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ANHANG C. LISTE DER MESSUNGEN 112

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PTYDatumUhrzeitWellen-Pump-Pump-Mess-PMT8575Excimer-FarbstoffAbll-ZelleundBell-Bell-InertInert-Temp-RLX-Dela NrngeenergiefrequenzdauerSpannungDruckKonzdatumInlaydatumdruckgasgasdruckeraturDauer [mJ][Hz][s][V]*100mg/l[mbar][mbar]C][s][s] 16222.11.200116:15338,936290180120150031502,515.NovACu22.Nov0,15-02248030 16322.11.200117:36338,935290180120152031432,515.NovACu22.Nov0,1-02248030 16423.11.200110:40338,938290180120153031152,515.NovACu23.Nov0,08-01946222 16523.11.200111:51338,936290180120154031262,515.NovACu23.Nov0,12-02046222 16623.11.200113:05338,937290180120145031302,515.NovACu23.Nov0,24-02158545 16723.11.200115:43338,937290180120140031292,515.NovACu23.Nov0,4-02158545 16823.11.200117:29338,936290180120128031372,515.NovACu23.Nov1,01-02158545 16926.11.200111:33338,93729018070127030882,515.NovACu26.Nov1,35-02178060 17026.11.200112:22338,93729018070124030942,515.NovACu26.Nov1,78-02176545 17127.11.200111:10338,93729018070129030912,515.NovACu27.Nov1,37-02176545 17227.11.200113:03338,93629018070128030932,515.NovACu27.Nov1,36-02276545 17327.11.200114:10338,93429018070118030932,515.NovACu27.Nov3,07-02358545 17427.11.200115:08338,93429018070111030982,515.NovACu27.Nov5,3-02358545 17527.11.200116:43338,93429018048104030952,515.NovACu27.Nov8,39-02358545 17627.11.200116:34338,93229018040111030962,515.NovACu27.Nov11,2-02358545 17729.11.200110:48338,937270180120140030672,329.NovACu29.Nov0,53-02158545 17829.11.200118:16338,93427018090140030872,329.NovACu29.Nov0,55-02258545 17930.11.200109:55338,93727018078138030662,329.NovACu30.Nov0,54-02158545 18030.11.200111:04338,93627018080138030772,329.NovACu30.Nov0,55-02156445 18130.11.200112:32338,93627018070134030712,329.NovACu30.Nov0,77-02254030 18230.11.200112:45338,93327018060128030822,329.NovACu30.Nov1,42-02354030 18330.11.200114:44338,93527018060126030872,329.NovACu30.Nov1,78-02354030 18430.11.200116:53338,93127018060121030892,329.NovACu30.Nov2,42-02354030 18503.12.200110:56338,93127018060121030602,329.NovAMess30.Nov2,98-02358545 18603.12.200114:36338,93227018060122030542,329.NovAMess03.Dez2,9-02358545 18703.12.200116:28338,93127018070128030582,329.NovAMess03.Dez2,06-02457030 18804.12.200111:15338,93527018070130030582,329.NovAMess04.Dez1,34-02257030 18904.12.200112:42338,93227018070127030402,329.NovAMess04.Dez1,35-02357030 19004.12.200114:58338,93427018070130030412,329.NovAMess04.Dez1,37-02348030 19104.12.200116:07338,93227018080133030512,329.NovAMess04.Dez0,87-02341822 19204.12.200117:26338,9327018080136030552,329.NovAMess04.Dez0,51-02441616 19305.12.200111:38338,93327018099145030212,329.NovAMess05.Dez0,32-02241616 19405.12.200112:49338,93127018090145030292,329.NovAMess05.Dez0,33-02441616 19505.12.200114:07338,93327018090144030282,329.NovAMess05.Dez0,21-02341616 19605.12.200115:50338,9327018090145030282,329.NovAMess05.Dez0,22-02442020 19706.12.200115:17338,93427018090146030252,329.NovAMess06.Dez0,23-02342020 19806.12.200116:45338,9327018090151030312,329.NovAMess06.Dez0,16-02342020

ANHANG C. LISTE DER MESSUNGEN 114

PTYDatumUhrzeitWellen-Pump-Pump-Mess-PMT8575Excimer-FarbstoffAbll-ZelleundBell-Bell-InertInert-Temp-RLX-Delay NrngeenergiefrequenzdauerSpannungDruckKonzdatumInlaydatumdruckgasgasdruckeraturDauer [mJ][Hz][s][V]*100mg/l[mbar][mbar]C][s][s] 19907.12.200111:37338,93627018090153029982,329.NovAMess07.Dez0,16-02142020 20007.12.200113:10338,932290180100153030142,329.NovAMess07.Dez0,15-02442020 20118.02.200216:17338,94329018060106030842,314.02.2002AMess18.02.20023,47-02154020 20218.02.200217:24338,94329018040101030882,314.02.2002AMess18.02.20025,56-02154020 20319.02.200210:39338,94429018048120030582,314.02.2002AMess19.02.20020,97-02054020 20419.02.200212:06338,94129018048125030582,314.02.2002AMess19.02.20020,48-02154020 20519.02.200214:45338,94329018048129030772,314.02.2002AMess19.02.20020,3-02054020 20619.02.200216:33338,94329018060134030762,314.02.2002AMess19.02.20020,2-02054020 20720.02.200212:17338,94529018060140030582,314.02.2002AMess20.02.20020,15-02054020 20820.02.200214:07338,94529018060139030692,314.02.2002AMess20.02.20020,17-02154020 20920.02.200215:59338,94229018060140030702,314.02.2002AMess20.02.20020,13-02154020 21020.02.200217:14338,94229018060136030712,314.02.2002AMess20.02.20020,11-02154020 21120.02.200219:13338,94229018060138030712,314.02.2002AMess20.02.20020,12-02154020 21221.02.200214:51338,94329018040116030502,314.02.2002AMess21.02.20021,24-02154020 21321.02.200216:20338,9429018040110030582,314.02.2002AMess21.02.20022,13-02154020 21421.02.200217:43338,9429018035105030602,314.02.2002AMess21.02.20023,22-02154020 21522.02.200210:05338,9429018040120030222,321.02.2002AMess22.02.20020,72-01954020 21622.02.200211:15338,94329018040118030372,321.02.2002AMess22.02.20020,73-02054020 21722.02.200213:52338,94329018040115030382,321.02.2002AMess22.02.20021,18-02160020 21825.02.200215:00338,94129018035103030042,321.02.2002AMess25.02.20024,3-02354020 21925.02.200216:45338,942901803098030182,321.02.2002AMess25.02.20027,31-02154020 22025.02.200218:40338,9392901803094030262,321.02.2002AMess25.02.200211,1-02450020 22126.02.200212:20338,94429018020100030012,321.02.2002AMess26.02.200210,8-02060020 22226.02.200215:13338,9431018040135030182,321.02.2002AMess26.02.20020,1-0234020 22326.02.200215:35338,943101801135030272,321.02.2002AMess26.02.20020,1-02348020 22406.03.200209:59338,94329018030117029252,321.02.2002AMess06.03.20025,02H2382160020 22506.03.200215:18338,94329018030130031252,321.02.2002AMess06.03.20025H2852252020 22608.03.200215:15338,93829018040128030992,321.02.2002AMess08.03.20025,06H2832352020 22711.03.200212:49338,9429018035108030672,321.02.2002AMess11.03.20025,08H2872252020 22811.03.200214:50338,93829018030108030772,321.02.2002AMess11.03.20024,98H21272352020 22911.03.200216:23338,93729018030105030862,321.02.2002AMess11.03.20025,06H21592352020 23013.03.200210:31338,93829018030104030621,5112.03.2002AMess13.03.20025,08H22052446818 23113.03.200212:21338,93829018030106030691,5112.03.2002AMess13.03.20024,99H22432430010 23213.03.200214:13338,93629018030107030831,5112.03.2002AMess13.03.20025,04H22812630010 23313.03.200215:42338,93629018030109030881,5112.03.2002AMess13.03.20025,05H23212530010 23414.03.200211:27338,93829018030108030531,5112.03.2002AMess14.03.20025,01H23512330010 23514.03.200212:48338,93729018030107030561,5112.03.2002AMess14.03.20025,05H2416242586

PTYDatumUhrzeitWellen-Pump-Pump-Mess-PMT8575Excimer-FarbstoffAbll-ZelleundBell-Bell-InertInert-Temp-RLX-Dela NrngeenergiefrequenzdauerSpannungDruckKonzdatumInlaydatumdruckgasgasdruckeraturDauer [mJ][Hz][s][V]*100mg/l[mbar][mbar]C][s][s] 23614.03.200214:25338,93629018030106030561,5112.03.2002AMess14.03.20025,07H2463242586 23714.03.200216:25338,93629018030106030601,5112.03.2002AMess14.03.20025,02H2519242586 23815.03.200210:27338,94529018030106030191,5112.03.2002AMess15.03.20024,88H2593202586 23915.03.200216:10338,94329018030107030291,5112.03.2002AMess15.03.20025,07H2704212166 24018.03.200212:01338,94329018030106030051,5112.03.2002AMess18.03.20025,07H2819222166 24118.03.200214:48338,9429018030108030111,5112.03.2002AMess18.03.20025,06H2890232166 24219.03.200210:13338,94529018030108029921,5112.03.2002AMess19.03.20025,09H21006202166 24319.03.200214:50338,94329018030106029961,5112.03.2002AMess19.03.20025,08H2303202466 24419.03.200215:42338,94229018030106030001,5112.03.2002AMess19.03.20025,08H2354212106 24519.03.200216:53338,94229018030106030071,5112.03.2002AMess19.03.20025,03H2405211505 24620.03.200210:18338,94529018030106029751,5112.03.2002AMess20.03.20025,04H2451201505 24720.03.200212:00338,94229018030107029871,5112.03.2002AMess20.03.20025,02H2504221505 24820.03.200214:10338,94129018030107029971,5112.03.2002AMess20.03.20025,05H2551221505 24920.03.200217:11338,93829018030107029971,5112.03.2002AMess20.03.20025,07H2604241505 25021.03.200209:57338,9429018030107029831,5112.03.2002AMess21.03.20025,05H2349221204 25121.03.200211:04338,93729018030107029841,5112.03.2002AMess21.03.20025,05H2252231506 25221.03.200212:10338,93729018030104029901,5112.03.2002AMess21.03.20025,08H2154241506 25321.03.200214:13338,93729018030104030021,5112.03.2002AMess21.03.20025,04H21022324010 25421.03.200215:14338,93629018030105030011,5112.03.2002AMess21.03.20025,01H2512428515 25521.03.200216:27338,93629018030105030011,5112.03.2002AMess21.03.20025,02H2255252088 25621.03.200217:19338,93529018030107030011,5112.03.2002AMess21.03.20025,07H2250242088

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Ich erkläre hiermit an Eides Statt, dass ich die vorliegende Arbeit selbständig und ohne unerlaubte Hilfsmittel durchgeführt habe.