleuchtungsstar- ken andert sich infolge der Adaptiondes Auges
auch der Irisdurchmesser (Apertur).
Da
beigeome-
trischer Strahlteilung die Drechkraft uber
den
op-tisch
wirksamen
Linsenteil radial verteilt ist,andern
sich
auch
die an der Abbildung beteiligten Flachen-anteile der Augenpupille mit ihren unterschiedll-
chen Brechkraften. Ordnet
man
beispielsweise die furdas
Nahfeldsehen notige Brechkraft imZentrum
der Pupille an. weil
man
beispielsweisebeim Lesen
fur eine ausreichende Beleuchtung sorgen will, so
wird
das
Fernfeldsehen stark beleuchtungsabhan-gig. Schlie/3t sich die Iris bei heller Beleuchtung, so
ist der Flachenanteil, der auf Fernfeldsehen korri- gierten ophthalmischen Linse, insbesondere
wenn
diese als Intraokularlinse ausgebildet ist, gering.
Dies hat im Fernfeld eine unbefriedigende Blldqua-
litat zur Folge. Andererseits wird
beim
Nahfeldse- hen bei schlechter Beleuchtung die Adaptionwenig
Erfolg haben,
da
beim Offnen der Pupille der grofi- te Energieanteil in den Fernfeldfokus der Linse geschickt wird.wodurch
das gerade fokussierteBild nicht heller wird.
sondem
nurdas
unscharfe Nebenbild.Aufgabe
der Erfindung ist es, eine ophthalmi- sche Linsenach dem
Oberbegriffdes
Patentan- spruchs 1 zu schaffen, bei der infolge der Adaptiondes Auges
sichandernde
Pupillendurchmesser gleichma/3ig auf die Bildqualitatbeim
Fernfeldse- henund beim
Nahfeldsehen auswirken.Diese Aufgabe wird bei einer derartigen opht- halmischen Linse erfindungsgemafi durch die
kennzeichnenden Merkmale
des Patentanspruchs 1gel5st.
Bei dieser Linse ist der optisch
wirksame
Lins-enteil in zonenformige diffraktive Feinstrukturele-
mente
mit zweiBeugungsordnungen
unterteilt, de- ren Intensitaten die Intensitaten deranderen
Beu-gungsordnungen
erheblich ubersteigen. Die Lichtin- tensitaten inden
beidenBeugungsordnungen
be-tragen
etwa
80% und mehr
dergesamten
einge- strahlten Intensitat.Die Intensitaten der beiden
Beugungsordnun- gen konnen
etwa gleich sein.Es
ist jedochauch
5 moglich, unterschiedliche Intensitaten fOr beide
Beugungsordnungen
zu haben.Die diffraktive Feinstruktur der ophthalmischen Linse wirkt als physikalischer Strahlteller
und
be- nutzt ein Beugungsgitter,das
nur zweiBeugungs-
10
ordnungen
hat, die auf der optischenAchse
der Linse zwei Brennpunkte bildet.Das
in unerwunsch-te
Beugungsordnung
abgelenkte Licht hat gegen-uber dem
Intensitatsanteil inden
beiden Beu-gungsordnungen
einen nur geringen Anteil. Mit der75 erfindungsgemai3en ophthalmischen Linse kann ein
Wirkungsgrad
(Verhaltnis der zurErzeugung
der beiden Bilder zur Verfugung stehenden nutzbaren Lichtenergie zu der insgesamt einfallenden Lichten- ergie)von 80 % und mehr
erreicht werden. Durch20 die diffraktiven Feinstrukturelemente wird eine phy- sikalische Teiiung der Lichtenergie auf die beiden
gewunschten
Teilbilder, welchedurch die beidenBeugungsordnungen
erzeugt werden, erreicht.EineAnderung
der Apertur, d.h.des
Pupillendurchmes-25 sers, wirkt sich auf beide
Beugungsordnungen
glei-cherma^en
aus.Die Erfindung kann sowohl bei Brillenglasern als
auch
bei Kontaktlinsen sowie bevorzugt bei Intraokularlinsenzum
Einsatzkommen.
30
Anhand
der Figuren wird die Erfindungnoch
naher erlautert.Es
zeigt:Fig. 1
eine Periode einer als Oberflachenprofil auf der Linsenoberflache ausgebildeten zonenformigen
35 diffraktiven Feinstruktur in Rechteckdesign;
Fig. 2
eine Energieverteilung uber die
Beugungsord- nungen des
in Fig. 1 dargestellten Rechteckde-signs;
40 Fig. 3
eine Tiefenverteilung des in Fig. 1 dargestellten
Rechteckdesigns mit einer Apertur von 7
mm,
einer Brechzahladdition
von
+/-3
dpt auf20
dpt, entworfen
und
betrieben bei einer De-45 signwellenlange von
555 nm;
Fig.
4
eine Tiefenverteilung fur das in Fig. 1 dargestell- te Rechteckdesign mit Brechzahladdition von +/-
3
dpt auf20
dpt, entworfenund
betrieben 50 bei einer Designwellenlangevon 555 nm,
jedochmit einer Apertur von 3
mm;
Fig. 5
eine Periode eines Sagezahnproflls einer als Oberflachenprofil auf der Linsenoberflache zo- 55 nenformig ausgebildeten diffraktiven Feinstruk-
tur;
Fig. 6
den Wirkungsgrad des
in Fig. 5 dargestelltenBNSDOCID: <EP 0537643A1J_>
4
3 EP 0
Sagezahndesigns
fUr gleich starkeBeugungs-
ordnungen 0,+
1;
Fig.
7
eine Energievertellung uber die
Beugungsord- nungen
des in Fig. 5 dargestelltenSagezahn-
designs;
Fig.
8
sine Tiefenverteilung
des
in Fig.5
dargestelltenSagezahndesigns
nnit einer Apertur von 7mm,
einer Brechzahtaddition
von
+/- 3 dpt auf20
dpt. entworfen
und
betrieben bei einer De- signwellenlange von555 nm;
Fig. 9
zwei Stufen eines photoiithographischen Verfah- rens zur Herstellung einer diffraktiven Feinstruk- tur auf einer Linsenoberflache, wobei in der er-
sten Stufe ein Rechteckdesign
und
in der zwei- ten Stufe ein stufenformig angehahertesSage-
zahndesign hergestellt wird;und
Fig. 10, 11. 12
Ausfuhrungsbeispiele fur ophthalmische Linsen.
In der Fig. 1 ist die Periode eines Oberflachen-
profils eines Rechteckdesigns als Ausfuhrungsbei-
spiel fur eine diffraktive
zonenformige
Feinstruktur fur eine Intraokularlinse dargestellt. Die Brechkraft der Intraokularlinse betragt20
dpt. wobei durch diediffraktiven Feinstrukturelemente, welche in
den Zonen des
optischwirksamen
Linsenteils vorgese- hen sind, eineAnderung um 3
dpt bewirkt wird.Das
bedeutet. 6aB die +1.Beugungsordnung
dieBrechkraft
um
3 dpt verringertund
die -1. Beu-gungsordnung
die Brechkraftum 3
dpt erhoht. Beidem
in der Fig. 1 dargestellten Rechteckdesign derdiffraktiven Oberflachenfeinstruktur der Linse wer-
den
die +1. und die -1.Beugungsordnungen
zu-einander abgeglichen
und
in ihrem Wirkungsgrad maximiert.Wie
aus Fig. 1 zu ersehen ist. la/Jt sichdas Rechteckprofil fur die Oberflachenstruktur durch die
Hohe H
und das Tastverhaltnis q bestim-men.
DieHohe
ist auf 2 tt normiertund
ist in derFig. 1 mit
H
dargestellt.Durch eine Parametereinstellung
q =
0,5und H =
0,5 lassen sich dieBeugungsordnungen
-1und +1
auf einenmaximalen
Wirkungsgradvon
ca. 81
%
abgleichen.H =
0,5 entspricht einer halben Wellenlange Unterschied in der optischen Wellenlange.In der Fig. 2 ist ein
Balkendiagramm
fur die Energievertellung auf die einzelnen Beugungsord-nungen
(mit B.O. bezeichnet) dargestellt.Wie
sich zeigt. fallen die geradzahligenBeugungsordnungen
fQr das in Fig. 1 dargesteilte Rechteckdesign voll- standig aus.
In der Fig. 3 ist die Tiefenverteilung fur das in
Fig. 1 dargesteilte Rechteckdesign dargestellt. Dies
ist die Intensitatsverteilung auf der optischen
Achse
z,
woraus
sich das longitudinale Auflosungsvermo- gen, d.h. die Scharfentiefe, ablesen lafit. Die Tie-BNSDOCID: <EP ^0537643A1_L>
7 643 A1 4
fenverteilung ist logarithmisch aufgetragen,
um dem
Sehverhaltendes Auges
moglichst nahezu-kommen und um auch
kleine Effekte deutlich her- auszustellen. DieHohe
derPeaks
(Foki) entspricht5
den im Balkendiagramm
der Fig. 2 dargestelltenHohen
fur die -1.und
die +1.Beugungsordnungen des
Rechteckgitters.Zwischen
den beiden Fokigibt es leichte Oszillationen, die jedoch weit unter- halt
von
1 Promille Itegen. Dieser oszillatorische 10 Untergrund entsteht durch Uberlagerungdes
Lichts aller Zerstreuungskreiseam
entsprechenden Ort auf der optischenAchse
z. Die in der Fig. 3 darge-steilte Tiefenverteilung entspricht einer Apertur
von
7mm,
d.h.einem
Pupillendurchmesser von7 mm.
16 Dies ist der
Durchmesser
einer voll geoffnetenPupille.
Bei durchschnittlicher Leuchtdichte betragt je-
doch
- bedingt durch die Adaption desAuges
- derDurchmesser
der Pupille (Apertur) ca. 3mm.
20 In der Fig.
4
ist fur eine solche Apertur die Tiefenverteilungdes
in Fig. 1 dargestellten Recht- eckdesigns dargestellt.Wie
aus Fig.4
zu ersehenist,
nimmt
die Scharfentiefe aufgrund der Apertur- verringerung zu.25 Die Fig. 5 zeigt ein weiteres Ausfuhrungsbei-
spiel der Erfindung. wobei eine Periode eines Sa- gezahnprofils fOr die diffraktive Feinstruktur auf der Linsenoberf lache dargestellt ist.
Das
dargesteilteSagezahndesign
gleicht die 0.und
die +1.Beu-
30
gungsordnungen
zueinander ab und maximiert die- se im Wirkungsgrad.Wie
aus der Darstellung derFig. 5 zu erkennen ist, wird das Sagezahnprofil durch die
Hohe des
Dreiecks bestimmt. DieHohe
ist auf 2 -n normiert
und
wird durchH
dargestellt.35 Fur
H =
0,5 sind dieBeugungsordnungen
0und +
1 auf einenmaximalen
Wirkungsgrad von ca. 81%
abgeglichen.In der Fig. 6 ist der Verlauf
des
Wirkungsgra-des
bei gleich hellenBeugungsordnungen
0und
40
+1
in Abhangigkeitvon
derHohe H
dargestellt.Ein
Optimum
desWirkungsgrades
von 81%
ergibtsich fur eine
Hohe H =
0,5. Dies entspricht einer halben Wellenlange Unterschied in der optischen Wellenlange (Designwellenlange).Auch
bei einer 45Hohe H
von etwa 0.71 erreichtman
einen relativhohen
Wirkungsgrad von etwa 0,74 (74 %). Die Designwellenlange betragt555 nm.
In der Fig. 7 ist die Energievertellung uber die
Beugungsordnungen
(mit B.O. bezeichnet)des
in50 Fig. 5 dargestellten Sagezahnprofils in
Form
einesBalkendiagramms
dargestellt. Die Intensitat entlang der optischenAchse
z ist durch die in Fig.8
gezeigte Tiefenverteilung wiedergegeben. Die
Hohe
der Foki fur die 0.und
die+
1 .Beugungs-
66
ordnung des
Sagezahngitters der Fig. 5 entsprichtden
imBalkendiagramm
der Fig. 7 gezeigtenHo-
hen.
3
5 EP 0 537 643 A1
6In der Fig.
9
ist ein photolithographisches Ver- fahren schematisch dargestellt,das
bei der Herstel- lung der diffraktiven Oberflachenfeinstruktur auf der Linse zurAnwendung kommen
kann. Die erste Stufedes
Herstellungsverfahrens In der Fig. 9 zeigt dieGewinnung
einer diffraktiven Feinstruktur mit Rechteckdesign. In der zweiten Stufe ist die Her- stellungvon
mikrofeinen Stufen zurAnnaherung
der
schragen Rampen
furdas
Sagezahnprofll dar- gestellt.Es werden
hierzumehrere
Maskierungs-und
Atzschrltte, wie In der zweiten Stufe dargestelltist, zur
Anwendung
gebracht.Das
in der zweiten Stufe dargestellte Verfahren kann zurGewinnung
noch feinerer Mikrostufen wiederholt werden.
Eine weitere Ausfuhrungsform der ophthalmi- sclien Linse (Brillenglas, Kontaktlinse, Intraokular- linse)
kann
darin bestehen, daiS unterschiedlicheGewichtungen
in der Intensitat der belden Foki bei bifokalen Linsen gewahit werden. Diese unter- schiedlicheGewichtung kann
sowelt gehen, dafi ImGrenzfall einer der belden Foki unterdruckt wird. In
diesem
Grenzfall wirddann
zur Brechkraft der re- fraktiven Linse noch eine zusatzliche diffraktlve Brechkraft hinzugefugt. Bevorzugtkommt
hierbeidas Sagezahnprofil fur die diffraktlve Feinstruktur zur
Anwendung,
wobei die Profllhohe bzw. die Dif-ferenz der optischen Wellenlange zwischen Spitze
und
Talder
Designwellenlange bevorzugt einer Wellenlangeim
grunen Spektralbereichdes
sicht-baren Lichts entsprlcht. In
diesem
Fall wirktdas
diffraktive Feinstrukturprofil fur die Designwellen- lange als
monofokale
Linse. Selbst beiAbweichun- gen
von der Designwellenlange im grunenSpek-
tralbereich. beispielsweise
550
nm, im sichtbaren Berelch (450 -650 nm)
ist die Beugungseffizienzimmer noch
ca.80 %,
sodaB
sich Streulichtanteile nichtbesonders
storend auswirken. Durch die zu- satzliche diffraktive Brechkraft erreichtman
eineVerringerung der Linsendicke bei gleicher Brech-
kraft.
In
den
Fig. 10 bis 12 sind Ausfuhrungsbeispie-le ophthalmischer Linsen, insbesondere Intraoku- larlinsen, dargestellt.
Beim
AusfUhrungsbeispiel derFig. 10 besteht der Linsenkorper aus zwei Stoffen mit unterschiedlichen Brechungsindizes n1
und
n2.Die beiden Linsenteile sind plankonvexe Linsenteile
und
besitzen an ihren planen Flachen, die aneinan- der liegen, die diffraktive Struktur, welcheschema-
tisch dargestellt ist. Die beiden Linsenteile mit
den
unterschiedlichen Brechungsindizes sind langs der optischen
Achse
hintereinander angeordnet.Bei
dem
AusfUhrungsbeispiel der Fig. 11 istder Linsenkdrper plankonvex ausgebildet. Die dif- fraktive Struktur befindet sich an der planen Seite
des
Linsenkorpers.Bei
dem
in der Fig. 12 dargestellten AusfUh- rungsbeispiel ist der Linsenkorper bikonvex ausge-bildet. Die diffraktive Struktur befindet sich auf der
einen
konvexen
Seite des Linsenkorpers.Patentanspriiche
5 1.
Ophthalmische
Linse, in derenoptischem
Lins- enteil auf Zonenradien urn die optische Linse-nachse
diffraktive Feinstrukturelemente mit zweiBeugungsordnungen, gegenuber
derenIntensitaten die Intensitaten anderer Beu-
70
gungsordnungen
gering sind, gebildet sind zur Erzielung zweier Foki mit jewelIs unterschiedli-chem
Scheitelbrechwert,dadurch gekennzeichnet,
6aB
die Zonenradien(Rm)
zur Bildung der15 Perioden
des
FeinstrukturprofUs die GleichungVRm^ + fM
= X erfullen, wobeim
jeweils eineganze
Zahl, beginnend mit 1,f der Reziprok- wert jeweils eines der beiden Scheitelbrech- werte der Linse und X die Designwellenlange, 20welche
im grunen Spektralbereichdes
sichtba- ren Lichts liegt, bedeutenund
dafidas
Fein- strukturprofil entweder ein Rechteckprofil ist,dessen
Grundlinie der halben Periodedes
Feinstrukturprofils entsprlcht, oder ein
Sage-
25 zahnprofil ist, dessen Grundlinie der
ganzen
Periodedes
Feinstrukturprofils entsprlcht.2.
Ophthalmische
Linse nachAnspruch
1. da- durch gekennzeichnet. dafi die Intensitaten der30 beiden
Beugungsordnungen
gleich sind.3. Ophthalmische Linse nach
Anspruch
1. da- durch gekennzeichnet, dafi die Intensitaten der beidenBeugungsordnungen
unterschiediich35 sind.
4.
Ophthalmische
Linse nachAnspruch
3, da- durch gekennzeichnet, da/3 die Linse als refrak- tive Linse ausgebildet ist und6aB
einer der40 beiden von
den
zonenformigen diffraktivenFeinstruktureiementen erzeugten Foki unter- drUckt ist, so dafi eine monofokule Linse, de- ren Brechkraft aus
einem
diffraktivenund
el-nem
refraktiven Anteilzusammengesetzt
ist,45 entsteht.
5. Ophthalmische Linse nach
einem
der AnsprU-che
1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, da/3 diezonenformigen
diffraktiven Feinstrukturelemen-50 te die
+
1 .und
-1 .Beugungsordnungen
bilden.6.
Ophthalmische
Linse nacheinem
der AnsprU-che
1 bis 4, dadurch gekennzeichnet,6aB
diezonenformigen
diffraktiven Feinstrukturelemen-56 te die 0.
und
+ 1 .Beugungsordnungen
bilden.7. Ophthalmische Linse nach
einem
der AnsprU-che
1, 2, 5und
6, dadurch gekennzeichnet.4
BNSDOCIO: <ER .0537643A1J_>
«
EP 0 537 643 A1 8
daiJ der optische Wegl3ngenunterschied zwi-
schen Hohen und
Tiefen der Feinstrukturele-mente
der halben Designwellenlange ent- spricht.5 8. Ophthalmische Linse nach
einem
der Anspru-che 3, 4, 6
und
7, dadurch gekennzeichnet,dafi der optische Weglangenunterschied zwi-
schen
Hohen und
Tiefen der Feinstrukturele-mente
derganzen
Designwellenlange ent- iospricht.
9. Ophthalmische Linse nach
einem
der Anspru- che 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, 6aB dieDesignwellenlange im grunen Spektralbereich is
des
sichtbaren Lichts liegt.10. Ophthalmische Linse nach
einem
der Anspru-che
1 bis 9.dadurch
gekennzeichnet,6aB
dasProfil der diffraktiven Feinstrukturelemente 20 photolithographisch gebildet ist.
11. Ophthalmische Linse nach
einem
der Anspru-che
1 bis 10. dadurch gekennzeichnet, dafi sieals Intraokularlinse ausgebildet ist. 25
12. Ophthalmische Linse nach
einem
der Anspru-che
1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dafi sie als Kontaktlinse ausgebildet ist.30 13. Ophthalmische Linse nach
einem
der Anspru-che
1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, da/3 sie als Brillenglas ausgebildet ist.14- Ophthalmische Linse nach
einem
der Anspru- 36che
1 bis 13, dadurch gekennzeichnet,daB
der Linsenkorperaus
Materialien mit unterschiedli-chen
Brechungsindizes besteht.15. Ophthalmische Linse nach
einem
der Anspru- 40che
1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dafi der Linsenkorper aus zwei plankonvexen Teilen bestehtund
die diffraktive Strukturan den
an- einander liegenden planen Seiten vorgesehenist. 45
16. Ophthalmische Linse nach
einem
der Anspru- che 1 bis 1 5, dadurch gekennzeichnet, da/3 der Linsenkorper bikonvex Oder plankonvex ausge-bildet ist
und
die diffraktive Struktur an der 50 konvexen Oder planen Seitevorgesehen
ist.55
BNSDOCID: <EP. .0537643A1_L>
EP 0 537 643 A1
L -
JT
R m-1
Fig.l
R_ m R m+l
log( Enei^e
)
10» -3
10
-110
-2Rechteck
Fig.2
h = 81%
(555nin,555nni)
-5 -4
-3 -2 -10
12 3 4 B.O.
BNSDOCID: <EP ^0537643A1J_>
1)
I
EP 0 537 643 A1
Rechteck(-1,+1)
log( PSF(r=0^)
)-10000 -5000 0 5000 10000
Rechteck (-1, + 1)
log( PSF(r=Oj.)
)
2mm O
Fig.4
7
BNSDCCID: <EP 0537643A1J_>
EP 0 537 643 A1
Fig.6
Wirkunsssrad
7
1.00
-1
0.75
-
0.50
-
0.25
-
0.00
Sagezahn (0,+l)
1 1 1 1 I I I 1 1 I 1 1 I I 1 1 I
1 1 ( I 'I
I I
I I I I
I
I I I I
0,4
OJ
0.6 0.7 0,8 0,9 1,0Hohe i (*2-T )
8
BNSDOCID: <EP ^0537643A1J_>
EP 0 537 643 A1
Sagezahn (0,+l) Fig.7
log( Energie
)10*"
7 =81%
(555nm, 555nm)
-5-4-3-2-1 0
I2 3 4
5B.O.
Sagezahn (0, + l)
log( PSF(r=0^)
)
7mm O
(20-3 )dpt
(555nm.555nm)
Fig.8
I I 1
I
I I 1 I
I
1 I 1 I
I
I i 1 i
I
I I
)>
I
*
0 2000 4000 6000 8000 ^
0537643A1J_>
9
EP 0 537 643 A1
1. Stufe Fig.9
Belichtune der Maske Entwickeln
\ otolack
Substrat z.B Glas
Atzen
1_J====l
Photolack ablosen
*
— [_J l_J
—
2. Stufe
Beschichtung Photolack Belichtung der Maske
\ /
Entwickeln
Atzen Photolack ablosen
SJ3
r T.
BNSCXXIO: <EP ^0537643A1J_>
10
Europaisches Patentamt
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somt
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* Anspruche; Abbildungen
*EP-A-0 470 811 (MMM)
* Anspruche; Abbildungen
*EP-A-0 393 639 (A.COHEN)
*
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*
Anspruche; Abbildungen
*Becrifft
Anspnicfa
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Got.O
S )I,
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II,12 5,9
1,3
4,9,11, 12,14, 15.16
1,10
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8
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BNSDOCIO: <EP .0537643A1J_>
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