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(1)

®

Europaisches Patentamt

European

Patent Office

Office

europeen des

brevets

©

Veroffentlichungsnummer:

0 537 643 A1

® EUROPAISCHE PATENTANMELDUNG

© Anmeldenummer:

92117300.1

<S) Anmeldetag: 09.10.92

@ int.Ci5:G02B 5/18, A61F 2/16,

G02C 7/06

(g) Prioritat: 18.10.91

DE 4134518 ©

Anmelder:

ADATOWIED PHARMAZEUTISCHE

UND MEDIZINTECHNISCHE GESELLSCHAFT

®

Veroffentlichungstag der

Anmeldung: MBH

21.04.93 Patentblatt 93/16

Am Moosfeld 27

W-8000 Munchen 82(DE)

(S) Benannte Vertragsstaaten:

@

Erfinder: Stork,

Wllhelm,

Dr.

AT BE CH DE DK ES FR GB GR

IE IT LI

LU MC

NL PT SE Wilhelmstrasse 30

W-8510Furth(DE)

Erfinder: StreibI, Norbert,Dr.

Sperlingstrasse

26a W-8520 Erlangen(DE)

0

Vertreter: Noth, Heinz, Dipl.-Phys.

Patentanwalt,

Mozartstrasse 17 W-8000 Munchen

2

(DE)

@

Ophthalmisclfie Linse.

@

Eine ophtalmische Linse (Brillenglas, Kontaktlin- se, Intraokularlinse), deren optisch wirksamer Llns-

enteil diffraktive zonenformige Feinstrukturelemente mit zwei

Beugungsordnungen

aufweist, deren Inten-

sitat

bedeutend

starker ist als die Intensitaten der anderen

Beugungsordnungen,

so dafi

man

durch

diffraktive

Wirkung

eine bifokale Linse erhalt.

Fig.lO

Rank Xerox (UK) Business Services

(3.10/3.5x73.0. 1)

BNSDOCID: <EP ^0537643A1J_>

(2)

1

EP 0 537 643 A1

2

Zur Korrektur von Altersslchtigkeit (Presbyopie)

ist es bekannt, ophthalmische Linsen (Augenglaser.

Kontaktlinsen, Intraokularlinsen) zu

verwenden,

die zwei verschiedene Scheitelbrechwerte

und

mithin zwei verschiedene Fokl entlang der optlschen Acli- se bilden.

Es

ist bekannt, hierfur opiithalmische Linsen zu ven^^enden, deren optisch

wirksamer

Linsenteil in

Zonen

unterschiedlicher Scheitel- brechwerte aufgeteilt ist. Diese Linsen besitzen in

unterschiedlichen

Abstanden

von der optischen

Achse

unterschiedliche Brechkrafte. Die Linse wirkt hierbei als geometrischer Strahlteller, welcher

den

einfallenden Bundelquerschnitt in zwei

(Biofokallinsen) Oder mehrere Teilbereiche (Multifokallinsen) aufteilt, die

dann

in zwei bzw.

mehreren

Brennpunkten fokusiert werden. Hierbei

lafit sich nicht vermetden, dafi unterschiedliche Tel-

le der Apertur verschiedenen Brennpunkten zuge- ordnet sind. Bei sich

andernden

Beleuchtungsstar- ken andert sich infolge der Adaption

des Auges

auch der Irisdurchmesser (Apertur).

Da

bei

geome-

trischer Strahlteilung die Drechkraft uber

den

op-

tisch

wirksamen

Linsenteil radial verteilt ist,

andern

sich

auch

die an der Abbildung beteiligten Flachen-

anteile der Augenpupille mit ihren unterschiedll-

chen Brechkraften. Ordnet

man

beispielsweise die fur

das

Nahfeldsehen notige Brechkraft im

Zentrum

der Pupille an. weil

man

beispielsweise

beim Lesen

fur eine ausreichende Beleuchtung sorgen will, so

wird

das

Fernfeldsehen stark beleuchtungsabhan-

gig. Schlie/3t sich die Iris bei heller Beleuchtung, so

ist der Flachenanteil, der auf Fernfeldsehen korri- gierten ophthalmischen Linse, insbesondere

wenn

diese als Intraokularlinse ausgebildet ist, gering.

Dies hat im Fernfeld eine unbefriedigende Blldqua-

litat zur Folge. Andererseits wird

beim

Nahfeldse- hen bei schlechter Beleuchtung die Adaption

wenig

Erfolg haben,

da

beim Offnen der Pupille der grofi- te Energieanteil in den Fernfeldfokus der Linse geschickt wird.

wodurch

das gerade fokussierte

Bild nicht heller wird.

sondem

nur

das

unscharfe Nebenbild.

Aufgabe

der Erfindung ist es, eine ophthalmi- sche Linse

nach dem

Oberbegriff

des

Patentan- spruchs 1 zu schaffen, bei der infolge der Adaption

des Auges

sich

andernde

Pupillendurchmesser gleichma/3ig auf die Bildqualitat

beim

Fernfeldse- hen

und beim

Nahfeldsehen auswirken.

Diese Aufgabe wird bei einer derartigen opht- halmischen Linse erfindungsgemafi durch die

kennzeichnenden Merkmale

des Patentanspruchs 1

gel5st.

Bei dieser Linse ist der optisch

wirksame

Lins-

enteil in zonenformige diffraktive Feinstrukturele-

mente

mit zwei

Beugungsordnungen

unterteilt, de- ren Intensitaten die Intensitaten der

anderen

Beu-

gungsordnungen

erheblich ubersteigen. Die Lichtin- tensitaten in

den

beiden

Beugungsordnungen

be-

tragen

etwa

80

% und mehr

der

gesamten

einge- strahlten Intensitat.

Die Intensitaten der beiden

Beugungsordnun- gen konnen

etwa gleich sein.

Es

ist jedoch

auch

5 moglich, unterschiedliche Intensitaten fOr beide

Beugungsordnungen

zu haben.

Die diffraktive Feinstruktur der ophthalmischen Linse wirkt als physikalischer Strahlteller

und

be- nutzt ein Beugungsgitter,

das

nur zwei

Beugungs-

10

ordnungen

hat, die auf der optischen

Achse

der Linse zwei Brennpunkte bildet.

Das

in unerwunsch-

te

Beugungsordnung

abgelenkte Licht hat gegen-

uber dem

Intensitatsanteil in

den

beiden Beu-

gungsordnungen

einen nur geringen Anteil. Mit der

75 erfindungsgemai3en ophthalmischen Linse kann ein

Wirkungsgrad

(Verhaltnis der zur

Erzeugung

der beiden Bilder zur Verfugung stehenden nutzbaren Lichtenergie zu der insgesamt einfallenden Lichten- ergie)

von 80 % und mehr

erreicht werden. Durch

20 die diffraktiven Feinstrukturelemente wird eine phy- sikalische Teiiung der Lichtenergie auf die beiden

gewunschten

Teilbilder, welchedurch die beiden

Beugungsordnungen

erzeugt werden, erreicht.Eine

Anderung

der Apertur, d.h.

des

Pupillendurchmes-

25 sers, wirkt sich auf beide

Beugungsordnungen

glei-

cherma^en

aus.

Die Erfindung kann sowohl bei Brillenglasern als

auch

bei Kontaktlinsen sowie bevorzugt bei Intraokularlinsen

zum

Einsatz

kommen.

30

Anhand

der Figuren wird die Erfindung

noch

naher erlautert.

Es

zeigt:

Fig. 1

eine Periode einer als Oberflachenprofil auf der Linsenoberflache ausgebildeten zonenformigen

35 diffraktiven Feinstruktur in Rechteckdesign;

Fig. 2

eine Energieverteilung uber die

Beugungsord- nungen des

in Fig. 1 dargestellten Rechteckde-

signs;

40 Fig. 3

eine Tiefenverteilung des in Fig. 1 dargestellten

Rechteckdesigns mit einer Apertur von 7

mm,

einer Brechzahladdition

von

+/-

3

dpt auf

20

dpt, entworfen

und

betrieben bei einer De-

45 signwellenlange von

555 nm;

Fig.

4

eine Tiefenverteilung fur das in Fig. 1 dargestell- te Rechteckdesign mit Brechzahladdition von +/-

3

dpt auf

20

dpt, entworfen

und

betrieben 50 bei einer Designwellenlange

von 555 nm,

jedoch

mit einer Apertur von 3

mm;

Fig. 5

eine Periode eines Sagezahnproflls einer als Oberflachenprofil auf der Linsenoberflache zo- 55 nenformig ausgebildeten diffraktiven Feinstruk-

tur;

Fig. 6

den Wirkungsgrad des

in Fig. 5 dargestellten

BNSDOCID: <EP 0537643A1J_>

(3)

4

3 EP 0

Sagezahndesigns

fUr gleich starke

Beugungs-

ordnungen 0,

+

1

;

Fig.

7

eine Energievertellung uber die

Beugungsord- nungen

des in Fig. 5 dargestellten

Sagezahn-

designs;

Fig.

8

sine Tiefenverteilung

des

in Fig.

5

dargestellten

Sagezahndesigns

nnit einer Apertur von 7

mm,

einer Brechzahtaddition

von

+/- 3 dpt auf

20

dpt. entworfen

und

betrieben bei einer De- signwellenlange von

555 nm;

Fig. 9

zwei Stufen eines photoiithographischen Verfah- rens zur Herstellung einer diffraktiven Feinstruk- tur auf einer Linsenoberflache, wobei in der er-

sten Stufe ein Rechteckdesign

und

in der zwei- ten Stufe ein stufenformig angehahertes

Sage-

zahndesign hergestellt wird;

und

Fig. 10, 11. 12

Ausfuhrungsbeispiele fur ophthalmische Linsen.

In der Fig. 1 ist die Periode eines Oberflachen-

profils eines Rechteckdesigns als Ausfuhrungsbei-

spiel fur eine diffraktive

zonenformige

Feinstruktur fur eine Intraokularlinse dargestellt. Die Brechkraft der Intraokularlinse betragt

20

dpt. wobei durch die

diffraktiven Feinstrukturelemente, welche in

den Zonen des

optisch

wirksamen

Linsenteils vorgese- hen sind, eine

Anderung um 3

dpt bewirkt wird.

Das

bedeutet. 6aB die +1.

Beugungsordnung

die

Brechkraft

um

3 dpt verringert

und

die -1. Beu-

gungsordnung

die Brechkraft

um 3

dpt erhoht. Bei

dem

in der Fig. 1 dargestellten Rechteckdesign der

diffraktiven Oberflachenfeinstruktur der Linse wer-

den

die +1. und die -1.

Beugungsordnungen

zu-

einander abgeglichen

und

in ihrem Wirkungsgrad maximiert.

Wie

aus Fig. 1 zu ersehen ist. la/Jt sich

das Rechteckprofil fur die Oberflachenstruktur durch die

Hohe H

und das Tastverhaltnis q bestim-

men.

Die

Hohe

ist auf 2 tt normiert

und

ist in der

Fig. 1 mit

H

dargestellt.

Durch eine Parametereinstellung

q =

0,5

und H =

0,5 lassen sich die

Beugungsordnungen

-1

und +1

auf einen

maximalen

Wirkungsgrad

von

ca. 81

%

abgleichen.

H =

0,5 entspricht einer halben Wellenlange Unterschied in der optischen Wellenlange.

In der Fig. 2 ist ein

Balkendiagramm

fur die Energievertellung auf die einzelnen Beugungsord-

nungen

(mit B.O. bezeichnet) dargestellt.

Wie

sich zeigt. fallen die geradzahligen

Beugungsordnungen

fQr das in Fig. 1 dargesteilte Rechteckdesign voll- standig aus.

In der Fig. 3 ist die Tiefenverteilung fur das in

Fig. 1 dargesteilte Rechteckdesign dargestellt. Dies

ist die Intensitatsverteilung auf der optischen

Achse

z,

woraus

sich das longitudinale Auflosungsvermo- gen, d.h. die Scharfentiefe, ablesen lafit. Die Tie-

BNSDOCID: <EP ^0537643A1_L>

7 643 A1 4

fenverteilung ist logarithmisch aufgetragen,

um dem

Sehverhalten

des Auges

moglichst nahezu-

kommen und um auch

kleine Effekte deutlich her- auszustellen. Die

Hohe

der

Peaks

(Foki) entspricht

5

den im Balkendiagramm

der Fig. 2 dargestellten

Hohen

fur die -1.

und

die +1.

Beugungsordnungen des

Rechteckgitters.

Zwischen

den beiden Foki

gibt es leichte Oszillationen, die jedoch weit unter- halt

von

1 Promille Itegen. Dieser oszillatorische 10 Untergrund entsteht durch Uberlagerung

des

Lichts aller Zerstreuungskreise

am

entsprechenden Ort auf der optischen

Achse

z. Die in der Fig. 3 darge-

steilte Tiefenverteilung entspricht einer Apertur

von

7

mm,

d.h.

einem

Pupillendurchmesser von

7 mm.

16 Dies ist der

Durchmesser

einer voll geoffneten

Pupille.

Bei durchschnittlicher Leuchtdichte betragt je-

doch

- bedingt durch die Adaption des

Auges

- der

Durchmesser

der Pupille (Apertur) ca. 3

mm.

20 In der Fig.

4

ist fur eine solche Apertur die Tiefenverteilung

des

in Fig. 1 dargestellten Recht- eckdesigns dargestellt.

Wie

aus Fig.

4

zu ersehen

ist,

nimmt

die Scharfentiefe aufgrund der Apertur- verringerung zu.

25 Die Fig. 5 zeigt ein weiteres Ausfuhrungsbei-

spiel der Erfindung. wobei eine Periode eines Sa- gezahnprofils fOr die diffraktive Feinstruktur auf der Linsenoberf lache dargestellt ist.

Das

dargesteilte

Sagezahndesign

gleicht die 0.

und

die +1.

Beu-

30

gungsordnungen

zueinander ab und maximiert die- se im Wirkungsgrad.

Wie

aus der Darstellung der

Fig. 5 zu erkennen ist, wird das Sagezahnprofil durch die

Hohe des

Dreiecks bestimmt. Die

Hohe

ist auf 2 -n normiert

und

wird durch

H

dargestellt.

35 Fur

H =

0,5 sind die

Beugungsordnungen

0

und +

1 auf einen

maximalen

Wirkungsgrad von ca. 81

%

abgeglichen.

In der Fig. 6 ist der Verlauf

des

Wirkungsgra-

des

bei gleich hellen

Beugungsordnungen

0

und

40

+1

in Abhangigkeit

von

der

Hohe H

dargestellt.

Ein

Optimum

des

Wirkungsgrades

von 81

%

ergibt

sich fur eine

Hohe H =

0,5. Dies entspricht einer halben Wellenlange Unterschied in der optischen Wellenlange (Designwellenlange).

Auch

bei einer 45

Hohe H

von etwa 0.71 erreicht

man

einen relativ

hohen

Wirkungsgrad von etwa 0,74 (74 %). Die Designwellenlange betragt

555 nm.

In der Fig. 7 ist die Energievertellung uber die

Beugungsordnungen

(mit B.O. bezeichnet)

des

in

50 Fig. 5 dargestellten Sagezahnprofils in

Form

eines

Balkendiagramms

dargestellt. Die Intensitat entlang der optischen

Achse

z ist durch die in Fig.

8

gezeigte Tiefenverteilung wiedergegeben. Die

Hohe

der Foki fur die 0.

und

die

+

1 .

Beugungs-

66

ordnung des

Sagezahngitters der Fig. 5 entspricht

den

im

Balkendiagramm

der Fig. 7 gezeigten

Ho-

hen.

3

(4)

5 EP 0 537 643 A1

6

In der Fig.

9

ist ein photolithographisches Ver- fahren schematisch dargestellt,

das

bei der Herstel- lung der diffraktiven Oberflachenfeinstruktur auf der Linse zur

Anwendung kommen

kann. Die erste Stufe

des

Herstellungsverfahrens In der Fig. 9 zeigt die

Gewinnung

einer diffraktiven Feinstruktur mit Rechteckdesign. In der zweiten Stufe ist die Her- stellung

von

mikrofeinen Stufen zur

Annaherung

der

schragen Rampen

fur

das

Sagezahnprofll dar- gestellt.

Es werden

hierzu

mehrere

Maskierungs-

und

Atzschrltte, wie In der zweiten Stufe dargestellt

ist, zur

Anwendung

gebracht.

Das

in der zweiten Stufe dargestellte Verfahren kann zur

Gewinnung

noch feinerer Mikrostufen wiederholt werden.

Eine weitere Ausfuhrungsform der ophthalmi- sclien Linse (Brillenglas, Kontaktlinse, Intraokular- linse)

kann

darin bestehen, daiS unterschiedliche

Gewichtungen

in der Intensitat der belden Foki bei bifokalen Linsen gewahit werden. Diese unter- schiedliche

Gewichtung kann

sowelt gehen, dafi Im

Grenzfall einer der belden Foki unterdruckt wird. In

diesem

Grenzfall wird

dann

zur Brechkraft der re- fraktiven Linse noch eine zusatzliche diffraktlve Brechkraft hinzugefugt. Bevorzugt

kommt

hierbei

das Sagezahnprofil fur die diffraktlve Feinstruktur zur

Anwendung,

wobei die Profllhohe bzw. die Dif-

ferenz der optischen Wellenlange zwischen Spitze

und

Tal

der

Designwellenlange bevorzugt einer Wellenlange

im

grunen Spektralbereich

des

sicht-

baren Lichts entsprlcht. In

diesem

Fall wirkt

das

diffraktive Feinstrukturprofil fur die Designwellen- lange als

monofokale

Linse. Selbst bei

Abweichun- gen

von der Designwellenlange im grunen

Spek-

tralbereich. beispielsweise

550

nm, im sichtbaren Berelch (450 -

650 nm)

ist die Beugungseffizienz

immer noch

ca.

80 %,

so

daB

sich Streulichtanteile nicht

besonders

storend auswirken. Durch die zu- satzliche diffraktive Brechkraft erreicht

man

eine

Verringerung der Linsendicke bei gleicher Brech-

kraft.

In

den

Fig. 10 bis 12 sind Ausfuhrungsbeispie-

le ophthalmischer Linsen, insbesondere Intraoku- larlinsen, dargestellt.

Beim

AusfUhrungsbeispiel der

Fig. 10 besteht der Linsenkorper aus zwei Stoffen mit unterschiedlichen Brechungsindizes n1

und

n2.

Die beiden Linsenteile sind plankonvexe Linsenteile

und

besitzen an ihren planen Flachen, die aneinan- der liegen, die diffraktive Struktur, welche

schema-

tisch dargestellt ist. Die beiden Linsenteile mit

den

unterschiedlichen Brechungsindizes sind langs der optischen

Achse

hintereinander angeordnet.

Bei

dem

AusfUhrungsbeispiel der Fig. 11 ist

der Linsenkdrper plankonvex ausgebildet. Die dif- fraktive Struktur befindet sich an der planen Seite

des

Linsenkorpers.

Bei

dem

in der Fig. 12 dargestellten AusfUh- rungsbeispiel ist der Linsenkorper bikonvex ausge-

bildet. Die diffraktive Struktur befindet sich auf der

einen

konvexen

Seite des Linsenkorpers.

Patentanspriiche

5 1.

Ophthalmische

Linse, in deren

optischem

Lins- enteil auf Zonenradien urn die optische Linse-

nachse

diffraktive Feinstrukturelemente mit zwei

Beugungsordnungen, gegenuber

deren

Intensitaten die Intensitaten anderer Beu-

70

gungsordnungen

gering sind, gebildet sind zur Erzielung zweier Foki mit jewelIs unterschiedli-

chem

Scheitelbrechwert,

dadurch gekennzeichnet,

6aB

die Zonenradien

(Rm)

zur Bildung der

15 Perioden

des

FeinstrukturprofUs die Gleichung

VRm^ + fM

= X erfullen, wobei

m

jeweils eine

ganze

Zahl, beginnend mit 1,f der Reziprok- wert jeweils eines der beiden Scheitelbrech- werte der Linse und X die Designwellenlange, 20

welche

im grunen Spektralbereich

des

sichtba- ren Lichts liegt, bedeuten

und

dafi

das

Fein- strukturprofil entweder ein Rechteckprofil ist,

dessen

Grundlinie der halben Periode

des

Feinstrukturprofils entsprlcht, oder ein

Sage-

25 zahnprofil ist, dessen Grundlinie der

ganzen

Periode

des

Feinstrukturprofils entsprlcht.

2.

Ophthalmische

Linse nach

Anspruch

1. da- durch gekennzeichnet. dafi die Intensitaten der

30 beiden

Beugungsordnungen

gleich sind.

3. Ophthalmische Linse nach

Anspruch

1. da- durch gekennzeichnet, dafi die Intensitaten der beiden

Beugungsordnungen

unterschiediich

35 sind.

4.

Ophthalmische

Linse nach

Anspruch

3, da- durch gekennzeichnet, da/3 die Linse als refrak- tive Linse ausgebildet ist und

6aB

einer der

40 beiden von

den

zonenformigen diffraktiven

Feinstruktureiementen erzeugten Foki unter- drUckt ist, so dafi eine monofokule Linse, de- ren Brechkraft aus

einem

diffraktiven

und

el-

nem

refraktiven Anteil

zusammengesetzt

ist,

45 entsteht.

5. Ophthalmische Linse nach

einem

der AnsprU-

che

1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, da/3 die

zonenformigen

diffraktiven Feinstrukturelemen-

50 te die

+

1 .

und

-1 .

Beugungsordnungen

bilden.

6.

Ophthalmische

Linse nach

einem

der AnsprU-

che

1 bis 4, dadurch gekennzeichnet,

6aB

die

zonenformigen

diffraktiven Feinstrukturelemen-

56 te die 0.

und

+ 1 .

Beugungsordnungen

bilden.

7. Ophthalmische Linse nach

einem

der AnsprU-

che

1, 2, 5

und

6, dadurch gekennzeichnet.

4

BNSDOCIO: <ER .0537643A1J_>

(5)

«

EP 0 537 643 A1 8

daiJ der optische Wegl3ngenunterschied zwi-

schen Hohen und

Tiefen der Feinstrukturele-

mente

der halben Designwellenlange ent- spricht.

5 8. Ophthalmische Linse nach

einem

der Anspru-

che 3, 4, 6

und

7, dadurch gekennzeichnet,

dafi der optische Weglangenunterschied zwi-

schen

Hohen und

Tiefen der Feinstrukturele-

mente

der

ganzen

Designwellenlange ent- io

spricht.

9. Ophthalmische Linse nach

einem

der Anspru- che 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, 6aB die

Designwellenlange im grunen Spektralbereich is

des

sichtbaren Lichts liegt.

10. Ophthalmische Linse nach

einem

der Anspru-

che

1 bis 9.

dadurch

gekennzeichnet,

6aB

das

Profil der diffraktiven Feinstrukturelemente 20 photolithographisch gebildet ist.

11. Ophthalmische Linse nach

einem

der Anspru-

che

1 bis 10. dadurch gekennzeichnet, dafi sie

als Intraokularlinse ausgebildet ist. 25

12. Ophthalmische Linse nach

einem

der Anspru-

che

1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dafi sie als Kontaktlinse ausgebildet ist.

30 13. Ophthalmische Linse nach

einem

der Anspru-

che

1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, da/3 sie als Brillenglas ausgebildet ist.

14- Ophthalmische Linse nach

einem

der Anspru- 36

che

1 bis 13, dadurch gekennzeichnet,

daB

der Linsenkorper

aus

Materialien mit unterschiedli-

chen

Brechungsindizes besteht.

15. Ophthalmische Linse nach

einem

der Anspru- 40

che

1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dafi der Linsenkorper aus zwei plankonvexen Teilen besteht

und

die diffraktive Struktur

an den

an- einander liegenden planen Seiten vorgesehen

ist. 45

16. Ophthalmische Linse nach

einem

der Anspru- che 1 bis 1 5, dadurch gekennzeichnet, da/3 der Linsenkorper bikonvex Oder plankonvex ausge-

bildet ist

und

die diffraktive Struktur an der 50 konvexen Oder planen Seite

vorgesehen

ist.

55

BNSDOCID: <EP. .0537643A1_L>

(6)

EP 0 537 643 A1

L -

JT

R m-1

Fig.l

R_ m R m+l

log( Enei^e

)

10» -3

10

-1

10

-2

Rechteck

Fig.2

h = 81%

(555nin,555nni)

-5 -4

-3 -2 -1

0

1

2 3 4 B.O.

BNSDOCID: <EP ^0537643A1J_>

(7)

1)

I

EP 0 537 643 A1

Rechteck(-1,+1)

log( PSF(r=0^)

)

-10000 -5000 0 5000 10000

Rechteck (-1, + 1)

log( PSF(r=Oj.)

)

2mm O

Fig.4

7

BNSDCCID: <EP 0537643A1J_>

(8)

EP 0 537 643 A1

Fig.6

Wirkunsssrad

7

1.00

-1

0.75

-

0.50

-

0.25

-

0.00

Sagezahn (0,+l)

1 1 1 1 I I I 1 1 I 1 1 I I 1 1 I

1 1 ( I 'I

I I

I I I I

I

I I I I

0,4

OJ

0.6 0.7 0,8 0,9 1,0

Hohe i (*2-T )

8

BNSDOCID: <EP ^0537643A1J_>

(9)

EP 0 537 643 A1

Sagezahn (0,+l) Fig.7

log( Energie

)

10*"

7 =81%

(555nm, 555nm)

-5-4-3-2-1 0

I

2 3 4

5

B.O.

Sagezahn (0, + l)

log( PSF(r=0^)

)

7mm O

(20-3 )dpt

(555nm.555nm)

Fig.8

I I 1

I

I I 1 I

I

1 I 1 I

I

I i 1 i

I

I I

)>

I

*

0 2000 4000 6000 8000 ^

0537643A1J_>

9

(10)

EP 0 537 643 A1

1. Stufe Fig.9

Belichtune der Maske Entwickeln

\ otolack

Substrat z.B Glas

Atzen

1_J====l

Photolack ablosen

*

[_J l_J

2. Stufe

Beschichtung Photolack Belichtung der Maske

\ /

Entwickeln

Atzen Photolack ablosen

SJ3

r T.

BNSCXXIO: <EP ^0537643A1J_>

10

(11)
(12)

Europaisches Patentamt

EUROPAISCHER RECHERCHENBERICHT

NumxBtf dcrAnmeldung

EP 92

11

7300

EINSCHLAGIGE DOKUMENTE

Katcgorie

x.p A

Kcnnzacfanimg dcs Dokumentsmit Ai^abc,

somt

erfordeiiich, do- maBgcblkfaen Tciic

EP-A-0 355 230 (A.COHEN)

* Anspruche; Abbildungen

*

EP-A-0 470 811 (MMM)

* Anspruche; Abbildungen

*

EP-A-0 393 639 (A.COHEN)

*

Anspruche; Abbildungen

*

US-A-4 895 790

(G.

J.SWANSON)

*

Anspruche; Abbildungen

*

Becrifft

Anspnicfa

KLASSIFIKATION

DCR ANMELDUNG

Got.

O

S )

I,

2,7,

II,

12 5,9

1,3

4,9,11, 12,14, 15.16

1,10

G02B5/18 A61F2/16 G02C7/06

RECHERCHIERTE

SACHGEBIETE Qnt. 0.5)

Der voriw8»<fe Rcchaxhenbericiit wurde fur aUe Patentanspnicfae crsCelU

DEN HAAG 26 JANUAR 1993

G02B A61F G02C

PFAHLER R.

8

KATECORIE

DER GENANNTEN DOKUMENTE

X : von besoDderer Bedeutung allesn betracbtct

Y

: von bcsondercf Bedeutungin Verbindungmit doer anderen Veffi)ffentlichungderselben Kategorie

A : tecfanolf>giscber Hiataf;nind

O

: nicbtscfaiiftUcbe Offcnbanu^

P : ZmschcDliteratur

T : der Erfmdungzngrunde liegcnde Theorien OderGnindsMtze

£ : iUteres Patentdokument, das jedocb erst an odcr oacfa deaAnrnddedatum wrOffcntlicbt worden ist

D : in der AnmeldiingangefUbrtesDokiment L : aus andem Gillndeo angefObnes DokiuBcat

Jk : Mitglied der gleicbcn Patcntfamilie, ttbcranstimmcadi Dokoroent

BNSDOCIO: <EP .0537643A1J_>

(13)

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